真空泵可分为气体输送泵和气体粘合或捕集泵。气体容积式真空泵可以没有限制地使用,而气体粘合真空泵具有有限的气体吸收能力,并且必须在一定的过程相关间隔进行再生。气体容积式泵,也被称为气体输送泵,被分类为往复容积式泵或动能真空泵。容积泵将密封区域的气体置换到大气或下游泵级中。动能泵通过机械驱动系统或通过在抽吸部分结束时冷凝的引导蒸汽流在抽吸方向对气体进行加速来置换气体。气体粘合真空泵通过吸气或在合适温度冷凝气体的方式将气体粘合到特别的活性衬底上。化学吸附是通过被称为吸气泵的泵类型在技术上进行的,该吸附泵通过蒸发和/或升华或溅射不断地产生纯净的吸气面。如果要结合的气体粒子在与吸气面进行相互作用之前在离子吸气泵中被电离了,则它们可通过溅射清洁吸气面的同时被溅射的材料掩盖。非蒸散型吸气剂(NEG)包括反应性高的合金,其主要由锆或钛组成,并且具有非常大的比表面积。气体可以通过微孔渗透到吸气材料的深层里,并在那里结合成稳定的化合物。现实中,由于选型不合理,许多真空泵处于不正常状态运行,造成能源浪费,维修成本增加,甚至根本无法工作。永磁变频油螺杆真空泵厂家现货
真空泵选择的依据和条件。(1)系统对真空度的要求。根据系统对真空度的要求,选择相应极限真空的泵。一般要求泵的极限真空比系统要求的极限真空高0.5~1个数量级。(2)系统正常工作时的压力范围。要求泵正常工作的压力范围必须满足系统所要求的工作压力。(3)被抽气体种类、成分、杂质情况及系统工作时对污染的限制要求。被抽气体性质及对污染的要求是选择不同特性真空泵的一个重要条件。它不但与工作时泵的性能有关,而且直接与泵的工作寿命及检修维护情况有关,特别是在化工生产中,它往往是正确选泵的一个关键因素。(4)系统被抽气量或体积流量。它是决定选择某一类型真空泵的主要依据。重庆工业真空泵哪里买在众多的领域,许多技术部件也需要尽可能致密的保护涂层,利用真空泵产生的真空环境,都能使其变为现实。
昊青螺杆真空泵在设计之初,充分考虑到电机温度高对真空泵使用的影响。昊青气体发现,某公司的300MW机组,每台机组配备2台机械真空泵,其中1台运行,1台备用。真空泵用于机组启动时抽真空,正常运行时用于抽出凝汽器中未凝结的气体。该泵配备电机160kW,转速590r/min,额定电流330A,电压380V,B级绝缘,正常运行时电流220~230A。每年夏季,电机温度都会超限,被迫加装临时冷却风机,但收效不大。电机长期高温运行会造成绝缘老化,缩短其使用寿命。真空泵电机温度高的原因:1)、电机功率大,工作电流大,发热量大;2)、风扇转速低,风压,风量小;3)、风扇叶片数较少,产生的风量小;4)、电动机附有灰尘、油污,降低了散热能力;5)、真空泵电机所在母线电压为380V,由于电缆压降及负荷分配不均,电机实际所加电压只有365V,电压偏低造成运行电流大。
半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有害的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项:1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压。半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。2、有效稀释有害气体的浓度。半导体易产生前面所说的易燃易爆、有害的有害气体,因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。3、注意氧气的浓度。空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及易爆风险。所以一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高。4、防止温度过高。半导体在真空泵的应用中,有害气体比较多,而无论是干式真空泵还是油封机械泵,泵腔内温度过高,高温下易燃易爆及有害气体就会容易发生危险。真空系统主要由真空罐、进气过滤、真空泵、油气分离、进气管系(真空管系)和排气管系组成。
采用更适合真空泵的永磁变频电机直联驱动,油封螺杆真空泵在实际应用中,将面临多种工况,往往在较宽转速区间内运行,经常运行在较低转速下。如果采用传统三相异步电机,电机长时间运行在较低转速区,其效率将大打折扣,从而严重拉低了真空泵整体的效率。昊青EVS系列油封螺杆真空泵,采用永磁同步变频电机直联驱动,完美地解决了驱动电机效率的问题。采用高矫顽力、耐高温永磁体,保障150℃不消磁:内置PTC温度保护,防止因故障产生高温而引起的消磁;IP55防护等级,电机内部清洁,保障永磁体及绝缘寿命;根据真空泵的特点,采用低温升设计,允许真空泵长期运行在低转速区;单独设立的大风量强制冷却风机,即使长期运行在低转速区,电机也能得到良好的冷却;永磁同步电机,严格同步,易变项控制,动态响应性能好,可以快速大范围响应调节,也可精确调节控制真空度;变频调节启动,启动平滑,减少对电网的冲击;超一级能效,电机效率高达97%以上;高功率因数达98%以上,减轻客户电网压力,保持电网品质,降低设备的视在电流。宽转速区间,保持高效率:在很宽的转速区间以及负载区间内,其电机效率和功率因数都一直保持接近其比较高值;该特性尤其适合油封螺杆真空泵的应用。螺杆式真空泵不仅适应性普遍,可以在恶劣条件下抽气,同时可以达到较高真空度(0.1~1Pa)。重庆工业真空泵哪里买
印刷行业中的印刷设备、装订设备都需要真空,纸张的输送,折页,装订整理都要用到真空。永磁变频油螺杆真空泵厂家现货
螺杆式真空泵不只适应性普遍,可以在恶劣条件下抽气,同时可以达到较高真空度(0.1~1Pa)。因此,随着半导体、石化行业的快速发展,螺杆式真空泵作为一种理想真空泵也开始普遍应用于电子半导体、医药化工领域,如半导体行业的气相沉积、蚀刻,医药化工行业的蒸馏干燥、中间体、溶剂回收、油气回收等。虽然由于型线技术以及加工上的成本导致螺杆式真空泵购置费用较为昂贵,但从长远来说,其宽适应、高效节能环保的特性以及低故障维修率,能在运行周期内给企业带来更高的综合效益与社会环境效益,使用的更加普遍性必是未来的趋势。永磁变频油螺杆真空泵厂家现货
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