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箱式电阻炉在超导量子器件退火中的应用:超导量子器件对退火环境要求苛刻,箱式电阻炉通过环境优化满足其需求。炉体采用双层不锈钢真空结构,真空度可达 10⁻⁸ Pa,并配备低温泵持续抽气维持真空环境。在约瑟...