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温湿度基本参数
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  • 南京拓展科技
  • 型号
  • 极测
温湿度企业商机

设备运行静音高效是精密环控柜的又一优势。采用的 EC 风机,具备更高效、更强大、更安静的运行特点。相比传统风机,EC 风机能够在提供充足风量的同时,有效降低能耗,提高能源利用效率。制冷单元内部采用高效隔音材质,进一步降低设备噪音,使其运行噪音小于 45dB 。噪音作为一种能量对于生产过程存在难以忽视的影响,极低的噪音恰恰能防止设备收到干扰,影响生产环境。高效的运行则保证了设备能够快速、稳定地调节温湿度和洁净度,满足各类精密实验和生产的需求。设备内部压力稳定性可达 +/-3Pa。福建温湿度设备

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超高水准洁净度控制使精密环控柜在众多领域发挥着无可替代的作用。该系统可轻松实现百级以上洁净度控制,内部洁净度可优于 ISO class3 (设备工作区) 。这一特性得益于其先进的空气过滤系统,多层高效过滤器能够有效拦截空气中的尘埃颗粒、微生物等污染物。在对洁净度要求极高的半导体制造领域,微小的尘埃颗粒都可能导致芯片出现瑕疵,影响性能和良品率。精密环控柜提供的超洁净环境,能极大降低尘埃对芯片制造过程的干扰,确保芯片的高质量生产。在生物制药领域,药品的生产过程必须保证无菌无尘,防止微生物污染。其超高的洁净度控制能力,为药品的研发和生产提供了符合标准的洁净空间,保障了药品的安全性和有效性。离子束刻蚀机温湿度设备该系统集成暖通通风、环境洁净、照明安防及实验室管理系统,能够实时记录查询数据。

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数据可视化与便捷管理是设备亮点。设备自动生成数据曲线,如同设备运行 “心电图”,便于客户随时查看设备运行状态。数据自动保存,可随时以表格的形式导出,方便客户进行数据分析和处理。运行状态、故障状态等事件同步记录,查询一目了然,让客户对设备状态了如指掌。设备采用可拆卸铝合金框架,大型设备可现场组装,灵活便捷,减少运输压力,方便不同环境使用运行。箱体采用高质量钣金材质,美观大方,可根据客户需求定制外观颜色,满足客户的个性化需求。

超高精度温度控制是精密环控柜的一大突出亮点。其自主研发的高精密控温技术,使得控制输出精度达到惊人的 0.1% ,这意味着对温度的调控能够精细到极小的范围。设备内部温度稳定性在关键区域可达 +/-2mK (静态) ,无论外界环境如何变化,都能保证关键部位的温度处于极其稳定的状态。内部温度规格可在 22.0°C (可调) ,满足不同用户对温度的个性化需求。而且温度水平均匀性小于 16mK/m ,确保柜内各个角落的温度几乎一致,避免因温度差异导致的实验误差或产品质量问题。再加上设备内部湿度稳定性可达 ±0.5%@8h ,以及压力稳定性可达 +/-3Pa ,连续稳定工作时间大于 144h ,为对温湿度、压力要求苛刻的实验和生产提供了可靠的环境保障,让长时间的科研实验和精密制造得以顺利进行。精密环境控制设备凭借超高精度温度控制,保障内部温度水平均匀性小于16mK/m。

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自动安全保护系统是精密环控柜的重要保障,为设备的稳定运行和用户的使用安全提供防护。故障自动保护程序时刻监控设备的运行状态,一旦检测到异常情况,如温度过高、压力过大、电气故障等,系统会立即启动相应的保护措施,停止设备的危险运行,避免设备损坏或引发安全事故,实现全天候无忧运行。同时,故障实时声光报警提醒,能及时引起用户的注意。用户可以根据报警信息迅速判断故障类型和位置,及时采取应对措施。此外,远程协助故障处理功能,使用户能够通过网络与专业技术人员取得联系,技术人员可以远程查看设备的运行数据和故障信息,指导用户进行故障排查和修复,缩短了故障处理时间,提高了设备的可用性。精密环控设备为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。精密温湿度调节

设备内部通过风机引导气流循环,控制系统对循环气流每个环节进行处理,使柜内温湿度达到超高控制精度。福建温湿度设备

刻蚀的目的在于去除硅片上不需要的材料,从而雕琢出精细的电路结构。在这一精细操作过程中,温度的波动都会如同“蝴蝶效应”般,干扰刻蚀速率的均匀性。当温度不稳定时,硅片不同部位在相同时间内所经历的刻蚀程度将参差不齐,有的地方刻蚀过度,有的地方刻蚀不足,直接破坏芯片的电路完整性,严重影响芯片性能。湿度方面,一旦出现不稳定状况,刻蚀环境中的水汽会与刻蚀气体发生复杂的化学反应,生成一些难以预料的杂质。这些杂质可能会附着在芯片表面,或是嵌入刚刚刻蚀形成的微观电路结构中,给芯片质量埋下深深的隐患,后续即便经过多道清洗工序,也难以彻底根除这些隐患带来的负面影响。福建温湿度设备

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