专门用闸阀三星半导体

19.2超高真空大型闸阀系列旨在为需要超大尺寸的应用（例如空间模拟应用）提供可靠的隔离。该系列的设计规格可达DN1250mm(50")，但也可根据要求提供更大的尺寸。19.2系列旨在满足可达到1×10-10的超高真空要求。所有阀门均采用一个基于VATLOCK技术的阻尼式开关机构，其能提供可靠的密封，同时不会在闸封处产生任何摩擦。减少的摩擦增加了密封寿命并减少了移动阀板所需的力，这是直径较大的一个重要因素。由于关闭位置处的机械锁定，VATLOCK机构还可以防止阀门故障。为便于维护，DN900mm(36")及以上尺寸的所有系列均采用分体式设计。为减少较大DN尺寸的占用空间，19.2系列采用紧凑型设计，双作用气动驱动器位于阀板外壳侧面。大型闸阀系列中的所有阀门均满足可靠性、耐用性和可维护性的标准要求，并且特别注重长运行时间和低购置成本。19.2大型闸阀系列已经在数百个应用中运行，证明了其可靠性。它们已成为DN400–1250mm(16"–50")尺寸的大型真空隔离要求的标准。微泰，高压闸阀应用于• PECV• PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷对卷）•CVD（化学气相沉积）等设备上。专门用闸阀三星半导体

闸阀是指关闭件(闸板)沿通路中心线的垂直方向移动的阀门。闸阀在管路中主要作切断用。闸阀是使用很广的一种阀门，一般口径DN≥50mm的切断装置都选用它，有时口径很小的切断装置也选用闸阀。一、闸阀的优点1、流体阻力小。2、开闭所需外力较小。3、介质的流向不受限制。4、全开时，密封面受工作介质的冲蚀比截止阀小。5、体形比较简单，铸造工艺性较好。二、闸阀的缺点1、外形尺寸和开启高度都较大。安装所需空间较大。2、开闭过程中，密封面间有相对摩擦，容易引起擦伤现象。3、闸阀一般都有两个密封面，给加工、研磨和维修增加一些困难。专门用闸阀三星半导体为特定的真空系统和工艺选择适当尺寸和类型的真空闸阀对于确保高效运行和可靠的真空完整性至关重要。

真空闸阀是一种特殊的阀门，广泛应用于各种真空系统和工艺过程中。它具有独特的结构和功能，能够满足在真空环境下对流体介质进行精确控制的需求。本文将详细介绍真空闸阀的结构、工作原理、应用领域以及维护保养等方面的知识，帮助读者更好地了解和应用这一重要的工业设备。真空闸阀主要由阀体、阀盖、阀杆、阀瓣、密封件等部分组成。阀体通常采用品质好的不锈钢材料制成，具有优良的耐腐蚀性和高温性能。阀盖与阀体通过螺栓连接，确保阀门的密封性和稳定性。阀杆通过旋转运动驱动阀瓣的开启和关闭，实现流体的通断控制。密封件是真空闸阀的关键部件，通常采用软质材料制成，具有良好的密封性能和耐磨性。

微泰，专门用闸阀应用于• Evaporation• Sputtering• Diamond growth by MW-PACVD• PECV• PVD• Coating• Etch• Diffusion（扩散）•CVD等设备上。可替代VAT闸阀。期特点是*使用维修配件工具包易于维护*将电磁阀和位置传感器连接到15针D-Sub*锁定功能*限位开关*•速度控制器&电磁阀（2Port+N2Port）用不锈钢管连接（φ6）*应用:泵隔离,产品工艺水平要求高的地方。专门用闸阀规格如下：驱动方式：气动、法兰尺寸：4英寸~ 8英寸、法兰类型：ISO, JIS, ASA, CF、连接方式：焊接波纹管、阀门密封：氟橡胶O型圈/Kalrez O型环/EPDM、阀盖密封：Viton O型圈、响应时间：≤ 0.3 sec ~2 sec、操作压力范围：1.5˝ ~ 6˝ : 1×10-10 mbar to 1400 mbar，8˝ ~ 12˝ : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、开始时的压差：≤ 30 mbar、闸门的差动压力：4˝ ~ 6˝ : ≤ 1400 mbar / 8˝ ~ 14˝ ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒、初次维护前可用次数：200,000次、阀体温度≤ 200 °、CTemperature for Actuator≤ 80 °C、烤炉温度≤ 150 °C、材料：阀体(不锈钢304)/驱动器(铝6061阳极氧化)、安装位置：任意、操作压力(N2)：4 ~ 7 bar。有中国台湾Micron、UMC、AKT、Micron,Global Foundries、英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体业绩。

闸阀形体简单，结构长度短，制造工艺性好，适用范围广。

闸阀是启闭件(闸板)，由阀杆带动，沿阀座(密封面)做直线升降运动的阀门。一般，闸阀不可用来调节流量，只能作为截断装置使用，要么完全开启，要么完全关闭。在各种类型的阀门中，闸阀是应用很多的一种。既适用于常温和常压工况，也适用于高温及低温和高压及低压工况，并可以通过选用不同的材质，适用于各种不同的介质中。闸阀具有如下优点：①流体阻力小。闸阀阀体内部介质通道是直通的，介质流经闸阀时不改变其流动方向，因而流体阻力较小。②结构长度(与管道相连接的两端面间的距离)较小。由于闸板呈圆盘状，是垂直置于阀体内的，而截止阀阀瓣(也呈圆盘状)是平行置于阀体内的，因而与截止阀相比，其结构长度较小。如PN16、DN150的截止阀，其结构长度为480mm，而同一参数的闸阀结构长度只有350mm。③启闭较省力。启闭时闸板运动方向与介质流动方向相垂直，而截止阀阀瓣通常在关闭时的运动方向与阀座处介质流动方向相反，因而必须克服介质的作用力。所以与截止阀相比，闸阀的启闭较为省力。④介质流动方向不受限制。介质可从闸阀两侧任意方向流过闸阀，均能达到接通或截断的目的。便于安装，适用于介质的流动方向可能改变的管路中。真空闸阀的密封装置确保关闭时的高真空完整性，防止泄漏并维持腔室内的真空压力。低真空闸阀Global Foundries

闸阀的结构比较简单，一般由阀体、阀座、阀杆、闸板、阀盖、密封圈几部分组成。专门用闸阀三星半导体

真空闸阀的选择需要考虑以下几个关键因素：1.应用环境：确定真空闸阀将用于何种真空环境，例如实验室、工业生产或特殊应用等。2.真空度要求：根据应用需求选择合适的真空度范围，确保闸阀能够满足工作环境的真空度要求。3.材料：选择闸阀的材料应考虑耐腐蚀性、耐温性以及与介质的兼容性。4.尺寸和接口：根据系统管道的尺寸和接口类型选择合适的闸阀尺寸和连接方式。5.流量要求：根据系统流量需求选择合适的闸阀，确保其能够满足最大流量要求。6.控制方式：选择手动、气动或电动等控制方式，以适应不同的操作需求。7.品牌和质量：选择信誉良好、质量可靠的制造商，确保闸阀的性能和寿命。8.维护和售后服务：考虑制造商提供的维护支持和售后服务，以确保长期使用中的问题能够得到及时解决。综合以上因素，选择适合您具体需求的真空闸阀。专门用闸阀三星半导体