实验室检测

《电子工业洁净厂房设计规范》(GB50472-2008)。本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室，检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时，应由里向外按顺序检测。3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1um(0.5μm)的粒子，其浓度应大于3.5x10pc/m。微粒仪距离滤器表面20~30mm处等速采样，并以5~20mm/s速度移动。4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO14644基本相同。5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度，且距吊顶、墙和地面不少于300mm。6)噪声的检测。每100m2设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m，距墙大于3m。7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度，宜距地面0.85m,每25m2设1个检测点。乱流非单向流洁净室凡不符合单向流定义的气流的洁净室。混合流洁净室：单向流和非单向的气流的洁净室。实验室检测

单向流洁净室的原理和特性

   ⑴定义

   单向流洁净室是：气流以均匀的截面速度，沿着平行流线以单一方向在整个室截面上通过的洁净室。

   ⑵原理

   单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用，迅速把室内污染排出。

   要保证活塞作用的实现，*重要一点是高效过滤器必须满布。当然，过滤器是有边框的，顶棚也有边框，不可能*地满布过滤器。满布比来衡量过滤器的满布程度：

   正常情况下满布比达到80%。垂直单向流满布比不应小于60%，水平单向流应小于40%，否则就是局部单向流了。

   ⑶特征指标

   ①流线平行度（流线平行性）

   流线平行的作用性是保证尘源散发的尘粒不作垂直于流向的传播。要求流线之间既要平行（在0.5m距离内线间夹角不能小于15°），又要求流线尽可能垂直于送风面（其倾角*小不能小于65°）。

   ②乱流度（速度不均匀度）

   速度均匀的作用是保证流线之间质点的横向交换*小。乱流度是为了说明速度场的集中或离散程度而定义的。 安徽实验室检测诚信推荐洁净室（CleanRoom），亦称无尘车间、无尘室或清净室。

定义：气流以不均匀速度不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室。原理：乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气，将污染空气逐渐稀释，来实现洁净的（乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别）。特性：乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）（1）自净时间：是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室，室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。 1,000级希望不超过20min(分钟) (可取15min计算) 10,000级希望不超过30min(分钟) (可取25min计算) 100,000级希望不超过40min(分钟) (可取30min计算)（2）换气次数（按上述自净时间要求设计）1,000级 43.5—55.3次/小时 (规范:50次/小时) 10,000级 23.8—28.6次/小时 (规范:25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范:15次/小时)优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。

六检测方法及结果判定（一）风量或风速的测试1、抽样对有设计要求的区域进行检测。2、风量风速必须首先对净化空调各项效果进行检测。（1）乱流洁净室系统的实测风量值应大于各自的设计风量值但不应超过20%；实测新风量和设计新风量之差不应超过设计新风量的±10%；室内各风口的风量与各自设计风量之差均不应超过设计风量的±15%。（2）单向流层流洁净室实测室内平均风速应大于设计风速但不应超过20%；总实测新风量和设计新风量之差不应超过设计新风量的±10%。3、操作过程及判定（1）乱流洁净室a.对于不安装过滤器的风口可按综合效能普通通风空调风口风量测试的方法进行。b.对于安有过滤器的风口，根据风口形式可选用辅助风管，即用硬质板材做成与风口内截面相同、长度等于2倍风口边长的直管段连接于过滤器风口外部在辅助风管出口平面上，按**少测点数不少于6点均匀布置测点，用热球风速仪测定各点风速，以风口截面平均风速乘以风口净截面积确定风量。c.对于安有同类扩散板的风口，可以根据扩散板的风量阻力曲线和实测扩散板阻力，查出风量测定时用微压计和毕托管或用细橡管代替毕托管，但都必须使测孔平面与气流方向垂直使测值正确反映静压值。洁净区是空气悬浮粒子浓度受控的限定空间，建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。

洁净室竣工验收洁净室竣工以后和投产后，都需要进行性能测定和验收；在系统大修或更新时，也要进行***测定，在测定前对洁净室的概况必须***了解。主要内容包括净化空调系统和工艺布置的平、剖面图及系统图对空气环境条件洁净度级别温、湿度风速等的要求空气处理方案送回风、排风量及气流组织人、物净化方案洁净室的使用情况厂区及其周围污染情况等。各种管道、自动灭火装置及净化空调设备空调器、风机、净化空调机组、高效空气过滤器和空气吹淋室等的安装应正确、牢固、严密其偏差应符合有关规定。高、中效空气过滤器与支撑框架的连接及风管与设备的连接处应有可靠密封。洁净室(区)温度应为18~26℃，相对湿度应为45%~65%。实验室检测服务至上

生物洁净室它与工业洁净室一样所不同的是控制参数中增加了控制室内细菌的浓度。实验室检测

1、高效过滤器完整性

a)生物安全柜检测的风机和灯，去掉过滤器的散流装置和保护盖。安放气溶胶发生器，将气溶胶导入安全柜，产生均匀分布的高效过滤器上游气流。

b)打开气溶胶光度计，进行调整；对含有气溶胶的高效过滤器上游气流进行测试，至少应有20ug/L PAO 。

c)光度计探头在过滤器下游距过滤器表面不超过25mm,以小于50mm/s的扫描速率移动，使探头扫测过滤器的整个下游一侧和每个组合过滤片的边缘，扫测路线应略微重叠。

2、噪声

a)打开安全柜的风机和照明灯，在安全柜前面中心水平向外300mm、工作台面上方380mm处测量噪声；

b)关闭安全柜的风机和照明灯，如果有室外排气风机，让其继续运行，在相同位置测量背景噪声。 实验室检测

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