净化车间位置的选择,应根据需要、经济等比较后确定,应在大气含尘浓度较低,自然环境较好的区域。应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地段。还有洁净厂房大频率风向上风侧有烟囱时,洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍,洁洁厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。洁净厂房周围应进行绿化,可铺植草坪、种植对大气含尘农度不产生有害影响的树木,并形成绿化小区,但不得妨碍消防操作。净化车间满足一定的卫生环境要求,比如粒子数跟气流速率这些。微电子净化车间
净化车间设计过程中所需要注意的要点:材料,作为洁净室的吊顶,墙壁和地板的材料必须是不适合开裂、不易沾上颗粒、几乎没有灰尘的材料。此外,根据房间的不同工作条件,必须考虑材料的化学性能。压力和气流,为了保证房间的清洁度,必须防止被污染的空气进入房间。为了达到这个目标,房间必须保持正压。为了获得所需的室内压力,必须提供适当的新鲜空气。辅助设备,如有必要,应安装一些辅助设备,如新风出口空气指示器、隔板上的传输窗等。这些设备必须适合房间的要求,并且必须真正了解其功能。控制人和事,人与物是洁净室粉尘的主要来源,因此必须对其进行全方面控制。例如,进入洁净室前,所有人员都必须经过人员洁净系统,更换无尘服,并接受洁净系统功能的基础教育。微电子净化车间净化车间的建设,要求用专门的拖把清扫地面。
进入净化车间前注意事项:任何人进入净化车间工作或参观,须依规定换穿无尘衣。非经净化车间主管许可不得将私人物品(手提袋、书籍等)及非洁净室所使用之工具携入净化车间。工具在用毕后应立即收起。原物料进净化车间时,需先在外面拆箱及拭净,并置于货物风淋室携入净化车间。净化车间、办公区均为禁烟区,若有吸烟,须于抽后并漱口后,方可进入净化车间。在净化车间内,不得饮食、嬉闹,或从事其它与生产无关的事情。进入净化车间者应保持身体洁净,头发应常梳洗,并禁止使用香水及化妆品。进入净化车间内不得穿着短裤及布鞋、袜子。
净化车间室内装修:净化车间的建筑围护结构和室内装修,应选用气密性良好,且在温度和湿度等变化作用下变形小的材料。墙面内装修当需附加构造骨架和保温层时。应采用非燃烧体或难燃烧体。净化车间内墙壁和顶棚的表面,应符合平整、光滑、不起灰、避免眩光、便于除尘等要求。应减少凹凸面,阴阳角做成圆角。室内装修宜采用于操作。如为抹灰时,应采用高级抹灰标准。净化车间的地面,应符合平整、耐磨、易除尘清洗、不易积聚静电、避免眩光、并有舒适感等要求。净化车间的设计和装修过程必须严谨,必须考虑到每一个细节。
万级净化车间标准包括:尘粒大允许数(每立方米):≤2500。大或等于0.5微米的粒子数不得超过350000个,大或等于5微米的粒子数不得超过2000个。微生物大允许数:浮游菌数不得超过100个每立方米。沉隆菌数不得超过3个每培养皿。压差:相同洁净度等级的洁净室压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa,洁净室与非洁净室之间要≥10Pa。万级净化车间对温度、湿度无特殊要求时,以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜,温度一般控制在冬季20~22℃。夏季24~26℃。波动±2℃。冬季洁净室湿度控制在30-50%,夏季洁净室湿度控制在50-70%。净化车间内的洁净工作台可根据产品要求或其他用途的要求,在操作台上保持高洁净度的局部净化。微电子净化车间
净化车间必须保持正压,洁净工程和非洁净区的洁净面积应大于10pa。微电子净化车间
净化车间在施工中容易出现的问题:洁净区的排水(地漏及其它工艺排水)往往被设计忽视,这样就无意中将洁净间和外界串通,给净化车间带来风险。净化车间的万级以上区域通常要避免地漏,其它洁净间地漏也要求设空气破除装置,并且平时要求封闭,使用必须有严格的操作SOP。设备、水池等排水也要求设空气破除装置避免空气、水倒灌给净化车间带来风险。净化车间的万级以上区域风管通常需要设置检修清洗口,风管中采用圆形倒角和转弯以避免死角,但在国内设计中通常被忽视。设计人员与使用部门应充分沟通,尽量避免建成后大的变更改动。微电子净化车间
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