电镀设备基本参数
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半导体滚镀设备

是一种于半导体制造中金属化工艺的精密设备,主要用于在半导体晶圆、芯片或微型元件表面沉积均匀的金属镀层。其在于通过可控的电化学或化学镀工艺,实现高精度、高一致性的金属覆盖,满足集成电路封装、先进封装及微机电系统等领域的特定需求

与传统滚镀不同,半导体滚镀更注重工艺洁净度、镀层精度及与半导体材料的兼容性。

二、功能

1.金属互连:在晶圆上形成铜导线。

2.凸块制备:沉积锡、铜、金等材料,用于芯片与基板的电气连接。

3.阻挡层/种子层镀覆:镀钛、钽等材料,防止金属扩散并增强附着力。

三、设备组成

1.电镀槽:

材质:耐腐蚀材料,避免污染镀液

镀液循环系统:维持镀液成分均匀,过滤颗粒杂质

2.旋转载具:

晶圆固定装置:真空吸附或机械夹持,确保晶圆平稳旋转

转速控制:通过伺服电机调节转速,优化镀层均匀性

3.阳极系统:

可溶性/不溶性阳极:铜、铂等材料,依镀层需求选择

阳极位置调节:控制电场分布,减少边缘效应

4.供液与喷淋系统:

多点喷淋头:均匀分配镀液至晶圆表面,避免气泡滞留

流量控制:精确调节镀液流速,匹配不同工艺需求

5.控制系统:

PLC/工控机:集成温度、pH值、电流密度等参数监测与反馈。

配方管理:存储不同镀层的工艺参数 检测设备的涡流测厚仪非接触式快速测量镀层厚度,实时反馈数据至 PLC 系统自动调整参数。实验型电镀设备供应商

实验型电镀设备供应商,电镀设备

电镀生产线其组成部分围绕 “前处理→电镀处理→后处理→辅助控制” 具体如下:

一、工艺处理系统

1. 前处理设备

除油装置:

化学除油槽:使用碱性溶液或表面活性剂,去除工件表面油污。

电解除油槽:通过电化学作用强化除油效果,分阳极除油(适用于钢铁件)和阴极除油(适用于铝、铜等易腐蚀金属)。

酸洗 / 活化设备:

酸洗槽-活化槽-水洗槽

2.电镀处理设备

镀槽主体:

按电镀方式分类:

挂镀槽:用于中大件或精密件

滚镀机:用于小尺寸、大批量工件(如螺丝、电子元件)

连续镀设备:针对带状 / 线状工件(如钢带、铜线)

槽体材料:根据电解液性质选择

3. 后处理设备

清洗系统:多级水洗(冷水洗、热水洗),去除镀层表面残留电解液,防止腐蚀。

钝化 / 封闭装置:

钝化槽:通过铬酸盐、无铬钝化剂等形成保护膜(如镀锌后的蓝白钝化、五彩钝化),提高耐腐蚀性。

封闭槽:用于多孔镀层(如阳极氧化膜),通过热水封闭或有机涂层封闭,增强膜层致密性。

干燥设备:

热风干燥箱:适用于小件批量干燥,温度可控(50~150℃)。

离心干燥机:滚镀后工件甩干(滚筒直接接入,快速去除表面水分)。

特殊处理:如镀后抛光(机械或电解抛光)、涂油(防锈)等。 实验型电镀设备供应商前处理的超声波除油设备结合碱性洗液,高频振动剥离顽固油污,提升复杂结构工件清洁效果。

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如何选择适合的电镀周边设备?

需结合工艺需求、生产规模、预算及环保要求,以下建议:

一、明确需求

1.工艺类型根据镀层种类选择设备,例如镀铬需耐高温镀槽,镀金需高精度整流器。前处理/后处理流程决定是否需要超声波清洗机、甩干机等配。

2.生产规模中小批量:优先选择模块化设备(如可扩展的镀槽、单机过滤机),降低初期投入。大规模量产:考虑自动化生产线(如机器人上下料、PLC集中控制系统),提升效率。

