超精密加工是指亚微米级(尺寸误差为～，表面粗糙度为～)和纳米级(精度误差为，表面粗糙度小于)精度的加工。实现这些加工所采取的工艺方法和技术措施，则称为超精加工技术。加之测量技术、环境保障和材料等问题，人们把这种技术总称为超精工程。超精密加工主要包括三个领域：超精密切削加工如金刚石刀具的超精密切削，可加工各种镜面。它已成功地解决了用于激光核聚变系统和天体望远镜的大型抛物面镜的加工。超精密磨削和研磨加工如高密度硬磁盘的涂层表面加工和大规模集成电路基片的加工。超精密特种加工如大规模集成电路芯片上的图形是用电子束、离子束刻蚀的方法加工，线宽可达。如用扫描隧道电子显微镜(STM)加工，线宽可达2～5nm。a.超精密切削。 精密加工的标定可以用International Tolerance Grade (IT) 来直观地体现。定制精密加工
精密加工的发展趋势1、高精度、高效率。高精度与高效率是超精密加工永恒的主题。总的来说，固着磨粒加工不断追求着游离磨粒的加工精度，而游离磨粒加工不断追求的是固着磨粒加工的效率。当前超精密加技术如CMP、EEM等虽能获得极高的表面质量和表面完整性，但以加工效率为保证。超精密切削、磨削技术虽然加工效率高，但无法获得如CMP、EEM的加工精度。探索能兼顾效率与精度的加工方法，成为超精密加工领域研究人员的目标。半固着磨粒加工方法的出现即体现了这一趋势。另一方面表现为电解磁力研磨、磁流变磨料流加工等复合加工方法的诞生。上海自动化设备精密加工公司磨料加工是超精密加工的主要手段。
1.为了保证机械加工精度，应分别进行粗加工和精加工。由于粗加工时，大量工件受到切削力、夹紧力大、发热量多，容易造成表面硬化，工件内部有很大的内应力，如果精加工和粗加工是连续的，精加工后精密零件的精度会随着应力重新分布，很快就会失去。对于某些具有高加工精度的零件。粗加工之后和精加工之前应进行低温退火或时效处理来消除内应力。2.合理选择机械加工设备。粗加工的主要工序是切断大部分加工余量，不要求更高的加工精度。因此，粗加工机床只需要高功率、低精度加工。精加工需要更精密的机床。在不同的机床上进行粗、精加工，不仅可以充分发挥设备的性能，而且可以延长精密机床的使用寿命。3.机械加工过程中经常需要热处理。热处理工序的安排如下：为了提高金属的切削性能，如退火、正火、调质等，通常在机械加工前进行。为了消除内应力，如时效处理和调质处理等，一般在粗加工之后，精加工之前进行。为了提高零件的机械性能，渗碳、淬火、回火等，一般经过机械加工后才进行。如果热处理后有变形，就必须安排比较终加工工序。
超精密加工包括微细加工、超微细加工、光整加工、精整加工等加工技术。微细加工技术是指制造微小尺寸零件的加工技术；超微细加工技术是指制造超微小尺寸零件的加工技术，它们是针对集成电路的制造要求而提出的，由于尺寸微小，其精度是用切除尺寸的相对值来表示，而不是用所加工尺寸与尺寸误差的比值来表示。光整加工一般是指降低表面粗糙度和提高表面层力学机械性质的加工方法，不着重于提高加工精度，其典型加工方法有珩磨、研磨、超精加工及无屑加工等。实际上，这些加工方法不仅能提高表面质量，而且可以提高加工精度。精整加工是近年来提出的一个新的名词术语，它与光整加工是对应的，是指既要降低表面粗糙度和提高表面层力学机械性质，又要提高加工精度(包括尺寸、形状、位置精度)的加工方法。高精度与高效率是超精密加工永恒的主题。
我国超精密加工的发展情况在过去相当长一段时期，由于受到西方国家的禁运限制，我国进口国外超精密机床严重受限。但当1998年我国自己的数控超精密机床研制成功后，西方国家马上对我国开禁，我国现在已经进口了多台超精密机床。我国北京机床研究所、航空精密机械研究所（航空303）、哈尔滨工业大学、防御科技大学等单位现在已能生产若干种超精密数控金刚石机床。北京机床研究所是国内进行超精密加工技术研究的主要单位之一，研制出了多种不同类型的超精密机床、部件和相关的高精度测试仪器等，如精度达μm的精密轴承、JCS—027超精密车床、JCS—031超精密铣床、JCS—035超精密车床、超精密车床数控系统、复印机感光鼓加工机床、红外大功率激光反射镜、超精密振动－位移测微仪等，达到了国内先进、国际先进水平。NAM-800型纳米数控车床是北京机床研究所新一代的纳米级加工机床。它是当今数控技术、伺服技术、机械制造技术完美的统一。该机床为我国比较前沿的科技发展提供了良好的加工手段。航空精密机械研究所在超精密主轴、花岗岩坐标测量机等方面进行了深入研究及产品生产。
随着制造业的发展，现在的精密机械加工正在从微米、亚微米级工艺发展。齿轮精密加工公司
我国精密零件加工行业的发展，总体上呈现发展速度快，但区域不均衡、企业规模较小，实力较弱等特点。定制精密加工
自动化技术的成功应用，不但提高了效率，保证了产品质量，还可以代替人去完成危险场合的工作。对于批量较大的生产自动化，可通过机床自动化改装、应用自动机床、组合机床、自动生产线来完成。小批量生产自动化可通过NC，MC，CAM，FMS，CIM，IMS等来完成。在末来的自动化技术实施过程中，将更加重视人在自动化系统中的作用。同时自动化开始面向中小型企业，以经济实用为出发点，满足不断发展的产品多样化和个性化需要。数控电火花机床具备的自动测量找正、自动定位、多工件的连续加工等功能已较好地发挥了它的自动化性能。自动操作过程不需人工干预，可以提高加工精度、效率。目前率先的数控电火花机床在配有电极库和标准电极夹具的情况下，只要在加工前将电极装入刀库，编制好加工程序，整个电火花加工过程便能日以赴继地自动运转，几乎无需人工操作。机床的自动化运转降低了操作人员的劳动强度、提高生产效率。 定制精密加工
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