企业商机
光刻胶基本参数
  • 品牌
  • 吉田半导体
  • 型号
  • 型号齐全
光刻胶企业商机

  1. 正性光刻胶(如 YK-300)
    应用场景:用于芯片的精细图案化,如集成电路(IC)、分立器件(二极管、三极管)的制造。
    特点:高分辨率(可达亚微米级),适用于多层光刻工艺,确保芯片电路的高精度与可靠性。
  2. 负性光刻胶(如 JT-1000)
    应用场景:用于功率半导体(如 MOSFET、IGBT)的制造,以及传感器(如 MEMS)的微结构成型。
    特点:抗蚀刻能力强,适合复杂图形的转移,尤其在深宽比要求较高的工艺中表现优异。
  3. 纳米压印光刻胶(JT-2000)
    应用场景:第三代半导体(GaN、SiC)芯片、量子点器件及微流控芯片的制造。特点:耐高温(250℃)、耐酸碱,支持纳米级精度图案复制,降低芯片的制造成本。
光刻胶半导体领域的应用。陕西紫外光刻胶供应商

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吉田半导体厚板光刻胶 JT-3001:国产技术助力 PCB 行业升级

JT-3001 厚板光刻胶支持 500nm/min 深蚀刻,成为国产 PCB 电路板制造推荐材料。
吉田半导体自主研发的 JT-3001 厚板光刻胶,分辨率 1.5μm,抗深蚀刻速率 > 500nm/min,适用于高密度 PCB 制造。其无卤无铅配方通过欧盟 RoHS 认证,已应用于华为 5G 基站主板量产。产品采用国产原材料与全自动化工艺,批次稳定性达 99.5%,帮助客户提升生产效率 20%,加速国产 PCB 行业技术升级,推动 PCB 行业国产化进程。
陕西紫外光刻胶工厂吉田技术研发与生产能力。

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以 15% 年研发投入为驱动,吉田半导体加速 EUV 光刻胶与木基材料研发,抢占行业制高点。布局下一代光刻技术。
面对极紫外光刻技术挑战,吉田半导体与中科院合作开发化学放大型 EUV 光刻胶,在感光效率(<10mJ/cm²)和耐蚀性(>80%)指标上取得阶段性进展。同时,公司前瞻性布局木基光刻胶研发,对标日本王子控股技术,探索生物基材料在半导体封装中的应用。这些技术储备为 7nm 及以下制程提供支撑,助力中国在下一代光刻技术中占据重要地位。

光刻胶(Photoresist)是一种对光敏感的高分子材料,主要用于光刻工艺中,通过光化学反应实现图案的转移,是半导体、集成电路(IC)、印刷电路板(PCB)、液晶显示(LCD)等制造领域的材料之一。

光刻胶特性与组成

• 光敏性:在特定波长(如紫外光、极紫外光EUV等)照射下,会发生化学结构变化(如交联或分解),从而改变在显影液中的溶解性。

• 主要成分:

◦ 树脂(成膜剂):形成基础膜层,决定光刻胶的机械和化学性能。

◦ 光敏剂:吸收光能并引发化学反应(如光分解、光交联)。

◦ 溶剂:调节粘度,便于涂覆成膜。

◦ 添加剂:改善性能(如感光度、分辨率、对比度等)。
吉田半导体实现光刻胶技术突破,为半导体产业链自主化提供材料支撑。

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 全品类覆盖与定制化能力
吉田半导体的光刻胶产品覆盖芯片光刻胶、纳米压印光刻胶、LCD光刻胶等全品类,适用于半导体、显示面板、MEMS等多个领域。例如,其LCD正性光刻胶YK-200和水油光刻胶JT-2001可满足0.45μm及以上线宽需求,支持客户定制化工艺参数,尤其在柔性显示(OLED)和Mini/Micro LED等新兴领域表现突出。
技术亮点:通过自主研发的树脂配方和光敏剂体系,实现了高分辨率(120nm)和高抗蚀性的平衡,部分指标(如线宽粗糙度LWR<3nm)接近国际主流产品水平。

 国产化材料与工艺适配
公司采用进口原材料+本地化生产模式,关键树脂单体、光敏剂等主要成分通过德国默克、日本信越等供应商采购,同时建立了超纯提纯工艺(杂质含量<1ppm),确保产品稳定性。此外,其光刻胶与国内主流光刻机(如上海微电子SSA800)、匀胶显影机(如盛美上海)的兼容性已通过验证,缩短客户工艺调试周期。
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客户认证:从实验室到产线的漫长“闯关”

 验证周期与试错成本
半导体光刻胶需经历PRS(性能测试)、STR(小试)、MSTR(中批量验证)等阶段,周期长达2-3年。南大光电的ArF光刻胶自2021年启动验证,直至2025年才通过客户50nm闪存平台认证。试错成本极高,单次晶圆测试费用超百万元,且客户为维持产线稳定,通常不愿更换供应商。

 设备与工艺的协同难题
光刻胶需与光刻机、涂胶显影机等设备高度匹配。国内企业因缺乏ASML EUV光刻机测试资源,只能依赖二手设备或与晶圆厂合作验证,导致研发效率低下。例如,华中科技大学团队开发的EUV光刻胶因无法接入ASML原型机测试,性能参数难以对标国际。
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