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磁转子12放置在待加工部件20的待加工表面上,用于通过旋转对待加工部件20的待加工表面进行机械研磨,对待加工表面进行减薄。由于减薄过程中待加工部件20如inp基晶圆本身不旋转,因此,可以降低抛光减薄过程中对待加工部件20如inp基晶圆的挤压应力,降低待加工部件20如inp基晶圆的机械加工损伤。可选地,本发明实施例中通过光刻胶键合固定待加工部件20和托盘10。当然,本发明并不限于此,在其他实施例中,待加工部件20和托盘10还可以采用其他胶体进行键合固定。基于此,如图2所示,本发明实施例中的抛光减薄装置还包括热板14,该热板14设置在托盘10底部,用于对托盘10进行加热,以使待加工部件20与托盘10键合固定。具体地,将待加工部件20背面喷涂厚度约为2μm的光刻胶21,如az4620光刻胶,然后在托盘10表面喷涂厚度约为3μm的光刻胶21,如az4620光刻胶,之后,将托盘10光刻胶面向上放于温度为90℃的热板14上,将待加工部件20光刻胶面和托盘10光刻胶面贴合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar压强于待加工部件20上进行键合,键合时间20min。本发明实施例中,采用喷头11向待加工部件20的待加工表面喷涂抛光液110,来对待加工部件20的待加工表面进行抛光。需要说明的是。去除多余涂层,减薄用清洗剂是您不可或缺的好帮手。
博洋化学提醒您,在使用减薄用清洗剂时,务必注意以下事项:严格按照使用说明操作:不同的博洋化学减薄用清洗剂有着特定的使用方法和注意事项,只有严格遵守,才能确保清洗效果达到佳,同时保障操作的安全性。我们的产品说明书经过精心编写,详细阐述了每一个步骤和要点,务必仔细阅读并严格执行。做好防护措施:在使用清洗剂的过程中,应佩戴适当的防护用品,如手套、护目镜、口罩等。博洋化学的清洗剂虽经过严格的安全检测,但为了避免任何可能的风险,防护工作不可忽视。这不仅能保护您免受清洗剂可能带来的伤害,也是对您自身健康负责的表现。控制清洗时间和温度:根据博洋化学清洗剂的性质以及被清洗材料的特点,合理控制清洗时间和温度至关重要。清洗时间过长或温度过高,可能导致过度清洗,损坏材料;而时间过短或温度过低,则可能清洗不彻底。通过不断的实践和摸索,找到适合的清洗参数,以实现佳的清洗效果。妥善处理废液:清洗后的废液中可能含有有害物质,必须妥善处理,以避免对环境造成污染。可以采用中和、沉淀、过滤等方法进行初步处理,对于较为复杂的废液,也可委托专业的环保公司进行处理。博洋化学始终秉持环保理念,鼓励用户正确处理废液。 高效去除涂层,减薄用清洗剂让您的生产更顺畅。深圳哪里减薄用清洗剂联系方式
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