伸缩杆12下端固定安装有圆环块13,圆环块13与喷头10之间固定连接有连接杆14,分隔板2与承载板3相互垂直设置,电解池4内部底端的倾斜角度设计为5°,进液管8的形状设计为l型,且进液管8贯穿分隔板2设置在进液漏斗6与伸缩管9之间,圆环块13通过伸缩杆12活动安装在喷头10上方,且喷头10通过伸缩管9活动安装在电解池4上方,通过设置有伸缩管9与伸缩杆12,能够在蚀刻液通过进液管8流入到电解池4中时,启动液压缸11带动伸缩杆12向上移动,从而通过圆环块13配合伸缩管9带动喷头10向上移动,进而将蚀刻液缓慢的由喷头10喷入到电解池4中,避免蚀刻液对电解池4造成冲击而影响其使用寿命,具有保护电解池4的功能;分隔板2右端表面靠近上端固定安装有增压泵16,增压泵16下端与电解池4之间连接有回流管15,增压泵16上端与进液管8之间连接有一号排液管17,回流管15内部左端设置有一号电磁阀18,回流管15与进水管27的形状均设计为l型,通过在增压泵16下端设置有回流管15,能够在蚀刻液电解后,启动增压泵16并打开一号电磁阀18,将蚀刻液通过回流管15抽入到一号排液管17中,并由进液管8导入到伸缩管9中,直至蚀刻液由喷头10重新喷到电解池4中。性价比高的蚀刻液哪里可以买到;池州蚀刻液产品介绍
etchingamount)的相互关系的图表。具体实施方式本发明人确认了用于氮化物膜去除工序用蚀刻液组合物的具有防蚀能力的添加剂在满足特定参数值时能够使在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*选择性去除氮化物膜且不损伤氧化物膜的效果极大化,从而完成了本发明。本发明包括选择在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*将氮化物膜选择性去除的能力优异的添加剂的方法、由此选择的添加剂、包含上述添加剂的蚀刻液组合物以及利用上述蚀刻液组合物的蚀刻方法。本发明中,蚀刻对象膜可以为氮化物膜,保护对象膜可以为氧化物膜。此外,本发明的上述添加剂可以为硅烷(silane)系偶联剂。<蚀刻液组合物>具体而言,本发明可以包含磷酸、添加剂和水,上述添加剂可以为硅烷(silane)系偶联剂。本发明的上述添加剂的特征在于,使上述添加剂的反应位点(activesite)的数量除以上述添加剂的水解(hydrolysis)了的形态的分子量之后乘以(参照以下数学式)满足。本发明中,各添加剂的反应位点(activesite)的数量和添加剂的水解(hydrolysis)了的形态的分子量的例子示于表3中。此外,由此计算的各添加剂的aeff值和与此有关的蚀刻程度的例示示于表2中。参照上述结果,可以确认到上述添加剂的aeff值推荐满足。苏州格林达蚀刻液价格蚀刻液 [博洋化学] 新工艺,实现循环使用!
