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    所述的手指固定座33上设置有插槽41，所述的插槽41内可拆卸安装晶圆固定装置4。所述的晶圆固定装置4包括真空吸盘、气缸机械手等。所述的手指固定座33上还设置有扫描传感器42，扫描传感器42包括光纤放大器以及滤光片等光信号探测设备。使用时，升降轴1进行机械手的竖直上升下降工作，旋转轴2进行机械手的水平旋转工作，伸展轴3进行机械手的伸展拿取工作。相比现有的晶圆搬运机械手，本申请中伸展轴3中的一级伸展臂31、二级伸展臂32和手指固定座33联动，一级伸展臂31、二级伸展臂32和手指固定座33之间分别具有传动机构，通过一级关节5、二级关节6和三级关节7之间的一级同步带52和二级同步带64在一级伸展臂31转动的同时，带动二级伸展臂32和手指固定座33不同速率的转动，在升降轴1、旋转轴2和伸展轴3三轴联动的同时让手指固定座33始终保证直线运动，且角度不会发生改变。这种方式不仅简化了整个伸展轴3传动结构，共用一个传动系后不仅提高了运行精度、重复定位精度，又提高了机械手整体刚度和承重能力。本发明的机械手可以通过设定在机械手后方的扫描传感器42，自动扫描片盒中晶片的状态（包括：有，无，重片，斜片），通过数据分析后把结果传送给上位设备控制系统。高淳区室内深加工气动悬臂吊推荐厂家！普陀区象鼻子气动悬臂吊原理

    本发明能够有效解决现有技术中机械手运行速度低，定位精度差的问题。本机械手包含3个轴，分别为升降轴、旋转轴和伸展轴，其中伸展轴又包含3个关节，三个关节分别为一级关节、二级关节和三级关节，三个关节之间的传动比为1:2:1，伸展电机通过谐波减速机驱动一级伸展臂转动，通过一级关节、二级关节和三级关节之间设置有传动结构，同时带动二级伸展臂和手指固定座的移动，间接将第1级关节远端的一级同步带轮变为主动轮，通过这种结构，可以在一级伸展臂和二级伸展臂移动时，保持手指固定座的始终直线运动，既晶圆中心始终保持直线运动，晶圆的角度也保持不变。这种结构还提高了机械手整体强度，达到高速度运行和重复定位精度高的双重目的。与现有技术相比，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。附图说明图1是本发明示意图。图2是本发明伸展轴示意图。图3是本发明伸展轴内部俯视示意图。具体实施方式下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述。实施例1。钟楼区室内深加工气动悬臂吊哪家有雨花台区糖袋气动悬臂吊推荐厂家！

    自所述电路基板的法线方向观察时，隔着所述第1电力电路所包含的电子元器件的配置位置在所述第1通孔的相反侧存在所述控制电路所包含的电子元器件的配置位置。由此，能够使自第1电力电路到达电动马达的电流路径远离控制电路。作为理想的技术方案，所述第2线圈布线的所述第2部位自比所述第2电力电路所包含的电子元器件靠近所述电路基板的外周的位置连接于所述第2电力电路。由此，能够使第2线圈布线远离磁传感器，能够抑制因电流在第2线圈布线中流动而产生的磁场对磁传感器造成的影响。作为理想的技术方案，所述电路基板具有与所述第2线圈布线的所述第2部位相连接的第2通孔，自所述电路基板的法线方向观察时，在所述检测电路的配置位置与所述第2通孔之间存在所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置。由此，能够使自第2电力电路到达电动马达的电流路径远离磁传感器。隔着所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置在所述第2通孔的相反侧存在所述控制电路所包含的电子元器件的配置位置。由此，能够使自第2电力电路到达电动马达的电流路径远离控制电路。作为理想的技术方案，还具有配置于所述电路基板的电容器，自所述电路基板的法线方向观察时。

