新沂牛皮袋真空搬运机

本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术：在半导体制造工厂等制造工厂中，为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运，提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如，参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的轨道行驶，因此需要与高架搬运车和起重机对应地，分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此，存在不仅对轨道的设置花费成本，需要用于铺设各轨道的空间，而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应，因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素：本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本，并且分担高架搬运车与起重机的作用，由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备：第1区段内顶棚轨道，其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置；第二区段内顶棚轨道。江宁区牛皮袋真空搬运机推荐厂家！新沂牛皮袋真空搬运机

    但本发明并不限定于上述的说明，在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行各种变更。例如，在上述的搬运系统100中，也可以在高架搬运车50的移动路径中配置储料机(自动仓库)等。储料机例如可以设置于第1区段间顶棚轨道13和第二区段间顶棚轨道14中的任一方或者双方。高架搬运车50可以能够针对该储料机的交接端口进行物品2的交接，例如，能够在储料机与第1、第二交接端口30a、30b之间搬运物品2。另外，在法律法规允许的范围内，引用作为日本申请的日本特愿2017-128570、和在本说明书中引用的全部文献的内容作为本文记载的一部分。附图标记说明sa1…第1保管区域；sa2…第二保管区域；ta1…第1装置区域；ta2…第二装置区域；lp…装载端口；tl1…第1处理装置；tl2…第二处理装置；2…物品；2a…凸缘部；10…顶棚轨道；11…第1区段内顶棚轨道；12…第二区段内顶棚轨道；13…第1区段间顶棚轨道；14…第二区段间顶棚轨道；15…第1连接轨道；16…第二连接轨道；20a…第1保管部；20b…第二保管部；30a…第1交接端口；30b…第二交接端口；40a…第1起重机；40b…第二起重机；41a…第1行驶部；41b…第二行驶部；42a…第1桅杆；42b…第二桅杆；43a…第1升降台；43b…第二升降台。新沂牛皮袋真空搬运机六合区象鼻子真空搬运机推荐厂家！

    第1、第二起重机40a、40b在下层的第1、第二保管部20a、20b与上层的第1、第二保管部20a、20b之间搬运物品2。高架搬运车50沿着顶棚轨道10(第1区段内顶棚轨道11、第二区段内顶棚轨道12、第1区段间顶棚轨道13、以及第二区段间顶棚轨道14)移动，在第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、第1、第二保管部20a、20b、以及第1、第二交接端口30a、30b之间进行物品2的交接。图5是表示高架搬运车50的一个例子的图。如图5所示，高架搬运车50具有行驶部51和主体部52。行驶部51与第1、第二行驶部41a、41b相同地，具备未图示的行驶驱动部和多个车轮71a(参照图6)，并沿着顶棚轨道10行驶。行驶驱动部例如可以是设置于行驶部51且驱动车轮71a的电动马达，也可以是使用顶棚轨道10设置的线性马达。主体部52经由安装部52a安装于行驶部51的下部。主体部52具有：保持部53，其保持物品2；升降驱动部54，其悬挂保持部53且使其升降；以及横向伸出机构55，其使升降驱动部54移动。保持部53通过把持物品2的凸缘部2a而悬挂保持物品2。保持部53例如是具有能够沿水平方向移动的爪部53a的卡盘，使爪部53a侵入至物品2的凸缘部的下方，使保持部53上升，由此保持物品2。

    前端活动架位于中间活动板的前端侧，中间活动板与固定安装竖板之间装设有呈水平横向布置的水平导轨副，前端活动架与中间活动板之间装设有呈竖向布置的竖向导轨副，前端活动架的下端部装设有吸盘安装架，吸盘安装架装设有真空吸盘；固定安装竖板的前表面开设有呈“n”形状的活动槽，前端活动架螺装有活动架驱动块，活动架驱动块装设有活动架驱动轴，活动架驱动轴伸入至固定安装竖板的活动槽内且活动架驱动轴装设有嵌插于活动槽内的轴承；固定安装竖板的后表面装设有机械手驱动电机，机械手驱动电机的动力输出轴装设有位于活动槽旁侧且用于拨动活动架驱动轴动作的驱动轴拨动块。通过上述结构设计，本实用新型具有设计新颖、结构简单、稳定可靠性好的优点。附图说明下面利用附图来对本实用新型进行进一步的说明，但是附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制。图1为本实用新型的结构示意图。图2为本实用新型另一视角的结构示意图。图3为本实用新型的分解示意图。溧水区工业真空搬运机推荐厂家！

    前端活动架与中间活动板之间装设有呈竖向布置的竖向导轨副，前端活动架的下端部装设有吸盘安装架，吸盘安装架装设有真空吸盘；固定安装竖板的前表面开设有呈“n”形状的活动槽，前端活动架螺装有活动架驱动块，活动架驱动块装设有活动架驱动轴，活动架驱动轴伸入至固定安装竖板的活动槽内且活动架驱动轴装设有嵌插于活动槽内的轴承；固定安装竖板的后表面装设有机械手驱动电机，机械手驱动电机的动力输出轴装设有位于活动槽旁侧且用于拨动活动架驱动轴动作的驱动轴拨动块。其中，所述水平导轨副包括有螺装于所述固定安装竖板且沿着左右方向水平延伸的水平导轨、螺装于所述中间活动板的水平滑块，水平导轨与水平滑块相配合。其中，所述竖向导轨副包括有设置于所述前端活动架且呈竖向布置的竖向导轨、螺装于所述中间活动板的竖向滑块，竖向导轨与竖向滑块相配合。本实用新型的有益效果为：本实用新型所述的一种新式真空搬运式机械手，其包括有机械手安装架，机械手安装架包括有呈竖向布置的固定安装竖板，固定安装竖板的下端侧装设有竖板固定座，竖板固定座的上端部与固定安装竖板螺接；固定安装竖板的前端侧可相对活动地装设有分别呈竖向布置的中间活动板、前端活动架。溧水区多功能真空搬运机推荐厂家！新沂牛皮袋真空搬运机

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    一种新型真空搬运机械手的制作方法技术领域：本实用新型涉及一种机械手，特别是一种新型真空搬运机械手，适用于玻璃、卷材、管材以及其它表面较平整、形状较规则的各类物料的搬运。背景技术：开放以来，国民经济快速增长，“科技创新、自主创新”已成为国内工业发展的主流，我国工业正逐步向集约型、节能减排、低碳的方向发展。由于机械手为物料上下线和生产物品组装提供极理想的助力搬运和组装工具，可完成重物抓取、搬运、翻转、对接、微调角度等三维空间移载动作，因而用于工业生产中。机械手可部分替代人的繁重劳动以实现生产的机械化和自动化，在作业员的轻松操作下，可完成自动机器人的许多复杂工作，而生产及使用成本却大为降低，同时使用范围也，灵活性和机动性更大。真空搬运机械手适用于板材、玻璃、卷材、管材以及其它表面较平整、形状较规则的各类物料搬运。普通的起吊设备在运行时，存在一定的冲击力及反弹力，对工件损害较大，安全性能及定位精确度均达不到理想效果。科研单位与企业的技术人员在不断地探索、研究，希望研制出一种操作方便、性能优越的机械手，虽然取得了一定的进展，但在实际运用中仍然存在着尚未克服的技术难题。新沂牛皮袋真空搬运机

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