深圳工业半导体零部件

创新能力较为落后，重心技术差距明显由于零部件行业长期未收到重视，只能粗放式成长，因此大部分国内零部件企业进入半导体行业主要以提供维修及更换服务、清洗服务为主，整体研发投入力度不够，创新能力较为落后，长期停留在中低端生产标准和复制国外产品的水平，重心技术差距明显。据国内某半导体零部件上市公司招股书披露，其全部研发人员数量只有15人，2016年到2018年研发总投入不到2000万元，年均研发投入强度不足5%。此外我国半导体零部件产业的创新能力不足还体现在行业标准体系不健全、基础工艺研究投入严重不足，工艺技术获取渠道不畅，科研与生产实际结合不紧密等诸多问题，制约了半导体零部件产品的结构设计技术、可靠性技术、制造工艺与流程、基础材料性能研究的创新发展。半导体设备由成千万的零部件组成,零部件的性 能、质量和精度直接决定着设备的可靠性和稳定性.深圳工业半导体零部件

以半导体制造中用于固定晶圆的静电吸盘为例，一是其本身是以氧化铝陶瓷或氮化铝陶瓷作为主体材料，但同时还需加入其他导电物质使得其总体电阻率满足功能性要求，对于材料多性能复合提出要求；二是陶瓷层和金属底座结合要满足均匀性和强度的要求，因此对陶瓷内部有机加工构造精度要求高；三是静电吸盘表面处理后要达到0.01微米左右的涂层，同时要耐高温，耐磨，使用寿命大于三年以上，因此，对表面处理技术的掌握与应用的要求也比较高，可见制造一件满足半导体制造要求的精密部件需要涉及的学科多广。深圳工业半导体零部件由于半导体零部件的特殊性,企业生产经常要兼顾强度、应变、抗腐 蚀、电子特性、材料纯度等复合功能要求。

半导体零部件通过大规模生产线验证、实现规模化销售之前，需要经历严格复杂的验证程序，因此零部件厂商需要和下游设备、以及制造厂商有很充分的协同合作。目前国内半导体零部件上线验证程序复杂、过程漫长，制造厂商、设备厂商和国内半导体零部件厂商的配合度不高，欠缺有效沟通与互动，导致双方对彼此工艺参数与配套匹配性互不掌握，国产替代动力不足。再加上在长期的产品迭代过程中，已有的国外零部件厂商形成了大量的Know-How（技术诀窍）。而国内厂商在后续模仿、试制过程中，通常只能做到形似，因缺乏经验和关键技术而在初期验证中就被淘汰，无法进入规模化应用。此外，国内半导体零部件厂商无法从原材料和生产设备等配套环节获得支撑，也影响到其产品的竞争力。

半导体设备共有8大重心子系统，包括气液流量控制系统、真空系统、制程诊断系统、光学系统、电源及气体反应系统、热管理系统、晶圆传送系统、其他集成系统及关键组件，每个子系统亦由数量庞大的零部件组合而成。零部件的性能、质量和精度直接决定着设备的可靠性和稳定性，半导体设备零部件加工要求高，占设备总支出的70%左右，以刻蚀机为例，十种主要关键部件占设备总成本的85%。半导体设备决定一个国家的半导体制造水平，而半导体零部件则决定半导体设备的运行水平，是半导体设备的基石，同样也是目前“卡脖子”严重的领域。由于半导体零部件的特殊性,企业生产经常要兼顾强度、应变、抗腐蚀、电子特性、材料纯度等复合功能要求。

半导体零部件的主要分类半导体零部件是半导体设备的关键构成，据不完全统计，目前行业里关于半导体零部件的种类划分尚未形成标准，目前主要有以下几种分类方法。1.按典型集成电路设备腔体内部流程分类这种分类方式可将半导体零部件分为五大类：电源和射频控制类、气体输送类、真空控制类、温度控制类、传送装置类。2.按半导体零部件的主要材料和使用功能分类这种分类方式可将其分为十二大类，包括硅/碳化硅件、石英件、陶瓷件、金属件、石墨件、塑料件、真空件、密封件、过滤部件、运动部件、电控部件以及其他部件。其中，各大类零部件还包括若干细分产品，例如在真空件里就包括真空规（测量工艺真空）、真空压力计、气体流量计(MFC)、真空阀件、真空泵等多种关键零部件。3.按半导体零部件服务对象分类这种分类方式可将半导体重心零部件分为两种，即精密机加件和通用外购件。无锡市三六灵电子科技有限公司是一家专业提供 半导体零部件的公司。深圳工业半导体零部件

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半导体零部件的产业特点及发展现状：从地域分布看，半导体设备零部件市场主要被美国、日本、欧洲、韩国和中国台湾地区的少数企业所垄断，国内厂商起步晚，国产化率较低。目前石英、喷淋头、边缘环等零部件国产化率只达到10%以上，射频发生器、MFC、机械臂等零部件的国产化率在1%-5%，而阀门、静电卡盘、测量仪表等零部件的国产化率不足1%，国产替代空间较大。半导体重心零部件的产品类别及主要供应商：半导体重心零部件与半导体原材料一样，尽管市场规模小，却决定了半导体设备的重心构成、主要成本、质优性能等，通常具有高技术密集、学科交叉融合、市场规模占比小且分散，但在价值链上却举足轻重等特点。深圳工业半导体零部件

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