很多人都不了解探针台,因为很少接触到。但是,它在的作用是非常大的,它的使用步骤我们还是需要了解的。下面,小编就带大家了解一下它的使用步骤。希望能对大家有所帮助。1、将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品平安且牢固地吸附在卡盘上。2、运用卡盘X轴、Y轴控制旋钮挪动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚...
高精度探针台例如OTS,QPU和TTG相关技术,这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。特性1:OTS对正系统(光学目标对准)OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其位置的精度。这是非常引人注目的技术,来源于TSK的度量技术。OTS实现了以自己为参照的光学对准系统。特性2:QPU-高刚性的硅片承载台(四方型系统)为了有效的达到接触位置的精度,硅片承载台各部分的刚性一致是非常重要的,UF3000使用新的4轴机械转换装置(QPU),达到高刚性,高稳定度的接触。特性3:装载部件令客户满意的测试环境,可以提供从前部开始的通常的8",12"及基本检查单元。也为自动物料输送系统应用做好了准备。特性4:TTG(一点即到)更加方便的操作,UF3000采用在显示屏上点一下,相关的屏幕就会切换到新的位置显示。相关的设定十分方便。屏幕的显示模式也可以由客户自行定义。芯片的电参数测试用手动探针台。IGBT探针台配件
探针台如何工作?探针台可以固定晶圆或芯片,并精确定位待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中,并使用显微镜将探针前列放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针前列都被设置在正确的位置,就可以对待测物进行测试。对于带有多个芯片的晶圆,使用者可以抬起压盘,压盘将探针头与芯片分开,然后将工作台移到下一个芯片上,使用显微镜找到精确的位置,压板降低后下一个芯片可以进行测试。半自动和全自动探针台系统使用机械化工作台和机器视觉来自动化这个移动过程,提高了探针台生产率。低阻测试探针台产品介绍半导体设备市场中,探针台是我国目前能实现高国产化率的设备。
高低温探针台优势1.满足各种温度的需求:可以满足非常高的温度或非常低的温度的需求,因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,我们针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。2、体积小,稳定性高:与传统探针台相比,高低温真空探针台的稳定性更高,采用先进的技术工艺,让探针台在工作过程中流畅性更高,平稳性更高,从而保证每次实验数据的稳定性,这样实验得出的结果就会更加准确。3、成本更低,可兼容直流跟射频测试的运用:与传统探针台相比,这种探针台采用先进的合成材料,成本方面比传统探针台更低,但是功能性都更加强大。
手动探针台是广泛应用于半导体行业的综合经济型测试仪器,主要用于半导体芯片的电参数检测。手动探针台是通过两根探针以及吸片盘够成的回路以及相应大型电参数测试仪对芯片中的集成电路进行检测的。应用范围:手动探针台主要用于对生产及科研中的集成电路、三极管、二极管、可控硅及敏感元件管芯的电压、电流、电阻等参数进行手动测试。极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试:当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。探针台是半导体、晶圆、集成电路中重要的检测设备。
探针台怎么选合适的配置,怎么确定精度?通常需要确定以下问题来确定探针台的选型:8、是否会用到探针卡?9、光学显微镜的**小分辨率需要用到多少?10、显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测?11、接驳的测试仪器接口有哪些?12、测试环境时是否会需要加热或者降温?13、对chuck的漏电要求怎样?是否需要添加低阻抗chuck?14、是否需要防震桌?15、若添置防震桌,是否有压缩空气?16、您的预算多少?项目计划什么时候落实采购?探针台怎么选合适的配置?射频探针台加装
探针台广泛应用于产品开发和故障失效分析。IGBT探针台配件
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速露件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压,电流、电阳以及电容电压特性线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析,抽查测试等用途.激光探针台主要检测内容:1、激光打标;2、表层修复线路(利用激光将两层金属线熔融连接);3、驱除短路点;4、激光断线,5、干扰芯片测试;除了以几项之外激光探针台兼备常规探针台功能:1.微小连接点信号引出2.失效分析失效确认3.FIB电路修改后电学特性确认4.晶圆可靠性验证IGBT探针台配件
上海波铭科学仪器有限公司位于望园南路1288弄80号1904、1909室。公司业务分为拉曼光谱仪,电动位移台,激光器,光电探测器等,目前不断进行创新和服务改进,为客户提供良好的产品和服务。公司从事仪器仪表多年,有着创新的设计、强大的技术,还有一批专业化的队伍,确保为客户提供良好的产品及服务。波铭科仪凭借创新的产品、专业的服务、众多的成功案例积累起来的声誉和口碑,让企业发展再上新高。
很多人都不了解探针台,因为很少接触到。但是,它在的作用是非常大的,它的使用步骤我们还是需要了解的。下面,小编就带大家了解一下它的使用步骤。希望能对大家有所帮助。1、将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品平安且牢固地吸附在卡盘上。2、运用卡盘X轴、Y轴控制旋钮挪动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚...