光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位，其成本约占IC制造工艺的20-30%，光刻胶去胶效果太弱影响生产效率，去胶效果太强容易造成基底损伤，影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶，成本低效率高，但随着技术不断选代更新，越来越多IC制造商开始采用干法式去胶，干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺，它不需要浸泡化学溶剂，也不用烘干，去胶过程更容易控制，避免过多算上基底，提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶，其原理同等离子清洗类似，主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶，由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通过泵被真空抽走，完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的，主要的气体为氧气、氩气等，通过射频产生氧离子，轰击清洗物件，以获得表面光滑的较大化，并且结果是亲水性增大。等离子表面处理机可以用于印刷或粘合前处理，可以提高产品的可靠性和一致性。四川低温等离子清洗机厂商
塑料是以高分子聚合物为主要成分，添加不同辅料，如增塑剂、稳定剂、润滑剂及色素等的材料，满足塑料是以高分子聚合物为主要成分，人们日常生活的多样化和各领域的需求。因此需要对塑料表面的性质如亲水疏水性、导电性以及生物相容性等进行改进，对塑料表面进行改性处理。等离子体是物质的第四态，是由克鲁克斯在1879年发现，并在1928年由Langmuir将“plasma”一词引入物理学中，用于表示放电管中存在的物质。根据其温度分布不同，等离子体通常可分为高温等离子体和低温等离子体(LTP)，低温等离子体的气体温度要远远低于电子温度，使其在材料表面处理领域具有极大的竞争力。低温等离子体等离子体的一种，主要成分为电中性气体分子或原子，含有高能电子、正、负离子及活性自由基等，可用于破坏化学键并形成新键，实现材料的改性处理。并且，其电子温度较高，而气体温度则可低至室温，在实现对等离子体表面处理要求的同时，不会影响材料基底的性质，适合于要求在低温条件下处理的生物医用材料。低温等离子体可在常温常压下产生，实现条件简单、消耗能量小、对环境和仪器系统要求低，易于实现工业化生产及应用。江苏半导体封装等离子清洗机厂商在线式等离子清洗机在IC封装行业中的应用越来越广。
等离子处理机的应用领域：它具有广泛的应用领域，主要包括以下几个方面：表面处理：可以用于金属、陶瓷、塑料等材料的清洗、去污、活化、刻蚀等表面处理过程，提高材料的表面性能。材料改性：可以用于金属材料的渗碳、渗氮、渗硼等表面改性过程，提高金属材料的耐磨性、耐腐蚀性等性能。半导体制造：在半导体制造过程中具有重要作用，如晶圆清洗、薄膜沉积、光刻胶去除等过程都需要使用等离子处理机。微电子封装：可以用于微电子封装过程中的金属焊盘活化、绝缘层刻蚀等过程，提高封装器件的性能和可靠性。生物医学：可以用于生物医学领域的生物材料表面改性、细胞培养基制备等过程，提高生物材料的性能和生物相容性。
在Mini LED封装工艺中，针对不同污染物并根据基板及芯片材料的不同，采用不同的清洗工艺可以得到理想的效果，但是使用错误的工艺气体方案，都会导致清洁效果不好甚至产品报废。例如银材料的芯片采用氧等离子工艺，则会被氧化发黑甚至报废。一般情况下，颗粒污染物及氧化物采用氢氩混合气体进行等离子清洗，镀金材料芯片可以采用氧等离子体去除有机物，而银材料芯片则不可以。在封装工艺中对等离子清洗的选择取决于后续工艺对材料表面的要求、材料表面的特征、化学组成以及污染物的性质等。等离子清洗机可以增强样品的粘附性、浸润性和可靠性等，不同的工艺会使用不同的气体。plasma等离子清洗机是非常适合很多行业领域的良性发展，可以有效的帮助企业实现高效化的生产。
在线式真空等离子清洗机的优势：🌟载台升降可自由按料盒每层的间距设定；🌟载台实现宽度定位，电机根据程序参数进行料盒宽度调节；🌟推料舍片具有预防卡料及检测功能，根据产品宽度切换配方进行传送；🌟同时每次清洗4片，双工位腔体平台交替，实现清洗与上下料的同步进行，减少等待时间，提高产能；🌟一体式电极板设计能在制程腔体产生均一密度等离子体。在线片式真空等离子清洗机产品原理：通过对工艺气体施加电场使电离化为等离子体。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、自由活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质进行氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质，从而优化材料表面性能，实现清洁、改性、刻蚀等目的。在喷涂UV绝缘材料之前，通过等离子表面处理可以粗化电芯铝壳表面，提高其表面附着力。河北小型等离子清洗机
等离子处理通过在介质中产生等离子体，利用等离子体的高能离子轰击表面，从而改变表面性质。四川低温等离子清洗机厂商
等离子清洗机的应用领域极为广，几乎涵盖了所有需要表面清洗和改性的行业。在半导体与光电子行业中，等离子清洗机被用于去除晶圆表面的有机污染物、颗粒、金属杂质等，提高器件的良率和性能；在汽车零部件制造中，等离子清洗机用于清洗发动机缸体、活塞、喷油嘴等部件，去除油污、油脂等污染物，提高零件的清洁度和性能；在医疗器械领域，等离子清洗机则用于手术器械、植入物、牙科器械等的清洗和消毒，确保无菌性和安全性。此外，等离子清洗机还在生物材料表面改性、飞机零部件清洗、航空电子设备清洗、精密机械零件清洗等多个领域发挥着重要作用。随着工业化、信息化的发展，等离子清洗机的市场需求持续增长，特别是在半导体、汽车、医疗等行业中，其应用前景更加广阔。四川低温等离子清洗机厂商
