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美国ALICAT质量流量控制器 Standard (high) accuracyControl range (% FS)Max pressure differential (PSID)Min pressure drop (PSID)Use forMC±0.6 (0.5)% RD or ±0.1% FS0.01-10075      1StandardMCP±0.6 (0.5)% RD or ±0.1% FS0.01-10075      1High flow rate (≥50 SLPM)MCR±0.6 (0.5)% RD or ±0.1% FS0.2-10075      2.4High flow rate (≥50 SLPM), low differential pressureMCW±0.75 (0.6)% RD or ±0.1% FS0.01-10015      0.06Low pressure dropMCS±0.8 (0.4)% RD and ±0.2% FS0.01-10075      1Corrosive gasesMCRS±0.8 (0.4)% RD and ±0.2% FS0.2-10075      2.4High flow rate (≥50 SLPM), low differential pressure, corrosive gasesMCQ±0.6% RD or ±0.1% FS0.01-10075      1High system pressureMCD±0.6 (0.5)% RD or ±0.1% FS0.01-10075      1Bidirectional flowsMCRD±0.8 (0.4)% RD and ±0.2% FS0.2-10075      1Bidirectional flows, high flow rate (≥50 SLPM), low differential pressureMCDW±0.75 (0.6)% RD or ±0.1% FS0.01-10015      0.06Bidirectional flows, low pressure dropMCRDW±0.8 (0.4)% RD and ±0.2% FS0.2-10015      0.1Bidirectional flows, high flow rate (≥50 SLPM), low pressure dropTFM2VL400AS TFM2VG400AF TFM2VL400AF 意大利ELETTRITEC流量开关TFM/V型号 TFM3VG400PS TFM3VL400PS TFM3VG400PF.

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