有机物的去除常常在清洗工序的第1步进行,金属污染物:IC电路制造过程中采用金属互连材料将各个单独的器件连接起来,首先采用光刻、蚀刻的方法在绝缘层上制作接触窗口,再利用蒸发、溅射或化学汽相沉积(CVD)形成金属互连膜,如A-Si,Cu等,通过蚀刻产生互连线,然后对沉积介质层进行化学机械抛光(CMP)。这个过程对IC制程也是一个潜在的污染过程,在形成金属互连的同时,也产生各种金属污染。必须采取相应的措施去除金属污染物。原生氧化物及化学氧化物:硅原子非常容易在含氧气及水的环境下氧化形成氧化层,称为原生氧化层。防变色剂又称防腐蚀剂,IC除锈剂。IC封装药水库存充足
IC封装药液颗粒主要是一些聚合物、光致抗蚀剂和蚀刻杂质等。通常颗粒粘附在硅表面,影响下一工序几何特征的形成及电特性。根据颗粒与表面的粘附情况分析,其粘附力虽然表现出多样化,但主要是范德瓦尔斯吸引力,所以对颗粒的去除方法主要以物理或化学的方法对颗粒进行底切,逐渐减小颗粒与硅表面的接触面积,终将其去除。有机物杂质在IC制程中以多种形式存在,如人的皮肤油脂、净化室空气、机械油、硅树脂真空脂、光致抗蚀剂、清洗溶剂等。每种污染物对IC制程都有不同程度的影响,通常在晶片表面形成有机物薄膜阻止清洗液到达晶片表面。IC封装药水库存充足IC封装药水适用于各种Cu-alloy、Fe-Ni-alloy不含H2O2,药液维护容易。
IC封装药液银封闭剂具有很强的耐硫化和耐盐雾性,通过各种腐蚀测试,具有很强的防银变色效果。抗硫化性和耐候性能优越,5%硫化钾测试可通过1-2小时,能通过硫化氢和盐雾测试48小时以上。护膜接触电阻很小,不影响镀层的导电性、可焊性,保持镀层外观洁白光亮。经金防变色剂处理后的银镀层抗变色能力持久,经测试1-3年不变色、不生锈。本产品润滑性、耐磨性能优良。缓蚀率高;可有效防止铝材黑变、灰变、白毛、失光、失色的不良现象的产生;与硅酸盐相比,本剂具有好于硅酸盐五倍以上的防腐蚀效果,比硅酸盐溶液稳定,不会出现析出、凝胶、悬浮、沉淀、结垢的现象。
IC除锈活化剂溶液,其特征在于:包含百分比含量为15-40%的硫酸,百分比含量为2-20%的盐酸,百分比含量为5-25%的过一硫酸氢钾,百分比含量为0。1-1%的脂肪醇聚氧乙烯醚,其余为水。本发明具有危害性较小,适用性较广,除锈活化速度快的优点。性能优良:本品可快速去除金属表面上的油、锈和非金属表面上的油污,无氢脆和过腐蚀现象,并有防灰功能。本品对铁离子容忍性大,使用寿命极长,并可循环添加使用。工艺简单:除油去锈、活化同步进行,一步完成,只需综合处理→水洗两道工序。IC封装药水无毒、无味等特点,不含有害物质,环保型水性产品。
HCFC类IC清洁剂及其清洗工艺特点:这是一种含氢的氟氯烃,其蒸发潜热小、挥发性好,在大气中容易分解,破坏臭氧层的作用比较小,属于一种过渡性产品,规定在2040年以前淘汰,所以,我们不推荐使用该类清洗剂。其存在的问题主要有两个:一是过渡性。因为对臭氧层还有破坏作用,只允许使用到2040年;二是价格比较高,清洗能力较弱,增加了清洗成本。氯代烃类的清洗工艺特点:氯代烃类如二氯甲烷、三氯乙烷等也属于非ODS清洗剂。其清洗工艺特点是:清洗油脂类污物的能力特别强;像ODS清洗剂一样,也可以用蒸气洗和气相干燥。IC封装药水极低的添加量,综合使用成本低。南京芯片封装药水怎么样
IC封装药水抗硫化性和耐候性能优越,5%硫化钾测试可通过1-2小时。IC封装药水库存充足
IC封装药液适当使用,可有效的减少生產中的不良品。使用时将脱胶剂倒入容器中,然后在脱胶剂中加一厘米厚水封面用于防火防挥发。将需去除膠层的零件完全浸泡于脱胶剂中,因膠层厚薄不同,约数分钟或几十分钟不等,膠层和粘接灌封胶料会自动全部脱除。脱除后用水冲洗干净即可。脱胶剂使用后可用过滤网将脱下的树脂滤净,可继续使用多次。涂刷对于大件不便浸泡的物件,可用毛刷涂于需脱除的膠層部件,几分钟或几十分钟后膠膜鼓起脱落后將其洗干净即可,对于厚膜的膠层可涂刷多次。IC封装药水库存充足
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