3.镀层质量要求高精度产品(如电子元件):需配备在线检测设备(如X射线测厚仪)、恒温恒湿控制系统。普通五金件:可选基础检测设备(如磁性测厚仪)。

二、关键设备选型要点

1.镀槽材质:酸性选聚丙烯(PP),高温强碱选聚四氟乙烯(PTFE)。尺寸:根据工件大小和产能计算槽体容积,预留10%-20%余量避免溢出。

2.整流器优先选择高频开关电源(节能30%以上),输出电流需覆盖最大负载的120%。复杂工艺(如脉冲电镀)需配置可编程整流器。

3.过滤系统精密电镀(如PCB):采用多级过滤(滤芯+超滤膜),精度≤1μm。常规电镀:选用袋式过滤机,精度5-25μm即可。

4.环保设备废气处理:酸雾量大时选喷淋塔+活性炭吸附废水处理:重金属废水需配备离子交换或反渗透(RO)系统

全自动磷化线

一种用于金属表面处理的自动化生产线,通过化学磷化工艺在金属表面形成一层磷酸盐转化膜,以提升金属的耐腐蚀性、涂装附着力和润滑性能

一、基本概念

1.磷化(Phosphating)是一种化学表面处理技术,利用磷酸盐溶液与金属(如钢铁、锌、铝等)发生反应,生成一层致密的磷酸盐晶体膜(如磷酸铁、磷酸锌)

功能:防锈、增强涂层附着力、减少摩擦、延长金属寿命

2.全自动磷化线通过自动化设备实现磷化工艺全流程无人化操作,覆盖预处理、磷化、后处理等环节。

二、组成

1.预处理单元

脱脂槽:去除金属表面油污

酸洗槽:氧化皮和锈迹

水洗槽:冲洗残留化学药剂

2.磷化处理单元

磷化槽:主反应区,金属浸泡或喷淋磷化液,生成转化膜

温度与浓度控制:通过传感器和自动加药系统维持工艺参数稳定

3.后处理单元

封闭/钝化槽:增强磷化膜耐腐蚀性

烘干系统:热风或红外烘干,避免水痕残留

4.自动化系统

输送装置:传送带、机械臂或悬挂链,精细控制工件移动

PLC控制:集成温控、液位监测、流程时序管理

数据监控:实时记录工艺参数,支持远程操作与故障诊断

三、工作流程

上料 → 脱脂 → 水洗 → 酸洗 → 水洗 → 表调(调整表面活性)→ 磷化 → 水洗 → 钝化 → 烘干 → 下料。


电镀电源设备提供稳定直流电流,支持恒流恒压调节,直接影响镀层厚度与质量均匀性。

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电镀设备的组成

1.电解电源系统

提供稳定直流电,通常采用高频开关电源或硅整流器,电压范围0-24V,电流可调至数千安培,满足不同镀种需求。

2.电解槽体结构

耐腐蚀材质槽体(如PP/CPVC/PVDF),尺寸设计依据生产需求,典型容积0.5-10m³,配置防渗漏双层结构。

3.电极系统

阳极组件:可溶性金属(如镍板)或不溶性阳极(钛篮+金属球),配置阳极袋防止杂质扩散

阴极挂具:定制化设计,确保工件均匀受镀,接触电阻<0.1Ω

4.工艺控制系统

温控精度±1℃,流量控制误差<5%

在线pH监测(±0.1精度)

安培小时计控制镀层厚度

设备分类与技术参数

类型                    适用场景                  产能(㎡/h)              厚度均匀性                 典型配置

挂镀线                精密零部件                   0.5-2                     ±5%                    多工位龙门架,PLC控制        滚镀系统            小件批量处理                  3-8                      ±15%                    六角滚筒,变频驱动          连续电镀线           带材/线材                     10-30                     ±8%                    张力控制+多槽串联          选择性电镀             局部强化                   0.1-0.5                   ±3%                   数控喷射装置,微区控制 镀铬设备配置铅锑合金阳极与阳极袋,过滤阳极泥渣,防止杂质污染镀液,维持硬铬镀层高硬度。广西龙门电镀设备

废水处理设备分类收集含铬、镍等废水,经化学沉淀、离子交换处理,确保重金属达标排放。实验型电镀设备供应商

滚挂一体电镀实验设备的特点

是一种用于电镀实验的专业装置,它融合了滚镀和挂镀两种电镀方式于一体。

该设备通常由镀槽、滚桶、挂具、电源系统、搅拌装置、温控系统等部分组成。在进行电镀实验时,既可以将小型零件放入滚桶中进行滚镀,使零件在滚动过程中均匀地镀上金属层;也可以通过挂具将较大或形状特殊的零件悬挂在镀槽中进行挂镀,以满足不同类型零件的电镀需求。这种设备具有功能多样、操作灵活、占地面积小等优点,能够为电镀工艺的研究和开发提供便利,帮助科研人员和技术人员更好地掌握电镀技术,优化电镀参数,提高电镀质量。 实验型电镀设备供应商

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