银蚀刻液主要用于印刷线路板制造,银器及银合金的蚀刻、标牌制作。二、突出特点1.蚀刻速度快,效率高。使用方便。蚀刻最高速度可达2000纳米/秒。2.可循环使用,无废液排放。三、理化指标外观:液体;气味:微;比重:1.05±0.1;pH:偏碱性四、使用方法1.预处理:如银或铜合金表面不洁净,需对表面进行洁净处理,如除油、除杂等。2.蚀刻:(1).将图案模板纸粘附于银板或银器上,再将银蚀刻液用喷淋设备喷于图案处,时间1分钟到几十分钟不定(用户可根据蚀刻要求自行试验时间,因模板纸不同,时间也不同),揭去模板纸,用清水冲掉残物。(2).用100-200T的丝网,75度硬度的聚酯刮胶,将光固化抗蚀刻油墨印刷在基板上,然后将油墨在紫外灯下光照20—30秒钟,(紫外光能量为1000mj/cm2)。用喷淋的方式进行蚀刻,温度50±5℃,压力1-3kg/cm2时间1分钟到几分钟,(具体时间根据蚀刻深度而定)。然后,用1%--3%的氢氧化钠溶液将光固化抗蚀刻油墨溶解出去。
装置主体1的顶部另一端固定连接有硝酸钾储罐21,装置主体1的内部中间部位固定连接有连接构件11,装置主体1的内部底部中间部位固定连接有常闭式密封电磁阀10,连接构件11的内侧固定连接有过滤部件9,装置主体1的内部底端另一侧固定连接有收集仓8,收集仓8的另一侧底部固定连接有密封阀门7,过滤部件9的顶端两侧活动连接有滑动盖24,过滤部件9的内部中间两侧固定连接有收缩弹簧管25,连接构件11的内侧两端嵌入连接有螺纹管27,连接构件11的内部中间两侧活动连接有活动轴28,连接构件11的内侧中间两侧嵌入连接有密封软胶层29。推荐的,硝酸钾储罐21的顶部嵌入连接有密封环22,在将制备蚀刻液储罐加入制备材料的时候,需要将储罐进行密封,密封环22能将硝酸钾储罐21和其他储罐的顶盖与储罐主体连接的位置进行密封,使硝酸钾储罐21和其它储罐的内部形成一个密闭的空间,避免环境外部的杂质进入储罐内,有效的提高了装置使用的密封性。推荐的,连接构件11的两侧嵌入连接有海绵层12,在使用装置制备蚀刻液的时候,需要通过连接构件11将装置主体1内部的部件进行连接,在旋转连接构件11的两侧时,操作人员的手会与连接构件11接触,海绵层12可以将操作人员手上的水分进行吸收。苏州博洋化学您正确的选择,欢迎咨询。
负的值表示厚度减小。上述蚀刻液组合物以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*选择性蚀刻上述氮化物膜为特征,上述氧化物膜推荐包含sio2,上述氮化物膜推荐包含sin。上述蚀刻液组合物用于3dnand闪存制造工序,能够使上述氮化物膜去除工序中发生的副反应氧化物的残留和氧化物膜损伤不良问题**少化。本发明的蚀刻液组合物包含如上选择的添加剂,在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*选择性蚀刻氮化物膜时,能够使因副反应氧化物的残留时间变长而氮化物膜未被完全去除的不良(参照图2)以及氮化物膜虽被完全去除但也造成氧化物膜损伤(damage)的工序不良(参照图3)的发生**少化。因副反应氧化物的残留时间变长而氮化物膜未被完全去除的不良在添加剂的防蚀能力强于适宜水平时发生,氧化物膜不良在添加剂的防蚀能力弱于适宜水平时发生。以下,对于本发明的蚀刻液组合物中所包含的磷酸、作为添加剂的硅烷(silane)系偶联剂以及进行更详细的说明。(a)磷酸本发明的蚀刻液组合物中所包含的上述磷酸(phosphoricacid)作为主氧化剂可以在使氮化物膜氧化时使用。相对于组合物总重量,上述磷酸的含量为50~95重量%,推荐为80~90重量%。在上述磷酸的含量处于上述含量范围内的情况下。BOE蚀刻液欢迎咨询苏州博洋化学股份。无锡格林达蚀刻液配方技术
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所述液位计7安装于所述分离器的外表面。液位计7安装在方便工作人员查看的位置,有利于提高工作人员工作的效率。在一个实施例中,如图1所示,所述液位开关9为控制阀,设置于所述滤液出口2处。控制阀为内螺纹截止阀,通过旋转操纵盘实现阀门的开关,这种阀结构简单,维修方便,工作行程小,启闭时间短,使用寿命长。在一个实施例中,如图2所示,所述分离器的侧壁上设有多个视镜10。分离器侧壁上设置的视镜10可以帮助工作人员辅助判断液位计7的工作状况。在一个实施例中,如图1所示,所述加热器11为盘管式加热器。盘管式加热器的受热更加均匀,加热效率更高。在一个实施例中,如图1所示,所述分离器底部为锥体形状。分离器底部设置成锥体形状更有利于滤液排出,不会残留在分离器内。以上所述是本实用新型的推荐实施方式,本实用新型的保护范围并不局限于上述实施例,凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。池州蚀刻液产品介绍