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    本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术：在半导体制造工厂等制造工厂中，为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运，提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如，参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的轨道行驶，因此需要与高架搬运车和起重机对应地，分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此，存在不仅对轨道的设置花费成本，需要用于铺设各轨道的空间，而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应，因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素：本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本，并且分担高架搬运车与起重机的作用，由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备：第1区段内顶棚轨道，其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置；第二区段内顶棚轨道。溧水区米袋真空搬运机推荐厂家！静安区工业真空搬运机供应

    并使转动部件围绕上下方向的轴进行转动。转动部通过来自转动驱动部的驱动力而转动，能够使升降驱动部54或者保持部53围绕上下方向的轴进行转动。通过该转动部能够将被保持部53保持的物品2的朝向改变。此外，高架搬运车50也可以不具备转动部。图6是表示第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51的一个例子的图。第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51例如采用共用的结构(同一结构或者大致同一结构)。另外，对于顶棚轨道10中的第1区段内顶棚轨道11、第二区段内顶棚轨道12、第1区段间顶棚轨道13、以及第二区段间顶棚轨道14而言，与行驶方向正交的平面的截面相同或者大致相同，第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51中的任一者均能够行驶。这样，由于第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51共用，因此无需按照其他结构制造第1、第二行驶部41a、41b与行驶部51，能够减少第1、第二起重机40a、40b和高架搬运车50的制造成本。第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51具有：多个车轮71a，它们与顶棚轨道10的下方的内表面抵接；和行驶部主体71b，其安装有上述多个车轮71a。行驶部主体71b具备用于驱动车轮71a的行驶驱动部、和各种传感器。顶棚轨道10具备供电部70。秦淮区常见真空搬运机哪家有六合区包装袋真空搬运机推荐厂家！

    并不限定于第1、第二处理装置tl1、tl2具备两处装载端口lp，也可以具备一处或者三处以上。另外，在制造工厂等中配置用于暂时保管物品2的第1、第二保管区域sa1、sa2。第1保管区域sa1与第1处理装置tl1对应设置，第1保管区域sa1配置于两列第1处理装置tl1之间。第二保管区域sa2与第二处理装置tl2对应设置，第二保管区域sa2配置于两列第二处理装置tl2之间。在各列第1、第二处理装置tl1、tl2中，装载端口lp配置于与各个第1、第二保管区域sa1、sa2对置的一侧。如图1所示，搬运系统100具备：顶棚轨道10、第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b、第1、第二起重机40a、40b以及高架搬运车50。顶棚轨道10具有第1区段内顶棚轨道11、第二区段内顶棚轨道12、第1区段间顶棚轨道13、第二区段间顶棚轨道14、第1连接轨道15、以及第二连接轨道16。第1区段间顶棚轨道13、第二区段间顶棚轨道14、第1连接轨道15、以及第二连接轨道16是将第1区段内顶棚轨道11与第二区段内顶棚轨道12连结的区段间顶棚轨道。第1区段内顶棚轨道11从第1处理装置tl1的装载端口lp的正上方错开配置，并且沿着装载端口lp设置。第二区段内顶棚轨道12从第二处理装置tl2的装载端口lp的正上方错开配置。

    能够比第1、第二起重机40a、40b更快移动，因此通过高架搬运车50进行区段间(例如第1保管区域sa1与第二保管区域sa2之间)的物品2的搬运，从而能够在短时间内搬运物品2。这样，将第1、第二起重机40a、40b与高架搬运车50的作用分开，由此能够使搬运系统100整体的物品2的搬运效率提高。另外，将第1区段内顶棚轨道11由第1起重机40a与高架搬运车50共享，并将第二区段内顶棚轨道12由第二起重机40b与高架搬运车50共享，因此无需另外设置顶棚轨道，能够减少顶棚轨道10的铺设所需要的成本。另外，高架搬运车50能够在第1区段内顶棚轨道11和第二区段间顶棚轨道14上行驶，因此如图5的单点划线所示，能够在与第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp之间进行物品2的交接。其结果是，在产生第1、第二起重机40a、40b的故障、或者产生第1、第二起重机40a、40b因其他物品2的搬运而顾及不到等状况的情况下，能够暂时通过高架搬运车50进行与装载端口lp之间的物品2的交接，能够防止搬运效率的降低。并且，高架搬运车50在作为从其他区域搬运来的物品2的搬运目的地的装载端口lp空置的情况下(能够搬运的情况)，保持原样地将物品2搬运至作为搬运目的地的装载端口lp，由此能够提高物品2的搬运效率。雨花台区粉尘真空搬运机推荐厂家！

    第二行驶部41b同样具备未图示的行驶驱动部和多个车轮71a(参照图6)，并沿着第二区段内顶棚轨道12行驶。行驶驱动部例如可以是设置于第1、第二行驶部41a、41b且驱动车轮71a的电动马达，也可以是使用顶棚轨道10设置的线性马达。第1行驶部41a也可以能够从第1区段内顶棚轨道11驶入第1区段间顶棚轨道13或者第二区段间顶棚轨道14地进行行驶。第二行驶部41b也可以能够从第二区段内顶棚轨道12驶入第1区段间顶棚轨道13或者第二区段间顶棚轨道14地进行行驶。根据该结构，第1、第二起重机40a、40b根据需要而能够容易地经由第1区段间顶棚轨道13或者第二区段间顶棚轨道14在第1区段内顶棚轨道11与第二区段内顶棚轨道12之间移动。第1、第二桅杆42a、42b从第1、第二行驶部41a、41b垂下并沿上下方向延伸，引导第1、第二升降台43a、43b。第1、第二桅杆42a、42b形成为中空或者实心的棒状，截面形成为圆形状、椭圆形状、长圆形状、或者四边形状等多边形状。第1、第二桅杆42a、42b的下端被设定为从地板面隔开规定间隔的状态。在图4中，在第1、第二行驶部41a、41b的下方经由安装部46安装有上部支承体47。第1、第二桅杆42a、42b安装于上部支承体47的下表面侧。栖霞区粉尘真空搬运机推荐厂家！栖霞区象鼻子真空搬运机有几种

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