RTTLIT E20 微光显微分析系统(EMMI)是专为半导体器件漏电缺陷检测量身打造的高精度检测设备,其系统搭载 -80℃制冷型 InGaAs 探测器与高分辨率显微物镜 ,构建起超高灵敏度检测体系 —— 可准确捕捉器件在微弱漏电流下产生的极微弱微光信号,实现纳米级缺陷的可视化成像。通过超高灵敏度成像技术,设备能快速定位漏电缺陷并完成深度分析,为工程师提供直观的缺陷数据支撑,助力优化生产工艺、提升产品可靠性。从芯片研发到量产质控,RTTLIT E20 以稳定可靠的性能,为半导体器件全生命周期的质量保障提供科学解决方案,是半导体行业提升良率的关键检测利器。微光显微镜能检测半导体器件微小缺陷和失效点,及时发现隐患,保障设备可靠运行、提升通信质量。实时成像微光显微镜按需定制
例如,当某批芯片在测试中发现漏电失效时,我们的微光显微镜能定位到具体的失效位置,为后续通过聚焦离子束(FIB)切割进行截面分析、追溯至栅氧层缺陷及氧化工艺异常等环节提供关键前提。可以说,我们的设备是半导体行业失效分析中定位失效点的工具,其的探测能力和高效的分析效率,为后续问题的解决奠定了不可或缺的基础。
在芯片研发阶段,它能帮助研发人员快速锁定设计或工艺中的隐患,避免资源的无效投入;在量产过程中,它能及时发现批量性失效的源头,为生产线调整争取宝贵时间,降低损失;在产品应用端,它能为可靠性问题的排查提供方向,助力企业提升产品质量和市场口碑。无论是先进制程的芯片研发,还是成熟工艺的量产检测,我们的设备都以其独特的技术优势,成为失效分析流程中无法替代的关键一环,为半导体企业的高效运转和技术升级提供有力支撑。 检测用微光显微镜按需定制针对氮化镓等宽禁带半导体,它能适应其宽波长探测需求,助力宽禁带器件的研发与应用。
可探测到亮点的情况
一、由缺陷导致的亮点结漏电(Junction Leakage)接触毛刺(Contact Spiking)热电子效应(Hot Electrons)闩锁效应(Latch-Up)氧化层漏电(Gate Oxide Defects / Leakage (F-N Current))多晶硅晶须(Poly-silicon Filaments)衬底损伤(Substrate Damage)物理损伤(Mechanical Damage)等。
二、器件本身固有的亮点饱和 / 有源状态的双极晶体管(Saturated/Active Bipolar Transistors)饱和状态的 MOS 管 / 动态 CMOS(Saturated MOS/Dynamic CMOS)正向偏置二极管 / 反向偏置二极管(击穿状态)(Forward Biased Diodes / Reverse Biased Diodes (Breakdown))等。
同时,我们诚挚欢迎各位客户莅临苏州实验室进行深入交流。在这里,我们的专业技术团队将为您详细演示微光显微镜、热红外显微镜的全套操作流程,从基础功能到高级应用,一一讲解其中的技术原理与操作技巧。针对您在设备选型、使用场景、技术参数等方面的疑问,我们也会给予细致入微的解答,让您对失效分析领域掌握设备优势与适用范围。
这种面对面的深度沟通,旨在让合作过程更加透明,让您对我们的产品与服务更有信心,合作也更显安心。 微光显微镜的自动瑕疵分类系统,可依据发光的强度、形状等特征进行归类,提高检测报告的生成效率。
失效分析是指通过系统的检测、实验和分析手段,探究产品或器件在设计、生产、使用过程中出现故障、性能异常或失效的根本原因,进而提出改进措施以预防同类问题再次发生的技术过程。它是连接产品问题与解决方案的关键环节,**在于精细定位失效根源,而非*关注表面现象。在半导体行业,失效分析具有不可替代的应用价值,贯穿于芯片从研发到量产的全生命周期。
在研发阶段,针对原型芯片的失效问题(如逻辑错误、漏电、功耗过高等),通过微光显微镜、探针台等设备进行失效点定位,结合电路仿真、材料分析等手段,可追溯至设计缺陷(如布局不合理、时序错误)或工艺参数偏差,为芯片设计优化提供直接依据;在量产环节,当出现批量性失效时,失效分析能快速判断是光刻、蚀刻等制程工艺的稳定性问题,还是原材料(如晶圆、光刻胶)的质量波动,帮助生产线及时调整参数,降低报废率;在应用端,针对芯片在终端设备(如手机、汽车电子)中出现的可靠性失效(如高温环境下性能衰减、长期使用后的老化失效),通过环境模拟测试、失效机理分析,可推动芯片在封装设计、材料选择上的改进,提升产品在复杂工况下的稳定性。 我司微光显微镜能检测内部缺陷,通过分析光子发射评估性能,为研发、生产和质量控制提供支持。实时成像微光显微镜按需定制
微光显微镜搭配高分辨率镜头,可将微小缺陷放大至清晰可见,让检测更易观察分析,提升检测的准确度。实时成像微光显微镜按需定制
致晟光电在推动产学研一体化进程中,积极开展校企合作。公司依托南京理工大学光电技术学院,专注开发基于微弱光电信号分析的产品及应用。双方联合攻克技术难题,不断优化实时瞬态锁相红外热分析系统(RTTLIT),使该系统温度灵敏度可达0.0001℃,功率检测限低至1uW,部分功能及参数优于进口设备。此外,致晟光电还与其他高校建立合作关系,搭建起学业-就业贯通式人才孵化平台。为学生提供涵盖研发设计、生产实践、项目管理全链条的育人平台,输送了大量实践能力强的专业人才,为企业持续创新注入活力。通过建立科研成果产业孵化绿色通道,高校的前沿科研成果得以快速转化为实际生产力,实现了高校科研资源与企业市场转化能力的优势互补。实时成像微光显微镜按需定制
苏州致晟光电科技有限公司汇集了大量的优秀人才,集企业奇思,创经济奇迹,一群有梦想有朝气的团队不断在前进的道路上开创新天地,绘画新蓝图,在江苏省等地区的机械及行业设备中始终保持良好的信誉,信奉着“争取每一个客户不容易,失去每一个用户很简单”的理念,市场是企业的方向,质量是企业的生命,在公司有效方针的领导下,全体上下,团结一致,共同进退,**协力把各方面工作做得更好,努力开创工作的新局面,公司的新高度,未来苏州致晟光电科技供应和您一起奔向更美好的未来,即使现在有一点小小的成绩,也不足以骄傲,过去的种种都已成为昨日我们只有总结经验,才能继续上路,让我们一起点燃新的希望,放飞新的梦想!