光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位，其成本约占IC制造工艺的20-30%，光刻胶去胶效果太弱影响生产效率，去胶效果太强容易造成基底损伤，影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶，成本低效率高，但随着技术不断选代更新，越来越多IC制造商开始采用干法式去胶，干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺，它不需要浸泡化学溶剂，也不用烘干，去胶过程更容易控制，避免过多算上基底，提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶，其原理同等离子清洗类似，主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶，由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通过泵被真空抽走，完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的，主要的气体为氧气、氩气等，通过射频产生氧离子，轰击清洗物件，以获得表面光滑的较大化，并且结果是亲水性增大。等离子清洗机表面预处理和等离子清洗为塑料、金属、铝或玻璃的后续涂层提供了先决条件。北京大气等离子清洗机技术参数
等离子体在处理固体物质的时候，会与固体物质发生两种发应：物理反应、化学反应物理反应：活性粒子轰击待清洗表面，使污染物脱离表面被带走。化学反应：大气中的氧气等离子的活性基因可以和处理物表面的有机物反应产生二氧化碳和水，达到深度清洁作用，同时在表面产生更多羧基等亲水基团，提高材料亲水性。什么是等离子体？等离子体（plasma）是由自由电子和带电离子为主要成分的物资状态，被称为物资的第四态。如何产生等离子体？通常我们接触到得到等离子的方式有三种：高温（燃烧）、高压（闪电）或者高频、高压源（等离子电源）下产生。山西sindin等离子清洗机生产企业利用等离子体反应特性能够高效去除表面污染层，包括有机物、无机物、氧化物等，同时不会对表面造成损伤。
等离子清洗机(plasma cleaner)是高科技的一款表面处理设备，通过等离子体来达到表面处理的作用；获得清洗、活化、刻蚀、涂层等多方向的应用，解决各种行业的表面处理难题。1、等离子清洗机原理密闭的反应腔体（真空室、真空腔体）被真空泵不断抽气，从1个标准大气压下降到设定的压力值并维持真空度；通入氩、氢、氮气等工艺气体，启动等离子发生器，让反应腔体内电极之间产生高压交变电场，使得自由电子能量加速，去激发工艺气体分子形成等离子体，具有高反应活性或高能量的等离子体，会与有机污染物及微颗粒污染物反应、碰撞形成各种挥发性物质，这些挥发性物质伴随工艺气流由真空泵抽取出去，从而达到被处理对象表面清洁、活化等目的。
汽车保险杠通常会采用塑料材料，其中PP和EPDM材料具有韧性好、易加工，又加上具有成本优势，一直以来都是汽车保险杆生产厂商的好帮手。我们知道，保险杠需经过喷漆处理，而PP和EPDM材料表面能比较低，直接涂会掉漆，以往都是在喷漆前用火焰处理来提高材料的表面能，但火焰处理方式容易造成材料变形和色变，并且材料耐老化性差。真空等离子体清洗机表面处理技术不仅能解决保险杠PP和EPDM材料表面能低，粘接力差的问题，而且安全可靠，得到了生产厂商的认可和使用。等离子清洗机应用于PP和EPDM材料处理是一种干式环保的处理方式，通过等离子清洗机的处理，既能够有效提升PP包材的表面粘接力，使之在印染时粘得更牢、不易脱落，且无需使用溶剂，绿色环保、节约成本。常温等离子清洗机原理在于“等离子体”，通过气体放电形成，可以在常温、常压的状态下进行产品的处理。
等离子清洗机与传统湿法清洗相比，等离子清洗机优势主要体现在以下几个方面：1.适用材料可以处理各种各样的材质，无论是金属、塑料、橡胶、半导体、氧化物，还是高分子材料都可以使用等离子清洗技术来处理。2.被清洗工件经过离子干燥处理后，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。可以提高整个工艺流水线的处理效率；3.清洗后的工件表面基本没有残留物，并且可以通过搭配和选择多种等离子清洗类型达到不同的清洗目的；4.改善材料本身的表面性能，如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等，这在许多应用中都是非常重要的。5.由于等离子清洗的方向性不强，因此不需要过多考虑被清洗工件的形状，强力适用于带有凹陷、空洞、褶皱等复杂结构的工件。等离子清洗机是一种环保高效的表面处理设备，通过激发气体产生等离子态，去除材料表面污染物。北京大气等离子清洗机技术参数
等离子表面处理机常用的气体为:空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等。北京大气等离子清洗机技术参数
片式真空等离子清洗机针对半导体行业，DB/WB工艺、RDL工艺、Molding工艺、FlipChip(FC)倒装工艺等，能够大幅提高其表面润湿性，保证后续工艺质量，从而提高封装工艺的可靠性。设备优势：1.一体式电极板结构设计，等离子体密度高，均匀性好，处理效果佳2.双工位处理平台，四轨道同时上料，有效提升产能3.可兼容多种弹匣尺寸，可自动调节宽度，提升效率并具备弹匣有无或装满报警提示功能4.工控系统控制，一键式操作，自动化程度高。行业应用：1.金属键合前处理：去除金属焊盘上的有机污染物，提高焊接工艺的强度和可靠性2.LED行业：点银胶、固晶、引线键合前、LED封装等工序中可提高粘和强度，减少气泡，提高发光率3.PCB/FPC行业：金属键合前、塑封前、底部填充前处理、光刻胶去除、基板表面活化、镀膜，去除静电及有机污染物北京大气等离子清洗机技术参数
