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在小的尺寸下,一粒尘埃无异于一块巨石。因此,集成电路的生产必须在经过空气过滤的洁净室中进行,人员和物品只能在进行彻底清洁后通过一间气闸室进入。真空泵也用于后者,以通过负压吸走表面的灰尘颗粒。洁净室本身...