定制闸阀BUTTERFLY VALVE

微泰,传输阀、转换阀、输送阀、转移阀是安装在半导体PVDCVD设备工艺模块和工艺室之间的阀门系统。它充当将位于工艺模块中的晶圆转移到工艺室的沟槽。I型和L型转移阀是用于半导体PVD CVD设备工艺模块和工艺室之间的阀门系统。它们的作用是将位于工艺模块中的晶圆转移到工艺室的沟槽，并极大限度地减少由于闸板打开和关闭造成的真空压力变化，以维持腔室内的真空压力。I型转移阀由铝或不锈钢制成，用于传输晶圆小于450毫米的半导体系统和隔离工艺室。其特点是叶片在垂直方向上快速移动，以确保完美的腔室压力维持。而L型转移阀也由铝或不锈钢制造，其特点是设计紧凑，易于维护。L型转移阀的闸门在两个阶段从垂直到水平方向移动，以确保完美的腔室压力维护。这两种类型的转移阀都具有高耐用性和长寿命的优点，并且在闸门开启和关闭过程中极大限度地减少了振动，对温度变化也非常稳定，以确保较长的使用寿命。如果您需要了解更多关于微泰传输阀、转换阀、输送阀、转移阀的信息，请联系上海安宇泰环保科技有限公司。真空闸阀的设计具有独特的特征。它们具有坚固的结构，通常使用不锈钢或铝等材料来抵抗真空条件。定制闸阀BUTTERFLY VALVE

微泰半导体闸阀的特点：插板阀主滑阀的球机构方式-在量产工艺设备上的性能验证-由半永久性钢球陶瓷和板簧组成，陶瓷和金属触摸驱动无颗粒-已向中国台湾Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、马来西亚的英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体和其它的设备，设备厂批量供货，已得到品质认可，已完成对半导体Utility设备和批量生产设备的验证，而其他厂家闸阀金属和金属触摸驱动产生大量颗粒。使用钢陶瓷球，与金属摩擦时不会损坏，金属与陶瓷球之间不会产生Particle，半永久板簧（SUS钢板）的应用确保阀门驱动同步性，采用了固定球导向器和钢陶瓷。微泰半导体闸阀应用于• Evaporation（蒸发）• Sputtering（溅射）• Diamond growth by MW-PACVD（通过MW-PACVD生长金刚石）• PECV• PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷对卷）• Coating（涂层）• Etch（蚀刻）• Diffusion（扩散）•CVD（化学气相沉积）等设备上。可替代HVA闸阀、VAT闸阀。上海安宇泰环保科技有限公司。化学气相沉积闸阀楔式闸阀真空闸阀的密封装置确保关闭时的高真空完整性，防止泄漏并维持腔室内的真空压力。

闸阀在管道上主要做切断用。闸阀有以下优点：1.流体阻力小；2.开、闭所需的力较小；3.对介质的流向没有限制；4.全开时密封面受介质的冲蚀比截止阀小；5.体型比较简单，阀门的铸造工艺性较好。闸阀有以下缺点：1.外形尺寸和开启高度都较大，所需的安装空间也较大；2.在开闭的过程中，密封副间有相对摩擦，容易引起擦伤等；3.有两个密封副，加工、研磨和维修较困难；4.开关时间较长。闸阀主要的零部件有：阀体、阀盖、闸板、阀杆、填料、垫片和手轮等。

微泰半导体主加工设备腔内精确压力控制的闸阀蝶阀Butterfly Valve。该蝶阀具有紧凑的设计和坚固的不锈钢结构，通过闸板旋转操作。蝶阀可以实现精确的压力控制和低真空环境。例如半导体和工业过程。蝶阀通过控制器和步进电机自动控制到用户指定的值，保持一致的真空压力。可以在高真空环境中实现精确的压力控制。如半导体等高真空工艺应用。控制系统闸阀是自动控制到用户指定的值，通过控制器和步进电机保持一致的真空压力。微泰半导体闸阀被广泛应用于 Evaporation（蒸发）、Sputtering（溅射）、Diamond growth by MW-PACVD（通过 MW-PACVD 生长金刚石）、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷对卷）、Coating（涂层）、Etch（蚀刻）、Diffusion（扩散）、CVD（化学气相沉积）等设备上，可替代 HVA 闸阀、VA T闸阀。有中国台湾Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、马来西亚的英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体和其它的设备使用业绩。该闸阀由上海安宇泰环保科技有限公司提供。闸阀不易产生水锤现象。原因是关闭时间长。

定期清洁阀门表面，保持阀门光滑无污垢；检查阀体和阀杆是否有磨损或损坏，如有需要及时更换；检查密封面是否完好，如有损坏要及时修理或更换；定期检查阀门开关是否灵活，如有卡涩现象要及时润滑；检查阀体和阀杆的连接部位，确保螺栓紧固；在保养过程中，注意安全操作，防止意外伤害。闸阀是一种用于控制流体流动的阀门，通常用于管道中，以实现流体的开启、关闭或调节流量。它的工作原理是通过旋转或升降闸板来截断或导引流体流动。根据不同的应用场景，闸阀可以分为多种类型，如手动闸阀、电动闸阀、气动闸阀等。插板阀是一种用于控制流体介质的流动方向的阀门，其主要特点是结构简单、启闭迅速、密封性能好，广泛应用于石油、化工、水处理等领域。真空闸阀广泛应用于各个行业，包括半导体制造、研发、分析类仪器和真空镀膜。屏蔽闸阀三星半导体

真空闸阀是真空系统中用于控制气体进出真空室的机械装置。定制闸阀BUTTERFLY VALVE

平板闸阀的选用原则1.石油、天然气的输送管线，选用单闸板和双闸板的平板闸阀。如需清扫管线的，选用单闸板和双闸板带导流孔的明杆平板闸阀。2.成品油的输送管线和贮存设备，选用无导流孔的单闸板或双闸板的平板闸阀。3.石油、天然气的开采井口装置，选用暗杆浮动阀座带导流孔的单闸板或双闸板的平板闸阀。4.带有悬浮颗粒介质的管道，选用刀形平板闸阀。5.城市煤气输送管线，选用单闸板或双闸板软密封明杆平板闸阀。6.城市自来水工程，选用单闸板或双闸板无导流孔明杆平板闸阀。需要指出的是：所有的闸阀均不允许用于作调节介质流量用，因此，在开启时必须将闸板全部提升到通道上方。定制闸阀BUTTERFLY VALVE