本发明实施例通过在n型ge层淀积氮化硅层产生压应力从而使n型ge层内产生压应力,n型ge层内通过施加压应力引起能带结构的调制,反映在能带图上就是导带底的曲率发生改变,即改变了导带电子的有效质量,引起各散射机制中散射概率的改变,进而提高了n型ge层内的电子迁移率。进一步地,将ge层中引入应力的方式还有通过掺杂和热失配等,与通过掺杂和热失配等引入应变的方式相比而言,氮化硅层致ge层应变的工艺更加简单,且不会因为晶格失配产生大量缺陷,故而能够得到质量更好的压应变ge层,因此可以提高制备的肖特基二极管器件的性能。具体地,在ge层002中的应力大小与压应力层003的制备条件相关,具体地,其他工艺条件不变的情况下,压应力层003反应温度越高,压应力层003使ge层002中的产生的应力越大,且呈一定的线性关系。在其他工艺条件不变的情况下,压应力层003使ge层002中的产生的应力越小。在其他工艺条件不变的情况下,低频功率越大,形成压应力层003使ge层002中的产生的应力越大。设fwg为氮化硅层使所述ge层002中产生的压应力大小,则fwg和温度tp的关系满足:fwg=×fwg的单位为pa,twg的单位为摄氏度。具体地,在其他工艺条件不变的情况下,压强越高。上海藤谷电子科技有限公司致力于提供二极管,期待您的光临!现代二极管价格便宜
本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本申请的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。此外,术语“”、“第二”等用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。经本申请的发明人研究发现,现有肖特基二极管的钝化层和氧化层因材质不同,热膨胀系数不同,在肖特基二极管的使用过程中,由于器件的工作温度的变化,钝化层和氧化层会在彼此结合处存在剪切力,从而在结合处出现微小缝隙。在肖特基二极管存放或使用过程中,环境中的水汽可能会从微小缝隙侵入肖特基结,导致肖特基二极管短路失效。为了解决上述技术问题,发明人创新性地设计以下的肖特基二极管结构。请参照图1。湖北模拟二极管价格优惠二极管,就选上海藤谷电子科技有限公司,用户的信赖之选,欢迎新老客户来电!
本发明的另一个实施例提供了一种整流电路,包括上述任一实施例所述的用于整流电路的肖特基二极管。与现有技术相比,本发明的有益效果:本发明通过对肖特基二极管的材料进行设计,采用应变ge层作为肖特基接触的半导体层,通过对ge材料的能带结构进行调制,使肖特基二极管具有更高的电子迁移率和能带优势,使用该肖特基二极管制备的整流电路具有更高的转换效率;本发明在ge层上增加通过压应力层施加压应力,工艺简单,且生成的应变ge层不会因为晶格失配产生大量缺陷,因此得到的应变ge层质量更好,因此,肖特基二极管的器件性能也更优;本发明的肖特基二极管结构简单,无需设计复杂的二极管结构,元件的互连结构简单。附图说明图1为本发明实施例提供的一种用于整流电路的肖特基二极管的结构示意图;图2为本发明实施例提供的一种用于整流电路的肖特基二极管的制备工艺的流程示意图;图3a~3h为本发明实施例提供的一种用于整流电路的肖特基二极管的工艺示意图。具体实施方式下面结合具体实施例对本发明做进一步详细的描述,但本发明的实施方式不限于此。实施例一请参见图1,图1为本发明实施例提供的一种用于整流电路的肖特基二极管的结构示意图。
在所述肖特基结图案对应区域淀积金属和硅形成金属硅化物,得到肖特基结。在本申请的一种可能实施例中,在所述肖特基结及靠近所述肖特基结的氧化层上制作金属层的步骤,包括:在真空度3e-6torr、温度190℃的环境下持续加热45分钟,依次在所述肖特基结及靠近所述肖特基结的氧化层上沉积多层金属,制作形成金属层。在本申请的一种可能实施例中,在所述氧化层远离所述肖特基结的两端进行蚀刻形成防水槽的步骤,包括:在所述氧化层远离所述肖特基结两端的表面涂覆光刻胶层;通过带有防水槽图案的掩模对所述光刻胶层进行光刻,在所述光刻胶层上刻出防水槽图案;用腐蚀溶剂进行腐蚀,将所述防水槽图案转移到所述氧化层;蚀刻所述防水槽图案对应区域的氧化层,形成防水槽。本申请实施例提供一种肖特基二极管及其制造方法,通过在氧化层开设朝向外延层凹陷的防水槽,并在氧化层上制作填充于防水槽并在该防水槽对应的位置处形成与防水槽咬合并凸起的钝化层。钝化层与氧化层通过上述凹凸咬合结构层叠在一起,在肖特基二极管使用过程中,即便工作温度发生变化,钝化层与氧化层结合处的剪切力也不足以形成供水汽侵入肖特基结的微小缝隙。同时,因氧化层开设有防水凹槽。二极管,就选上海藤谷电子科技有限公司,用户的信赖之选,有想法可以来我司咨询!
当瞬时脉冲峰值电流出现时,TVS被击穿,并由击穿电压值上升至比较大箝位电压值,随着脉冲电流呈指数下降,箝位电压亦下降,恢复到原来状态。因此,TVS能可能出现的脉冲功率的冲击,从而有效地保护电子线路。峰值电流波形A.正弦半波B.矩形波C.标准波(指数波形)D.三角波TVS峰值电流的试验波形采用标准波(指数波形),由TR/TP决定。峰值电流上升时间TR:电流从10%IPP开始达到90%IPP的时间。半峰值电流时间TP:电流从零开始通过比较大峰值后,下降到。下面列出典型试验波形的TR/TP值:/1000nsB.闪电波:8μs/20μsC.标准波:10μs/1000μs3.比较大反向工作电压VRWM(或变位电压)器件反向工作时,在规定的IR下,器件两端的电压值称为比较大反向工作电压VRWM。通常VRWM=()V(BR)。二极管,就选上海藤谷电子科技有限公司,用户的信赖之选,有需求可以来电咨询!重庆智能二极管进货价
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但若重复施加,这些单个的脉冲能量积累起来,在某些情况下,也会超过TVS器件可承受的脉冲能量。因此,电路设计必须在这点上认真考虑和选用TVS器件,使其在规定的间隔时间内,重复施加脉冲能量的累积不至超过TVS器件的脉冲能量额定值。6.电容CPPTVS的电容由硅片的面积和偏置电压来决定,电容在零偏情况下,随偏置电压的增加,该电容值呈下降趋势。电容的大小会影响TVS器件的响应时间。7.漏电流IR当比较大反向工作电压施加到TVS上时,TVS管有一个漏电流IR,当TVS用于高阻抗电路时,这个漏电流是一个重要的参数。:按极性可分为:单极性和双极性两种;按用途可分为:通用型和型;按封装和内部结构可分为:轴向引线二极管、双列直插TVS阵列、贴片式和大功率模块等。轴向引线的产品峰值功率可达400W、500W、600W、1500W和5000W。其中大功率的产品主要用在电源馈线上,低功率产品主要用在高密度安装场合。对于高密度安装的场合,也可以选择双列直插和表面贴装等封装形式。现代二极管价格便宜
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