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    如图1至图3所示，一种晶圆搬运机械手，包括升降轴1、旋转轴2和伸展轴3，所述的伸展轴3包括伸展电机34、一级伸展臂31、二级伸展臂32和手指固定座33，所述的一级伸展臂31与所述伸展电机34之间设置有一级关节5，所述的一级伸展臂31与所述的二级伸展臂32之间设置有二级关节6，所述的二级伸展臂32和所述的手指固定座33之间设置有三级关节7。所述的伸展电机34通过谐波减速机35驱动所述一级伸展臂31转动。所述的伸展电机34、所述的一级关节5、所述的二级关节6和所述的三级关节7依次传动，所述的一级关节5、所述的二级关节6和所述的三级关节7的传动比为1:2:1，根据本机械手的运动原理，所述的手指固定座34始终保持直线运动。所述的一级关节5上设置有一级同步轮51，所述的二级关节6上设置有二级同步轮61，所述的一级同步轮51和所述的二级同步轮61通过一级同步带52传动连接，所述的一级伸展臂31内还设置有与所述一级同步带52相配合的一级张紧轮53。所述的二级关,6上设置有三级同步轮62，所述的三级关节7上设置有四级同步轮71，所述的三级同步轮63和所述的四级同步轮71通过二级同步带64传动连接，所述的二级伸展,32内还设置有与所述二级同步带64相配合的二级张紧轮63。溧水区多功能气动悬臂吊推荐厂家！锡山区米袋气动悬臂吊供应

    蜗杆旋转的同时通过与两个支撑板的配合可将蜗杆底端安装的安装板进行提升，进而可对板材进行提升，操作完毕后，只需分别将第1电机与第二电机反转，即可重复作业，除此之外立柱的底部安装的滑轮可配合滑轨等移动装置对机械手进行移动，以增加机械手对板材的移动范围。本发明结构简单易于实现，通过各个部件间的相互配合可对板材进行稳固的夹取并提升，节约了人力劳动提高了效率，除此之外机械手还可在恶劣的环境中进行操作，以保护人身安全。附图说明图1为本发明提出的一种板材搬运自动化设备的机械手的整体结构示意图；图2为本发明提出的一种板材搬运自动化设备的机械手的横板与移动夹板的连接示意图；图3为本发明提出的一种板材搬运自动化设备的机械手的三角形传动件的结构示意图。图中：1立柱、2第1电机、3第二电机、4横板、5固定夹板、6移动夹板、7安装板、8斜齿轮、9蜗杆、10支撑板、11第1转盘、12第二转盘、13转轴、14三角形传动件、15固定板、16螺纹套管、17转杆、18限位板、19滑槽板、20滑杆、21防滑齿。具体实施方式下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例只只是本发明一部分实施例。新北区米袋气动悬臂吊哪家便宜江宁区常见气动悬臂吊推荐厂家！

    所述电路基板具有：检测电路，其包含对所述磁体的旋转进行检测的磁传感器；第1电力电路，其包含向所述第1线圈组供给电流的多个电子元器件；第2电力电路，其包含向所述第2线圈组供给电流的多个电子元器件；以及控制电路，其包含对所述第1电力电路和所述第2电力电路中的至少一者所供给的电流进行控制的电子元器件，所述第1线圈布线和所述第2线圈布线均具有：第1部位，其在与所述轴的轴向交叉的方向上突出到所述壳体的外侧；以及第2部位，其在所述外侧自所述第1部位朝向所述电路基板突出，所述散热器具有通孔，该通孔设置在所述第1面与所述第2面之间且供所述轴穿过，在自所述轴的轴向俯视时，所述通孔位于所述壁部的环的内侧。由此，能够将第1电力电路和第2电力电路配置在靠近电路基板的外周的位置，能够增大第1电力电路以及第2电力电路与磁传感器之间的间隔距离。由此，由第1电力电路和第2电力电路产生的热不易向磁传感器传递，因此，能够抑制磁传感器的温度上升。另外，壁部在电路基板侧具有端部，帽能够安装于该端部。由此，能够防止异物自散热器的第1面侧进入壁部的环的内侧。由于磁于壁部的环的内侧，因此能够抑制异物附着于磁体(发生污染)还具备多个肋。

    隔着所述电容器的配置位置在所述第1电力电路或所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置的相反侧存在所述检测电路的配置位置。由此，能够进一步增大第1电力电路与磁传感器之间的间隔距离、或第2电力电路与磁传感器之间的间隔距离。作为理想的技术方案，自所述电路基板的法线方向观察时，隔着经过所述电路基板的中心的直线在所述第1电力电路或所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置的相反侧存在所述检测电路的配置位置。由此，能够进一步增大第1电力电路与磁传感器之间的间隔距离、或第2电力电路与磁传感器之间的间隔距离。作为理想的技术方案，自所述轴的轴向观察时，在所述电动马达的外侧配置有所述连接器。由此，能够使连接器远离磁传感器，能够抑制因电流在连接器中流动而产生的磁场对磁传感器造成的影响。作为理想的技术方案，还具备对所述电路基板进行支承的散热器。所述盖体安装于所述散热器。由此，能够使由电路基板产生的热高效地散热。作为理想的技术方案，所述散热器还具有第1隆起部，该第1隆起部与所述第1电力电路和所述第2电力电路中的至少一者相对且向所述电路基板侧隆起。由此，能够使由第1电力电路和第2电力电路产生的热有效地散热。雨花台区常见气动悬臂吊推荐厂家！

    所述的手指固定座33上设置有插槽41，所述的插槽41内可拆卸安装晶圆固定装置4。所述的晶圆固定装置4包括真空吸盘、气缸机械手等。所述的手指固定座33上还设置有扫描传感器42，扫描传感器42包括光纤放大器以及滤光片等光信号探测设备。使用时，升降轴1进行机械手的竖直上升下降工作，旋转轴2进行机械手的水平旋转工作，伸展轴3进行机械手的伸展拿取工作。相比现有的晶圆搬运机械手，本申请中伸展轴3中的一级伸展臂31、二级伸展臂32和手指固定座33联动，一级伸展臂31、二级伸展臂32和手指固定座33之间分别具有传动机构，通过一级关节5、二级关节6和三级关节7之间的一级同步带52和二级同步带64在一级伸展臂31转动的同时，带动二级伸展臂32和手指固定座33不同速率的转动，在升降轴1、旋转轴2和伸展轴3三轴联动的同时让手指固定座33始终保证直线运动，且角度不会发生改变。这种方式不仅简化了整个伸展轴3传动结构，共用一个传动系后不仅提高了运行精度、重复定位精度，又提高了机械手整体刚度和承重能力。本发明的机械手可以通过设定在机械手后方的扫描传感器42，自动扫描片盒中晶片的状态（包括：有，无，重片，斜片），通过数据分析后把结果传送给上位设备控制系统。浦口区多功能气动悬臂吊推荐厂家！新北区米袋气动悬臂吊哪家便宜

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