气体流量控制器基本参数
  • 品牌
  • 道威斯顿/DOWESTON
  • 型号
  • MFC,FTWM,ACU10
  • 尺寸
  • 1-15mm
  • 重量
  • 0.18
  • 产地
  • 中国
  • 可售卖地
  • 全国
  • 是否定制
  • 材质
  • 按需定制
  • 配送方式
  • 送货上门
  • 流量范围
  • 0.1 SCCM ~ 5000 SLM
  • 口径(mm)
  • 1, 1.5, 2, 3, 4, 6, 8, 10, 12,
  • 流量精度
  • ±0.5% ~ ±2% F.S.
  • 重复性
  • ±0.2% ~ ±0.5% F.S.
  • 响应时间
  • 0.5 ~ 3 秒(90% 阶跃)
  • 工作压力范围
  • 0.1 ~ 100 bar(1~1500 psi)
  • 泄漏率
  • <1×10⁻⁹ SCCM He
  • 温度范围
  • -10°C ~ 60°C(标准)
  • 控制信号
  • 0-5V / 0-10V / 4-20mA
  • 通讯接口
  • RS232/RS485, Modbus, CAN
气体流量控制器企业商机

低温真空环境的热控设计在空间环境模拟舱中,气体流量控制器需在-180℃至120℃温度范围及10⁻⁶Pa真空环境下工作。设备采用多层隔热组件(MLI),由20层镀铝聚酰亚胺薄膜与间隔网交替构成,热导率低至0.003W/(m·K)。加热元件选用聚酰亚胺薄膜加热器,通过PID控制维持流道温度在-50℃以上,防止气体冷凝。为消除真空放气污染,所有非金属材料预先进行24小时125℃烘烤除气。某卫星环境试验表明,该控制器使真空舱背景压力波动从±5×10⁻⁶Pa降至±1×10⁻⁶Pa,满足CCD器件测试要求。晋城气体流量控制器保养

气体流量控制器

强酸碱环境的耐蚀设计在电镀车间或化工废水处理厂中,气体流量控制器需长期接触强酸强碱介质。设备流道采用全内衬聚四氟乙烯(PTFE)结构,厚度达3mm,可抵御浓度30%的硫酸、氢氧化钠腐蚀。阀芯组件选用哈氏合金B-3,通过激光熔覆技术沉积钼基耐蚀层,腐蚀速率低于0.01mm/年。为防止电化学腐蚀,设备外壳进行阳极氧化处理,并连接牺牲阳极(锌块)。某电镀园区应用表明,该控制器在pH1-14的介质中运行1年,外观无腐蚀痕迹,控制精度仍保持±0.3%。眉山新型气体流量控制器

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真空环境的分子流控制在半导体刻蚀设备的真空反应室中,需实现10⁻⁶Pa级真空环境下的气体注入控制。控制器流道采用全金属密封结构,阀座与阀芯通过氦质谱检漏仪验证,泄漏率低于1×10⁻¹²Pa·m³/s。为解决分子流态中,流量测量难题,设备集成压电式微流量传感器,通过检测气体分子碰撞产生的电荷量实现流量检测,量程下限达10⁻⁹kg/s。控制算法采用直接模拟蒙特卡洛(DSMC)方法,结合气体分子动力学模型,在稀薄气体条件下仍能保持±2%的控制精度。某3DNAND闪存生产线应用表明,该方案使刻蚀均匀性从±5%提升至±1.2%,器件良率提升8%。

在航空航天高超声速风洞或火箭发动机喷管中,气体流量控制器需应对马赫数超过5的超音速气流。为抑制激波导致的流量脉动,设备流道采用渐扩式设计,扩张角精确控制在3°-5°之间,通过CFD优化使激波强度降低40%。阀芯组件选用镍基高温合金(如Haynes 230),表面覆盖热障涂层(TBC)以抵御1200℃以上气动加热。为消除边界层分离,流道内壁设置微型涡流发生器阵列,通过产生有序涡流增强附面层能量。控制算法集成激波位置预测模型,根据总压、静压实时调整阀口开度,使流量波动从±8%降至±1.5%。某高超声速飞行器地面测试表明,该方案使风洞运行时间延长3倍,激波反射干扰降低75%。

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极端压力波动控制在石油天然气开采的井口装置或海底管道中,气体流量控制器需承受0-70MPa的周期性压力波动。流道采用自增强处理技术,通过超压预应力加载使材料表面产生压缩残余应力,疲劳强度提升40%。阀芯驱动机构配备液压缓冲装置,当检测到压力突变(>10MPa/s)时,自动启动阻尼孔泄压,将压力冲击对控制精度的影响从±5%降至±1.5%。某海上平台应用显示,该方案使设备在7000米海深(压力70MPa)下仍能保持±0.2%的流量控制精度,较常规产品抗冲击能力提升3倍,压力波动导致的设备故障率降低85%。贵阳气体流量控制器哪家强

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强震动环境的抗振优化在铁路机车或振动筛分设备中,气体流量控制器需承受10g以上的振动加速度。设备采用六自由度隔振平台,通过橡胶-金属复合弹簧与阻尼器组合,将振动传递率从0.7降至0.1。电路板进行加固处理,关键元件通过灌封胶固定。为防止导线断裂,线束采用高柔性电缆与航空插头,弯曲半径满足10倍线径要求。某铁路机车制动系统测试表明,该控制器在100小时随机振动试验后,流量控制精度仍保持±0.2%,远超TB/T3138铁路标准要求。


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