2)、伺服变频电机(3)、电机减速箱(4)、印刷品放置箱(6)、表面印刷结构(7)、胶面剥离结构(8),所述主支撑架(1)上方设置有所述横向支架(2),所述横向支架(2)上方设置有所述伺服变频电机(3),所述伺服变频电机(3)上方设置有所述电机减速箱(4),所述电机减速箱(4)上方安装有印刷品传送带(5),所述印刷品传送带(5)一侧安装有所述印刷品放置箱(6),所述印刷品放置箱(6)一侧安装有所述表面印刷结构(7),所述表面印刷结构(7)上方设置有油墨放置箱(701),所述油墨放置箱(701)下方安装有油墨加压器(702),所述油墨加压器(702)下方安装有高压喷头(703),所述高压喷头(703)一侧安装有防溅射挡板(704),所述防溅射挡板(704)下方安装有印刷辊(705),所述表面印刷结构(7)一侧安装有所述胶面剥离结构(8),所述胶面剥离结构(8)上方安装有收卷调速器(801),所述收卷调速器(801)一侧安装有收卷驱动电机(802),所述收卷驱动电机(802)一侧安装有辊固定架(803),所述辊固定架(803)一侧安装有胶水盛放箱(804),所述胶水盛放箱(804)下方安装有点胶头(805),所述点胶头(805)下方安装有卷边辊(806),所述卷边辊(806)一侧安装有胶面收卷辊(807),所述胶面剥离结构(8)一侧安装有电加热箱(9),所述电加热箱。哪家的剥离液的价格低?东莞天马用的蚀刻液剥离液联系方式
含有的胺化合物的质量分为:1%-2%。进一步技术方案中,所述的添加剂中含有醇醚化合物的质量分为:30%-50%;含有胺化合物的质量分为:35%-55%;含有缓蚀剂的质量分为:6%-12%;含有润湿剂的质量分为:1%-7%。进一步技术方案中,所述的步骤s1中剥离液废液所含的酰胺化合物以及步骤s2中添加剂所含的酰胺化合物均为n-甲基甲酰胺(nmf)、n-甲基乙酰胺、n,n-二甲基甲酰胺中的一种或者多种。进一步技术方案中,所述的步骤s1中剥离液废液所含的醇醚化合物以及步骤s2中添加剂所含的醇醚化合物均为二乙二醇丁醚(bdg)、二乙二醇甲醚、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚中的一种或多种。进一步技术方案中,所述的步骤s1中剥离液废液所含的胺化合物以及步骤s2中添加剂所含的胺化合物为环胺与链胺。进一步技术方案中,所述的环胺为氨乙基哌嗪、羟乙基哌嗪、氨乙基吗啉中的一种或多种;所述的链胺为乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺、异丙醇胺、甲基二乙醇胺、amp-95中的一种或多种。进一步技术方案中,所述的三唑类化合物,具体为苯并三氮唑(bta)、甲基苯并三氮唑(tta)中的任意一种。进一步技术方案中,所述的润湿剂为含羟基化合物,具体为为聚乙二醇、甘油中的任意一种。嘉兴ITO蚀刻液剥离液价格华星光电用的哪家的剥离液?
所述卷边辊与所述胶面收卷辊通过皮带连接,所述收卷驱动电机与所述胶面收卷辊通过导线连接。进一步的,所述电加热箱与所述干燥度感应器通过导线连接,所述电气控制箱与所述液晶操作面板通过导线连接。进一步的,所述主支撑架由合金钢压制而成,厚度为5mm。进一步的,所述干燥度感应器与所述电气控制箱通过导线连接。进一步的,所述防溅射挡板共有两块,倾斜角度为45°。进一步的,所述电气控制箱与所述表面印刷结构通过导线连接,所述电气控制箱与所述胶面剥离结构通过导线连接。本**技术的有益效果在于:采用黏合方式对印刷品胶面印刷进行剥离,同时能够对印刷品胶面进行回收,节约了大量材料,降低了生产成本。附图说明图1是本**技术所述一种印刷品胶面印刷剥离复合装置的主视结构简图;图2是本**技术所述一种印刷品胶面印刷剥离复合装置的电气控制箱外观结构简图;图3是本**技术所述一种印刷品胶面印刷剥离复合装置的表面印刷结构主视结构简图;图4是本**技术所述一种印刷品胶面印刷剥离复合装置的胶面剥离结构主视结构简图。附图标记说明如下:1、主支撑架;2、横向支架;3、伺服变频电机;4、电机减速箱;5、印刷品传送带;6、印刷品放置箱;7、表面印刷结构。
