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    本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术：在半导体制造工厂等制造工厂中，为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运，提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如，参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的轨道行驶，因此需要与高架搬运车和起重机对应地，分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此，存在不仅对轨道的设置花费成本，需要用于铺设各轨道的空间，而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应，因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素：本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本，并且分担高架搬运车与起重机的作用，由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备：第1区段内顶棚轨道，其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置；第二区段内顶棚轨道。江宁区工业真空搬运机推荐厂家！江阴多功能真空搬运机有几种

    在图1至图3中包括有：1——机械手安装架11——固定安装竖板111——活动槽12——竖板固定座2——中间活动板3——前端活动架4——水平导轨副41——水平导轨42——水平滑块5——竖向导轨副51——竖向导轨52——竖向滑块61——吸盘安装架62——真空吸盘71——活动架驱动块72——活动架驱动轴73——轴承8——机械手驱动电机9——驱动轴拨动块。具体实施方式下面结合具体的实施方式来对本实用新型进行说明。如图1至图3所示，一种新式真空搬运式机械手，包括有机械手安装架1，机械手安装架1包括有呈竖向布置的固定安装竖板11，固定安装竖板11的下端侧装设有竖板固定座12，竖板固定座12的上端部与固定安装竖板11螺接。进一步的，固定安装竖板11的前端侧可相对活动地装设有分别呈竖向布置的中间活动板2、前端活动架3，前端活动架3位于中间活动板2的前端侧，中间活动板2与固定安装竖板11之间装设有呈水平横向布置的水平导轨副4，前端活动架3与中间活动板2之间装设有呈竖向布置的竖向导轨副5，前端活动架3的下端部装设有吸盘安装架61，吸盘安装架61装设有真空吸盘62。更进一步的，固定安装竖板11的前表面开设有呈“n”形状的活动槽111，前端活动架3螺装有活动架驱动块71。江阴多功能真空搬运机有几种雨花台区工业真空搬运机推荐厂家！

    其从第二处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第二处理装置的装载端口设置；区段间顶棚轨道，其将第1区段内顶棚轨道与第二区段内顶棚轨道连结；第1保管部和第二保管部，它们在第1区段内顶棚轨道和第二区段内顶棚轨道各自的下方且侧方沿上下方向设置有多层，并用于保管物品；第1交接端口和第二交接端口，它们设置于第1区段内顶棚轨道和第二区段内顶棚轨道各自的下方且侧方；第1起重机，其具备沿着第1区段内顶棚轨道行驶的第1行驶部、从第1行驶部垂下的第1桅杆、以及被第1桅杆引导而升降的第1移送部，并且在第1处理装置的装载端口、第1保管部、以及第1交接端口之间搬运物品；第二起重机，其具备沿着第二区段内顶棚轨道行驶的第二行驶部、从第二行驶部垂下的第二桅杆、以及被第二桅杆引导而升降的第二移送部，并且在第二处理装置的装载端口、第二保管部、以及第二交接端口之间搬运物品；以及高架搬运车，其具备行驶部、用于保持物品的保持部、悬挂保持部且使保持部升降的升降驱动部、以及使升降驱动部向侧方突出的横向伸出机构，并且在第1交接端口与第二交接端口之间搬运物品，上述行驶部沿着第1区段内顶棚轨道、第二区段内顶棚轨道、以及区段间顶棚轨道行驶。另外。

    下垂臂19末端设有真空吸盘21，真空吸盘21下端吸有工件。该机械手利用真空吸附原理，将真空泵或真空鼓风机作为真空源，通过抽空真空吸盘21内的空气产生真空，从而将各种工件牢牢吸起，并通过摆动主臂10、摆动副臂11、旋转臂16、下垂臂19等将工件搬运到指定地点。该真空是由一个外部的真空泵或真空鼓风机产生的，不需要链或绳子吊重机或其它的提升设备来抓取或提起的负载起重。通过检测真空吸盘21内的真空度，能自动识别下垂臂19上有无载荷，并经气动逻辑控制回路自动调整主升降气缸5内的气压，达到自动平衡的目的。工作时，重物犹如悬浮在空中，可避免产品对接时的碰撞，避免工件表面损伤。在机械手的工作范围内，作业员可将其移动到三维空间内任意位置，从而实现工件的搬运、翻转、装配等操作。整机无须电控系统，只需压缩空气和真空源即可工作，非常方便。移动小车2用于更换工位，移动小车2上设有立柱4，立柱4顶端设有主旋转座6，可实现机械手的主旋转运动，并对周围360°范围内的工件进行操作。真空搬运机械手的选型是根据需要搬运的工件大小、材质、重量来定的，不同的材质需要用不同材质的吸盘。比如工件表面比较粗糙的一般选项用硅胶或者聚胺脂吸盘。六合区米袋真空搬运机推荐厂家！

    另外加上海绵吸盘唇，确保吸盘能安全吸附。对于表面比较光滑的工件如玻璃一般选用天然橡胶或者丁腈胶吸盘。机械手的工作环境的温度，湿度以及工件温度等都会影响的吸盘材质的选择。权利要求1.一种新型真空搬运机械手，含有万向轮、移动小车、拉杆、立柱、主升降气缸、主旋转座、主旋转轴、主关节锁死装置、大侧板、摆动主臂、摆动副臂、副关节锁死装置、连接板、横臂旋转座、旋转臂主轴、旋转臂、垂臂旋转座、副旋转轴、下垂臂、扶手、真空吸盘，其特征是移动小车截面呈长方形，其底部四角各设有一万向轮，移动小车顶端中部设有立柱，左侧设有拉杆，立柱顶端设有主旋转座，可旋转360°，主旋转座通过主旋转轴与大侧板相连接，立柱顶端与大侧板右侧下端相连接，大侧板内设有气压控制阀，气压控制阀与主升降气缸相连接，大侧板左侧下端设有主升降气缸，大侧板上设有内侧板，主旋转座和大侧板之间设有主关节锁死装置，摆动主臂和摆动副臂一端分别与大侧板相连接，另一端分别与连接板相连接，摆动主臂位于摆动副臂下侧并与摆动副臂相平行，横臂旋转座通过旋转臂主轴与旋转臂相连接，旋转臂可旋转300°，旋转臂和横臂旋转座之间设有副关节锁死装置，旋转臂末端设有垂臂旋转座。溧水区粉尘真空搬运机推荐厂家！江苏粉尘真空搬运机哪里可以买到

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