宁波防锈氮化钛加工

在深亚微米(0.15μm及以下)集成电路制造中，后段工艺日趋重要，为降低阻容迟滞(RCDelay)，保证信号传输，减小功耗，有必要对后段工艺进行改进，Via阻挡层MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition，金属有机物化学气相淀积)TiN是其中重要研究课题之一。本论文基于薄膜电阻的理论分析，从厚度、杂质浓度和晶体结构三大薄膜电阻影响因素出发系统研究MOCVDTiN材料在平面薄膜上和真实结构中的各种性质，重点是等离子体处理(PlasmaTreatment，PT)下的晶体生长，制备循环次数的选择对薄膜杂质浓度、晶体结构及电阻性能的影响，不同工艺薄膜在真实结构中物理形貌、晶体结构和电阻性能的表现和规律，超薄TiN薄膜(＜5nm)的实际应用等。俄歇能谱、透射电子显微镜和方块电阻测试证明PT作用下杂质浓度降低，同时晶体生长，薄膜致密化而电阻率降低。PT具有饱和时间和深度，较厚薄膜需多循环制备以充分处理，发现薄膜厚度较小时(本实验条件下为4nm)，增加循环次数虽然进一步降低了杂质浓度，但会引入界面而使薄膜电阻率增加。通过TEM观测发现由于等离子体运动的各向异性，真实结构中PT效率在侧壁远低于顶部和底部，这导致侧壁薄膜在PT后更厚。氮化钛有较高的导电性可用作熔盐电解的电极以及点触头、薄膜电阻等材料。宁波防锈氮化钛加工

50.氮化钛(TiN)薄膜以其独特的性能不仅各类商品的表面装饰上有着适合的应用,而且在机械工业也展示了巨大的应用前景。本文利用大功率偏压电源的多弧离子镀技术,采用工具镀工艺,在Ti-6Al-4V合金材料表面制备了TiN薄膜。X射线光电子能谱检测证明了所制备的薄膜确为TiN。机械性能测试表明:具有TiN涂层样品的显微硬度较为高于Ti合金基材,同时耐磨性能也明显得到改善。既可以大幅提高机械产品的表面硬度，提高其耐磨性、降低摩擦系数，进而提高使用寿命。氮化钛加工TiN是非化学计量化合物稳定的组成范围为TiN0.37- TiN1.16，氮含量可在一定范围内变化不引起TiN结构的变化。

42.TiN的能带结构和态密度TiN属于面心立方结构，晶格中参与成键的价电子有过渡族金属Ti的3d24s2和N的2p3。通过采用缀加平面波方法和靠前性原理计算可以得出TiN的能带结构和态密度，进而计算出材料中电子的填充态和未填充态，再根据跃迁的选择定则，计算出跃迁矩阵元和吸收系数，从而得到介电函数的虚部;再根据Kramers-Kronig变换关系就可得出介电函数的实部，据Maxwell关系式就可以确定材料的折射率和消光系数。所以分材料的能带结构和态密度对材料光学性质的影响就显得非常重要。

ＴｉＮ涂层的耐腐蚀性能进行了试验研究。除采用几种较弱的腐蚀介质外，还在Ｈ２ＳＯ４溶液、ＨＣｌ溶液中对ＴｉＮ涂层样品做了浸泡试验。所有结果表明：涂层后的样品。其耐腐蚀性能比未涂层样品提高几倍至十几倍。同时，在ＮａＣｌ溶液、人工汗液和酸溶液中，分别测定了涂层和未涂层样品的电化学行为。ＴｉＮ涂层表现出较高的溶解电位，说明它在热力学上对上述化学介质是比较稳定的。致密ＴｉＮ涂层的耐腐蚀能力优于不锈钢，但是如果涂层有贯穿的孔洞或涂展太薄时，则涂层试样也会被腐蚀。基于氮化钛优良的导电性能，可做成各种电极以及点触头等材料。

在镁碳砖中添加一定量的TiN，可以明显提高镁碳砖的抗渣侵蚀性。1)氮化钛是优良的结构材料，可用于蒸汽喷射推进器和火箭等。在轴承和密封圈领域也大量使用氮化钛合金，强调了氮化钛的应用效果。2)基于氮化钛的优异导电性，可以制作各种电极和点接触等材料。3)氮化钛具有高超导临界温度，可作为优良的超导材料。4)氮化钛熔点高于许多过渡金属氮化物，密度低于许多金属氮化物，是一种独特的耐火材料。5)氮化钛可以作为一种膜镀在玻璃上，红外反射率大于75%时，氮化钛薄膜厚度大于90nm时，可以有效提高玻璃的保温性能。另外，通过调整氮化钛中的氮含量，可以改变氮化钛薄膜的颜色，达到理想的美观。许多日本的刀具公司都能供应含有氮化钛涂层的产品，其中有些卖给了欧洲部分国家和美国，多数进入日本市场。宿迁 刀具氮化钛镀黑钛

氮化钛涂层具有令人满意的金黄色，作为代金装饰材料具有很好的仿金、装饰价值并有防腐、延长工艺品的寿命。宁波防锈氮化钛加工

TiN中文名称氮化钛薄膜可以减轻切削刃边材料的附着，提高切削力，改善工件的表面质量，成倍增加切削工具的使用寿命和耐用度。因此，TiN薄膜被适合用于低速切削工具、高速钢切削、木板切削刀具和钻头的涂覆上。另外，TiN也是磨损部件的理想耐磨涂层，特别是由于其低的黏着倾向拓宽了在许多磨损系统中的应用，如汽车发动机的活塞密封环、各种轴承和齿轮等：此外，TiN还广泛应用于成型技术工具涂层，如汽车工业中薄板成型工具的涂层等。宁波防锈氮化钛加工