    本发明涉及自动化设备技术领域，尤其涉及一种板材搬运自动化设备的机械手。背景技术：板材是做成标准大小的扁平矩形建筑材料板，应用于建筑行业，用来作墙壁、天花板或地板的构件。也多指锻造、轧制或铸造而成的金属板。板材可划分为薄板、中板、厚板、特厚板、通常做成标准大小的扁平矩形建筑材料板。现有技术中在板材的生产与搬运过程中依然存在着依靠人力劳动进行对板材的搬运，人力作业方式效率低下同时对于一些体积大质量比较重的板材搬运时往往无法进行操作，费时费力，除此之外对与在恶劣的环境中依靠人力便会对人体造成危害，因此针对此类问题需要进行改进。技术实现要素：本发明的目的是为了解决现有技术中存在的人力搬运板材费时费力、无法操作体积大质量重的板材同时无法适用恶劣环境的缺点，而提出的一种板材搬运自动化设备的机械手。为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：本发明的一种板材搬运自动化设备的机械手，包括立柱，所述立柱的顶壁上安装有第1电机，所述第1电机的驱动端安装有斜齿轮，所述立柱的一侧的侧壁上安装有两个支撑板，两个所述支撑板之间共同安装有蜗杆，两个所述支撑板上均开设有斜螺纹孔，且斜螺纹孔与蜗杆相互啮合。栖霞区室内深加工气动悬臂吊推荐厂家！

    而锁定销2032的安装端2032a则铰接在凸轮手柄2033较厚的一端的块体上，但铰接点应靠近薄板与块体的连接点处。如此，在转动凸轮手柄2033时，锁定销2032可随之做上下的直线移动。弹性件2034为弹簧，其套设在锁定销2032的安装端2032a上。如图7所示，开关结构203在锁定状态下，上下两个锁定销2032的插销端2032b分别穿过内调节杆201的其中两个相对的固定孔2011。而凸轮手柄2033平行于外调节杆202支承在盖板2031上。此时外调节杆202不能移动。解锁时，航天员顺时针转动凸轮手柄2033，此时，锁定销2032向上移动，弹性件2043压紧。当凸轮手柄2033转动90°后，如图8所示，锁定销2032的插销端2032b完全脱离内调节杆201的固定孔2011，完成解锁。此时，由于图8中凸轮手柄2033的块体底面为与凸轮手柄2033左侧面垂直的平面，因此解锁后凸轮手柄2033可稳定的支承在盖板2031b上。当再次锁定时，航天员只需逆时针拨动凸轮手柄2033，弹性件2033靠弹力将锁定销2032自动顶回内调节杆201上的固定孔2011中，凸轮手柄2033也随之转回到平行于外调节杆202的位置。图9是示意性表示根据本发明第1种实施方式的末端助力机构的立体图。如图9所示，末端助力机构3包括末端扶手301和连杆302。浦口区牛皮袋气动悬臂吊推荐厂家！云龙区多功能气动悬臂吊品牌

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    以及第2面，其位于所述第1面的相反侧，所述外装部自所述第2面向所述盖体的外侧突出。由此，能够将位于电动驱动装置的外侧的信号传送布线经由连接器自盖体侧连接于电路基板。作为理想的技术方案，在电路基板的法线方向上，所述连接器与所述第1线圈布线和所述第2线圈布线分开。由此，在电路基板中，能够将供连接器连接的区域和供第1线圈布线或第2线圈布线连接的区域相互分开地配置。作为理想的技术方案，所述第1线圈布线和所述第2线圈布线相邻地配置。由此，能够将第1电力电路和第2电力电路相邻地配置。作为理想的技术方案，所述第1线圈布线的所述第2部位自比所述第1电力电路所包含的电子元器件靠近所述电路基板的外周的位置连接于所述第1电力电路。由此，能够使第1线圈布线远离磁传感器，能够抑制因电流在第1线圈布线中流动而产生的磁场对磁传感器造成的影响。作为理想的技术方案，所述电路基板具有与所述第1线圈布线的所述第2部位相连接的第1通孔。自所述电路基板的法线方向观察时，在所述检测电路的配置位置与所述第1通孔之间存在所述第1电力电路所包含的电子元器件的配置位置。由此，能够使自第1电力电路到达电动马达的电流路径远离磁传感器。普陀区象鼻子气动悬臂吊原理

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