技术领域:本发明涉及一种选择性剥离光刻胶制备微纳结构的方法,可用于微纳制造,光学领域,电学,生物领域,mems领域,nems领域。技术背景:微纳制造技术是衡量一个国家制造水平的重要标志,对提高人们的生活水平,促进产业发展与经济增长,保障**安全等方法发挥着重要作用,微纳制造技术是微传感器、微执行器、微结构和功能微纳系统制造的基本手段和重要基础。基于半导体制造工艺的光刻技术是**常用的手段之一。对于纳米孔的加工,常用的手段是先利用曝光负性光刻胶并显影后得到微纳尺度的柱状结构,再通过金属的沉积和溶胶实现图形反转从而得到所需要的纳米孔。然而传统的方法由于光刻过程中的散焦及临近效应等会造成曝光后的微纳结构侧壁呈现一定的角度(如正梯形截面),这会造成蒸发过程中的挂壁严重从而使lift-off困难。同时由于我们常用的高分辨的负胶如hsq,在去胶的过程中需要用到危险的氢氟酸,而氢氟酸常常会腐蚀石英,氧化硅等衬底从而影响器件性能,特别的,对于跨尺度高精度纳米结构的制备在加工效率和加工能力方面面临着很大的挑战。技术实现要素::为了克服上述技术问题,本发明公开了一种选择性剥离光刻胶制备微纳结构的方法。哪家公司的剥离液的口碑比较好?
所述过滤器包括多个并列排布的子过滤器,所述***管道包括多个***子管道,每一所述***子管道与一子过滤器连通,且所述多个***子管道与当前级腔室对应的存储箱连通。在一些实施例中,所述第二管道包括公共子管道及多个第二子管道,每一所述第二子管道与一子过滤器连通,每一所述第二子管道与所述公共子管道连通,所述公共子管道与所述下一级腔室连通。在一些实施例中,所述阀门开关设置在每一所述***子管道上。在一些实施例中,所述阀门开关设置在每一所述第二子管道上。在一些实施例中,所述阀门开关设置在每一所述***子管道及每一所述第二子管道上。在一些实施例中,所述第二管道包括多个第三子管道,每一所述第三子管道与一子过滤器连通,且每一所述第三子管道与所述下一级腔室连通。在一些实施例中,所述阀门开关设置在每一所述第三子管道上。本申请实施例还提供一种剥离液机台的工作方法,包括:将多级腔室顺序排列,按照处于剥离制程的剥离基板的传送方向逐级向剥离基板提供剥离液;将来自于当前级腔室经历剥离制程的剥离液收集和存储于当前级腔室相应的存储箱中,所述剥离液中夹杂有薄膜碎屑。哪家公司的剥离液的有售后?深圳银蚀刻液剥离液按需定制
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微电子化学品***适用于先进半导体封装测试、TFT、FPD平板显示、LED、晶体硅太阳能、PCB行业。类别品名英文名等级ELMOSUP溶剂类甲醇Methanol■ 甲苯Toluene■ 无水乙醇Ethanol■■ ■ 异丙醇IPA■■■**Acetone■■■N-甲基吡咯烷酮1-Methyl-2-pyrrolidinone■ ■ ■丙二醇甲醚PGME■ ■ ■丙二醇甲醚醋酸酯PGMEA■ ■ ■酸碱类硫酸Sulfuric Acid■■■盐酸Hydrochloric Acid■■ 硝酸Nitric Acid■■■氢氟酸Hydrofluoric Acid■■■磷酸Phosphoric Acid■■ 冰乙酸Acetic Acid,Glacial■■■过氧化氢Hydrogen Peroxide■■■氟化铵Ammonium Fluoride■■■氨水Ammonium Hydroxide■■■氢氧化钾Potassium Hydroxide Liquid■ 氢氧化钠Sodium Hydroxide Liquid■ 功能化学品铜蚀刻液Copper Etchant■ 铝蚀刻液Aluminum Etchants■ BOE蚀刻液Amnonium Fluoride Etchants■■■ITO蚀刻液ITO Etchant■ IGZO蚀刻液IGZO Etchant■ 光刻胶剥离液(有机) Photoresist Stripper (Solvent)■ 光刻胶剥离液(水系)Photoresist Stripper (Aqueous) ■ 玻璃减薄液Glass Thinning Liquid■ 玻璃清洗液Glass cleaning solution■ 光刻胶显影液Photoresist Developer■■■玻璃切削液Glass cutting fluid■ 化学研磨液Chemical grinding fluid■ 东莞天马用的蚀刻液剥离液联系方式
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