光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位，其成本约占IC制造工艺的20-30%，光刻胶去胶效果太弱影响生产效率，去胶效果太强容易造成基底损伤，影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶，成本低效率高，但随着技术不断选代更新，越来越多IC制造商开始采用干法式去胶，干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺，它不需要浸泡化学溶剂，也不用烘干，去胶过程更容易控制，避免过多算上基底，提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶，其原理同等离子清洗类似，主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶，由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通过泵被真空抽走，完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的，主要的气体为氧气、氩气等，通过射频产生氧离子，轰击清洗物件，以获得表面光滑的较大化，并且结果是亲水性增大。等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪。福建plasma等离子清洗机设备
等离子清洗机与传统湿法清洗相比，等离子清洗机优势主要体现在以下几个方面：1.适用材料可以处理各种各样的材质，无论是金属、塑料、橡胶、半导体、氧化物，还是高分子材料都可以使用等离子清洗技术来处理。2.被清洗工件经过离子干燥处理后，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。可以提高整个工艺流水线的处理效率；3.清洗后的工件表面基本没有残留物，并且可以通过搭配和选择多种等离子清洗类型达到不同的清洗目的；4.改善材料本身的表面性能，如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等，这在许多应用中都是非常重要的。5.由于等离子清洗的方向性不强，因此不需要过多考虑被清洗工件的形状，强力适用于带有凹陷、空洞、褶皱等复杂结构的工件。四川在线式等离子清洗机工作原理是什么等离子体就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。
汽车外饰件由各种材料组成:从定制的金属坯件到SMC复合材料和玻璃纤维增强塑料(GFRP)再到复合塑料。这些原材料具有极为不同的表面性质。利用等离子体预处理可以取得稳定的材料结合和具有牢固粘接力的高质量面层。具体应用如下：在对由 PP/EPDM 复合物制成的保险杠进行喷漆之前的表面活化；对由 SMC 制成的翼子板进行等离子表面处理；嵌装玻璃之前对陶瓷涂层进行等离子体超精细清洗；对铝制框架进行等离子体超精细清洗以便对玻璃天窗进行防水粘接。
芯片封装等离子体应用包括用于晶圆级封装的等离子体晶圆清洗、焊前芯片载体等离子体清洗、封装和倒装芯片填充。电极的表面性质和抗组分结构对显示器的光电性能都有重要影响。为了保的像素形成和大的亮度，喷墨印刷的褶皱材料需要非常特殊的表面处理。这种表面工程是利用平面微波等离子体技术来完成的，它能在表面和衬底结构上产生所需的表面能。工艺允许选择性地产生亲水和疏水的表面条件，以控制像素填充和墨水流动。微波平面等离子体系统是专为大基板的均匀处理而设计的，可扩展到更大的面板尺寸。引进300毫米晶圆对裸晶圆供应商提出了新的更高的标准要求：通过将直径从200毫米增加到300毫米，晶圆的表面积和重量增加了一倍多，但厚度却保持不变。这增加了破碎险。300毫米晶圆具有高水平的内部机械张力（应力），这增加了集成电路制造过程中的断裂概率。这有明显的代价高昂的后果。因此，应力晶圆的早期检测和断裂预防近年来受到越来越多的关注。此外，晶圆应力对硅晶格特性也有负面影响。sird是晶圆级的应力成像系统，对降低成本和提高成品率做出了重大贡献。摄像头模组需在DB前、WB前、HM前、封装前进行真空等离子清洗，活化材料表面，提高亲水性和黏附性能。
片式真空等离子清洗机针对半导体行业，DB/WB工艺、RDL工艺、Molding工艺、FlipChip(FC)倒装工艺等，能够大幅提高其表面润湿性，保证后续工艺质量，从而提高封装工艺的可靠性。设备优势：1.一体式电极板结构设计，等离子体密度高，均匀性好，处理效果佳2.双工位处理平台，四轨道同时上料，有效提升产能3.可兼容多种弹匣尺寸，可自动调节宽度，提升效率并具备弹匣有无或装满报警提示功能4.工控系统控制，一键式操作，自动化程度高。行业应用：1.金属键合前处理：去除金属焊盘上的有机污染物，提高焊接工艺的强度和可靠性2.LED行业：点银胶、固晶、引线键合前、LED封装等工序中可提高粘和强度，减少气泡，提高发光率3.PCB/FPC行业：金属键合前、塑封前、底部填充前处理、光刻胶去除、基板表面活化、镀膜，去除静电及有机污染物全自动等离子表面处理机结合了自动化优势，可以搭载生产线进行工作，带来稳定持续的处理效果。四川在线式等离子清洗机工作原理是什么
通过等离子表面活化，可以提高玻璃基板表面亲水性，有效优化表面附着力，提升电池的稳定性和品质。福建plasma等离子清洗机设备
等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态3种状态存在，但在一些特殊的情况下可以以第四中状态存在，如太阳表面的物质和地球大气中电离层中的物质。这类物质所处的状态称为等离子体状态，又称为物质的第四态。等离子体中存在下列物质：处于高速运动状态的电子;处于jihuo状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子；分子解离反应过程中生成的紫外线;未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。福建plasma等离子清洗机设备
