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真空泵企业商机

由于各种真空泵的性能除均能满足对容器进行抽真空的共同点之外,尚具有不同之处。因此在选用时必须明确泵在真空系统中所承担的工作任务。泵在各种不同工作领域中所起的作用归纳起来主要有如下几个方面:1.主泵,就是对真空系统被抽容器直接进行抽真空,以获得满足工艺要求所需真空度的真空泵。2.粗抽泵,是指从大气压开始降低真空系统压强达到另一抽气系统可以开始工作的真空泵。3.前级泵,是指用于使另一个泵的前级压强维持在其比较高许可的前级压强以下的真空泵。4.维持泵,是指当真空系统抽气很小时,不能有效的利用主要前级泵。为此,在真空系统中另配一种抽气速度较小的辅助前级泵来维持主泵的正常工作或维持已抽空的容器所需的低压的真空泵。5.粗真空泵或低真空泵,粗、低真空泵是指从大气开始,降低被抽容器的压强后工作在低真空或粗真空压强范围内的真空泵。6.高真空泵,是指在高真空范围工作的真空泵。7.超高真空泵,是指在超高真空范围工作的真空泵。8.增压泵,通常指工作在低真空泵和高真空泵之间,用以提高抽气系统在中间压强范围的抽气量或降低前级泵抽气速率要求的真空泵。复合材料在生产过程中,树脂需要靠真空牵引进模具,真空泵就有了用武之地。上海工业真空泵质量

真空泵分为气体输送泵和气体粘合或捕集泵。气体容积式真空泵可以没有限制地使用,而气体粘合真空泵具有有限的气体吸收能力,并且必须在一定的过程相关间隔进行再生。气体容积式泵,也被称为气体输送泵,被分类为往复容积式泵或动能真空泵。容积泵将密封区域的气体置换到大气或下游泵级中。动能泵通过机械驱动系统或通过在抽吸部分结束时冷凝的引导蒸汽流在抽吸方向对气体进行加速来置换气体。气体粘合真空泵通过吸气或在合适温度冷凝气体的方式将气体粘合到特别的活性衬底上。化学吸附是通过被称为吸气泵的泵类型在技术上进行的,该吸附泵通过蒸发和/或升华或溅射不断地产生纯净的吸气面。如果要结合的气体粒子在与吸气面进行相互作用之前在离子吸气泵中被电离了,则它们可通过溅射清洁吸气面的同时被溅射的材料掩盖。非蒸散型吸气剂(NEG)包括反应性高的合金,其主要由锆或钛组成,并且具有非常大的比表面积。气体可以通过微孔渗透到吸气材料的深层里,并在那里结合成稳定的化合物。上海工业真空泵质量简单的真空机组就是一台直排大气的真空泵。

据昊青气体装备的研发人员介绍,螺杆式真空泵不仅适应性普遍,可以在恶劣条件下抽气,同时可以达到较高真空度(0.1~1Pa)。因此,随着半导体、石化行业的快速发展,螺杆式真空泵也开始普遍应用于电子半导体、医药化工领域,如半导体行业的气相沉积、蚀刻,医药化工行业的蒸馏干燥、中间体、溶剂回收、油气回收等。虽然由于型线技术以及加工上的成本导致螺杆式真空泵购置费用较为昂贵,但从长远来说,其宽适应、高效节能环保的特性以及低故障维修率,能在运行周期内给企业带来更高的综合效益与社会环境效益,使用的更加普遍必是未来的趋势。

真空泵的选择及抽速计算。(1)计算真空泵的有效抽速S(L/s)。根据真空系统要求的工作压力pg、真空系统的总气体量Q,计算泵的有效抽速。S=Q/pg。式中,Q为真空系统的总气体量,Pa.L/s,包括真空系统工作过程中产生的气体量、真空系统及真空元件的放气量和真空系统的总漏气量。通常将按此式计算出的有效抽速S增大20%~30%或更大作为主泵的名义抽速。(2)确定真空泵的抽速。根据有效抽速S以及泵与真空室之间的连接管道的流导U确定主泵的抽速Sp。由流导串联公式有1/S=1/Sp+1/U。(3)根据被抽气体种类、成分、温度以及气体含灰尘杂质情况选真空泵。(4)根据真空室对油污染要求的不同,来选择有油、无油、半无油、干式、湿式真空泵。干式真空泵适合于要求无油或工作液、或对工作液储存和处理费用比较关切等场合。(5)根据投资及日常维护运转的经济指标来选择。正确地选择真空泵的工作点,每种真空泵都有一定的工作压强范围,真空泵的工作点应该选在这个范围之内。

螺杆式真空泵在结构上比较简单。形式上有卧式和立式之分;依据螺杆转子型线的不同又可分为单头螺杆式真空泵与多头螺杆式真空泵;单头螺杆式真空泵根据转子螺距的不同,可分为等螺距螺杆式真空泵与变螺距螺杆式真空泵,变螺距中又可细分为一段式、两段式、三段式等。多头型线在一个导程内即能完成吸气、压缩、排气过程,导程少,可有效减少泵的体积与重量,适用于大抽速领域,但其型线复杂,需特制道具与定制机床,加工费用昂贵,且由于泄漏三角的因素,真空度不高,因此市场上并不多见。单头型线适用于中小型螺杆式真空泵,市场上也多为单头螺杆式真空泵。其中等螺距螺杆式真空泵腔内无压缩,可以轻松排出固体颗粒与可凝性气体,但其排气温度与能耗度较高;变螺距螺杆式真空泵腔内有压缩,排气温度低、能耗低,但对粉尘颗粒以及可凝性气体的耐受性不如等螺距。在众多的领域,许多技术部件也需要尽可能致密的保护涂层,利用真空泵产生的真空环境,都能使其变为现实。上海工业真空泵质量

使用真空泵对薄膜进行抽真空处理,以使树脂可以穿过所有的孔以实现更好的扩散状态。上海工业真空泵质量

半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有害的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项:1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压。半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。2、有效稀释有害气体的浓度。半导体易产生前面所说的易燃易爆、有害的有害气体,因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。3、注意氧气的浓度。空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及易爆风险。所以一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高。4、防止温度过高。半导体在真空泵的应用中,有害气体比较多,而无论是干式真空泵还是油封机械泵,泵腔内温度过高,高温下易燃易爆及有害气体就会容易发生危险。上海工业真空泵质量

昊青气体装备技术(江苏)有限公司坐落在黄浦江北路586号,是一家专业的真空设备及配件、鼓风机、压缩机、流体设备及配件、自动化设备及配件、智能设备及配件的研发、设计、制造、销售、安装、租赁及技术咨询;合同能源管理;节能科技领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务;货物及技术的进出口业务。公司。公司目前拥有专业的技术员工,为员工提供广阔的发展平台与成长空间,为客户提供高质的产品服务,深受员工与客户好评。公司以诚信为本,业务领域涵盖真空泵,鼓风机,压缩机,我们本着对客户负责,对员工负责,更是对公司发展负责的态度,争取做到让每位客户满意。公司力求给客户提供全数良好服务,我们相信诚实正直、开拓进取地为公司发展做正确的事情,将为公司和个人带来共同的利益和进步。经过几年的发展,已成为真空泵,鼓风机,压缩机行业出名企业。

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