上海四氟化碳厂家哪家好

四氟化碳是目前微电子工业中用量比较大的等离子蚀刻气体，也可以广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，铝合金门窗制造、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。同时，由于四氟化碳的化学稳定性，四氟化碳可用于金属冶炼，例如：铜、不锈钢，碳钢、铝、蒙乃尔等；还可用于塑料行业；如：合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯。性状：无色无味气体 2.熔点（℃）：-183.6 3.沸点（℃）：-127.8。上海四氟化碳厂家哪家好

    四氟化碳的注意事项有哪些？四氟化碳是不燃性压缩气体。储存于阴凉、通风仓间内。仓内温度不宜超过60℃。远离火种、热源。防止阳光直射。应与易燃或可燃物分开存放。验收时要注意品名，注意验瓶日期，先进仓的先发用。搬运四氟化碳时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。泄漏时，应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。 扬州节能四氟化碳价格走势四氟化碳在高温时，或与可燃气体一同燃烧时，分解出有毒的氟化物。

 四氟化碳有  制冷、气体绝缘、干蚀刻气、氟化剂、表面处理剂、激光气体泄漏检验剂等用途。四氟化碳为非腐蚀性气体，所有通用材料如钢、不锈钢、铜、青铜，铝等金属材料都可以使用，但是含镁大于2%的合金不能用。在高温，一些金属起加速CF4分解的催化作用。按其催化作用增长的次序由小到大地排列则如下：因科镍合金、奥氏体不锈钢、镍、钢、铝、铜、青铜、黄铜、银。    可以用聚四氟乙烯，环氧树脂和醋酸纤维。尼龙在高温，有水和空气时变脆。聚三氟氯乙烯聚合体可以用，但稍微有膨胀。废气可直接排人大气中。

一种四氟化碳气体浓度检测校正方法，包括：

通过双光路检测系统利用双波长红外差分检测法测量出不同温度下的四氟化碳气体浓度值；

将测量出的所述四氟化碳气体浓度值和对应的温度值输入至RBF神经网络进行训练；

将对测试样本测量所得的四氟化碳气体浓度值输入至训练好的所述RBF神经网络进行测试并开展反演计算，得到校正后的四氟化碳气体实际浓度值。

推荐地，在本发明实施例提供的上述四氟化碳气体浓度检测校正方法中，通过双光路检测系统利用双波长红外差分检测法测量出四氟化碳气体浓度值，包括：所述红外光源发出的红外光束经准直后进入内置有四氟化碳气体的所述气体采样室；被四氟化碳气体吸收特定波长的红外光束作为测量光；波长不受四氟化碳气体影响的红外光束作为参考光；

在所述测量光经所述滤光片透射后，检测所述测量光的光强；在所述参考光经所述第二滤光片透射后，检测所述参考光的光强；

由于化学稳定性极强，CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。

    在常温常压下四氟化碳为无色无臭有轻微醚味的气体，在空气中不燃烧，具有可压缩性，挥发性较高，是一种比较稳定的无毒有机化合物。但是在高温时，或与可燃气体一同燃烧时，会分解出有毒的氟化物。对于硅和二氧化硅体系，采用CF4-O2反应离子刻蚀时，通过调节两种气体的比例，可以获得45：1的选择性，这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于化学稳定性极强，四氟化碳还可以用于金属冶炼和塑料行业等。 四氟化碳没有腐蚀性。南通节能四氟化碳

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质量指标纯度（%）≥99.99水份（PPm）≤10酸度（PPm）≤0.3蒸发残留物（PPm）≤100％物理性质分子量88.0沸点（1atm），℃-128临界温度，℃-45.67临界压力，kPa3740饱和蒸气压（25℃），kPa3650（-45.6℃）汽化热/蒸发潜热（沸点下，1atm），kJ/kg-破坏臭氧潜能值（ODP）0全球变暖潜能值(GWP，100yr)5700ASHRAE安全级别A1（无毒不可燃）化学性质相对分子量88.00。在常温下，四氟化碳是无色、无臭、不燃的易压缩性气体，挥发性较高，是**稳定的有机化合物之一，不易溶于水。在900℃时，不与铜、镍、钨、钼反应，*在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%（重量比），然而与可燃性气体燃烧时，会分解产生有毒氟化物。上海四氟化碳厂家哪家好

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