企业商机

广州高温光刻胶工厂

广东吉田半导体材料有限公司以全球化视野布局市场，通过严格的质量管控与完善的服务体系赢得客户信赖。公司产品不仅通过 I...

光刻胶基本参数

品牌
吉田半导体
型号
型号齐全

光刻胶企业商机

广东吉田半导体材料有限公司以全球化视野布局市场，通过严格的质量管控与完善的服务体系赢得客户信赖。公司产品不仅通过 ISO9001 认证，更以进口原材料和精细化生产流程保障品质，例如锡膏产品采用无卤无铅配方，符合环保要求，适用于电子产品制造。其销售网络覆盖全球，与富士康、联想等企业保持长期合作，并在全国重点区域设立办事处，提供本地化技术支持与售后服务。

作为广东省创新型中小企业，吉田半导体始终将技术研发视为核心竞争力。公司投入大量资源开发新型光刻胶及焊接材料，例如 BGA 助焊膏和针筒锡膏，满足精密电子组装的需求。同时，依托东莞 “世界工厂” 的产业集群优势，公司强化供应链协同，缩短交付周期，为客户提供高效解决方案。未来，吉田半导体将持续深化技术创新与全球合作，助力中国半导体产业迈向更高台阶。

政策支持：500亿加码产业链。广州高温光刻胶工厂

广东吉田半导体材料有限公司凭借技术创新与质量优势，在半导体材料行业占据重要地位。公司聚焦光刻胶、电子胶、锡膏等产品，其中纳米压印光刻胶可耐受 250℃高温及强酸强碱环境，适用于高精度纳米结构制造；LCD 光刻胶以高稳定性和精细度成为显示面板行业的推荐材料。此外，公司还提供焊片、靶材等配套材料，满足客户多元化需求。

在技术层面，吉田半导体通过自主研发与国际合作结合，持续优化生产工艺，实现全流程自动化控制。其生产基地配备先进设备，并严格执行国际标准，确保产品性能达到国际水平。同时，公司注重人才培养与引进，汇聚化工、材料学等领域的专业团队，为技术创新提供坚实支撑。未来，吉田半导体将继续以 “中国前列半导体材料方案提供商” 为愿景，推动行业技术升级与国产化进程。

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吉田半导体纳米压印光刻胶 JT-2000：国产技术突破耐高温极限

自主研发 JT-2000 纳米压印光刻胶耐受 250℃高温，为国产纳米器件制造提供关键材料。吉田半导体 JT-2000 纳米压印光刻胶采用国产交联树脂，在 250℃高温下仍保持图形保真度 > 95%。产品采用国产原材料与全自动化工艺，其高粘接强度与耐强酸强碱特性，适用于光学元件、传感器等精密器件。产品已通过国内科研机构验证，应用于国产 EUV 光刻机前道工艺，帮助客户实现纳米结构加工自主化。

定义与特性

正性光刻胶是一种在曝光后，曝光区域会溶解于显影液的光敏材料，形成与掩膜版（Mask）图案一致的图形。与负性光刻胶（未曝光区域溶解）相比，其优势是分辨率高、图案边缘清晰，是半导体制造（尤其是制程）的主流选择。

化学组成与工作原理

主要成分

• 树脂（成膜剂）：

◦ 传统正性胶：采用**酚醛树脂（Novolak）与重氮萘醌（DNQ，光敏剂）**的复合体系（PAC体系），占比约80%-90%。

◦ 化学增幅型（用于DUV/EUV）：含环化烯烃树脂或含氟聚合物，搭配光酸发生器（PAG），通过酸催化反应提高感光度和分辨率。

• 溶剂：溶解树脂和感光剂，常用丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）或乳酸乙酯。

• 添加剂：表面活性剂（改善涂布均匀性）、稳定剂（防止暗反应）、碱溶解度调节剂等。

工作原理

• 曝光前：光敏剂（如DNQ）与树脂结合，形成不溶于碱性显影液的复合物。

• 曝光时：

◦ 传统PAC体系：DNQ在紫外光（G线436nm、I线365nm）照射下发生光分解，生成羧酸，使曝光区域树脂在碱性显影液中溶解性增强。

◦ 化学增幅型：PAG在DUV/EUV光下产生活性酸，催化树脂发生脱保护反应，大幅提高显影速率（灵敏度提升10倍以上）。

• 显影后：曝光区域溶解去除，未曝光区域保留，形成正性图案。

吉田技术研发与生产能力。

主要应用场景

印刷电路板（PCB）：

◦ 通孔/线路加工：负性胶厚度可达20-50μm，耐碱性蚀刻液（如氯化铁、碱性氯化铜），适合制作大尺寸线路（线宽/线距≥50μm），如双面板、多层板的外层电路。

◦ 阻焊层：作为绝缘保护层，覆盖非焊盘区域，需厚胶（50-100μm）和高耐焊接温度（260℃以上），负性胶因工艺简单、成本低而广泛应用。

微机电系统（MEMS）：

◦ 深硅蚀刻（DRIE）：负性胶作为蚀刻掩膜，厚度可达100μm以上，耐SF₆等强腐蚀性气体，用于制作加速度计、陀螺仪的高深宽比结构（深宽比＞20:1）。

◦ 模具制造：在硅或玻璃基板上制作微流控芯片的通道模具，利用负性胶的厚胶成型能力。

平板显示（LCD）：

◦ 彩色滤光片（CF）基板预处理：在玻璃基板上制作绝缘层或缓冲层，耐湿法蚀刻（如HF溶液），确保后续RGB色阻层的精确涂布。

功率半导体与分立器件：

◦ IGBT、MOSFET的隔离区蚀刻：负性胶用于制作较宽的隔离沟槽（宽度＞10μm），耐高浓度酸碱蚀刻，降低工艺成本。

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吉田半导体全系列产品覆盖，满足多元化需求。广州高温光刻胶工厂

• 化学反应：

◦ 正性胶：曝光后光敏剂（如重氮醌DQN）分解，生成羧酸，在碱性显影液中溶解；

◦ 负性胶：曝光后光敏剂引发交联剂与树脂形成不溶性网状结构。

5. 显影（Development）

• 显影液：

◦ 正性胶：碱性水溶液（如0.26N四甲基氢氧化铵TMAH），溶解曝光区域；

◦ 负性胶：有机溶剂（如二甲苯、醋酸丁酯），溶解未曝光区域。

• 方法：喷淋显影（PCB）或沉浸式显影（半导体），时间30秒-2分钟，需控制显影液浓度和温度。

6. 后烘（Post-Bake）

• 目的：固化胶膜，提升耐蚀刻性和热稳定性。

• 条件：

◦ 温度：100-150℃（半导体用正性胶可能更高，如180℃）；

◦ 时间：15-60分钟（厚胶或高耐蚀需求时延长）。

7. 蚀刻/离子注入（后续工艺）

• 蚀刻：以胶膜为掩膜，通过湿法（酸碱溶液）或干法（等离子体）刻蚀基板材料（如硅、金属、玻璃）；

• 离子注入：胶膜保护未曝光区域，使杂质离子只能注入曝光区域（半导体掺杂工艺）。

8. 去胶（Strip）

• 方法：

◦ 湿法去胶：强氧化剂（如硫酸+双氧水）或有机溶剂（如N-甲基吡咯烷酮NMP）；

◦ 干法去胶：氧等离子体灰化（半导体领域，无残留）。

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