在所述肖特基结图案对应区域淀积金属和硅形成金属硅化物,得到肖特基结。在本申请的一种可能实施例中,在所述肖特基结及靠近所述肖特基结的氧化层上制作金属层的步骤,包括:在真空度3e-6torr、温度190℃的环境下持续加热45分钟,依次在所述肖特基结及靠近所述肖特基结的氧化层上沉积多层金属,制作形成金属层。在本申请的一种可能实施例中,在所述氧化层远离所述肖特基结的两端进行蚀刻形成防水槽的步骤,包括:在所述氧化层远离所述肖特基结两端的表面涂覆光刻胶层;通过带有防水槽图案的掩模对所述光刻胶层进行光刻,在所述光刻胶层上刻出防水槽图案;用腐蚀溶剂进行腐蚀,将所述防水槽图案转移到所述氧化层;蚀刻所述防水槽图案对应区域的氧化层,形成防水槽。本申请实施例提供一种肖特基二极管及其制造方法,通过在氧化层开设朝向外延层凹陷的防水槽,并在氧化层上制作填充于防水槽并在该防水槽对应的位置处形成与防水槽咬合并凸起的钝化层。钝化层与氧化层通过上述凹凸咬合结构层叠在一起,在肖特基二极管使用过程中,即便工作温度发生变化,钝化层与氧化层结合处的剪切力也不足以形成供水汽侵入肖特基结的微小缝隙。同时,因氧化层开设有防水凹槽。上海藤谷电子科技有限公司致力于提供二极管,有需求可以来电咨询!四川智能二极管优化价格
本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本申请的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。此外,术语“”、“第二”等用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。经本申请的发明人研究发现,现有肖特基二极管的钝化层和氧化层因材质不同,热膨胀系数不同,在肖特基二极管的使用过程中,由于器件的工作温度的变化,钝化层和氧化层会在彼此结合处存在剪切力,从而在结合处出现微小缝隙。在肖特基二极管存放或使用过程中,环境中的水汽可能会从微小缝隙侵入肖特基结,导致肖特基二极管短路失效。为了解决上述技术问题,发明人创新性地设计以下的肖特基二极管结构。请参照图1。河南数字二极管规范上海藤谷电子科技有限公司为您提供二极管,欢迎您的来电哦!
因氧化层开设有防水凹槽,即便环境中存在水汽,水汽在侵入时也会聚集在防水槽1031,不会进入到肖特基结,进一步确保肖特基二极管不会失效。在本申请实施例的一种可能的实施方式中,衬底101和外延层102可以为n型半导体层,半导体环104可以为p型半导体环。在本申请实施例的另一种可能的实施方式中,衬底101和外延层102可以为p型半导体层,半导体环104可以为n型半导体环。在本申请实施例中,在衬底101和外延层102为n型半导体层,半导体环104为p型半导体环时,衬底101可以为重掺杂半导体层,衬底101的电阻率可以为ω·cm;外延层102可以为轻掺杂半导体层,外延层102的电阻率可以为ω·cm,其中,外延层102的厚度可以为5μm-30μm。防水槽1031可以是一种规则形状的凹槽,也可以是不规则形状的凹槽。例如图1及图2所示,防水槽1031可以是u型槽,也可以是v型槽,当然还可以是其他形状的凹槽或者不同形状凹槽的组合。防水槽1031的深度小于氧化层103的厚度。在本申请实施例中,肖特基结108由多层金属组成,具体地,该多层金属可以包括ti、ni、ag等。请参照图3,本申请实施例还提供一种用于制造上述肖特基二极管10的制造方法,该制造方法包括以下步骤:步骤s301,请参照图4a。
Schottky)二极管的比较大特点是正向压降VF比较小。在同样电流的情况下,它的正向压降要小许多。另外它的恢复时间短。它也有一些缺点:耐压比较低,漏电流稍大些。选用时要考虑。肖特基二极管的作用及其接法肖特基二极管的作用及其接法,肖特基二极管肖特基(Schottky)二极管,又称肖特基势垒二极管(简称SBD),它属一种低功耗、超高速半导体器件。1、肖特基二极管的作用及其接法-整流利用肖特基二极管单向导电性,可以把方向交替变化的交流电变换成单一方向的脉冲直流电。在电路中,电流只能从肖特基二极管的正极流入,负极流出。P区的载流子是空穴,N区的载流子是电子,在P区和N区间形成一定的位垒。外加电压使P区相对N区为正的电压时,位垒降低,位垒两侧附近产生储存载流子,能通过大电流,具有低的电压降(典型值为),称为正向导通状态。若加相反的电压,使位垒增加,可承受高的反向电压,流过很小的反向电流(称反向漏电流),称为反向阻断状态。肖特基二极管主要用于各种低频半波整流电路,全波整流。整流桥就是将整流管封在一个壳内了。分全桥和半桥。全桥是将连接好的桥式整流电路的四个肖特基二极管封在一起。半桥是将四个肖特基二极管桥式整流的一半封在一起。上海藤谷电子科技有限公司为您提供二极管,欢迎新老客户来电!
Solution解决方案EMC测试服务,电路保护整体解决方案服务商汽车电子产品安防类产品智能家居家电仪表仪器产品通讯设备产品通信基站产品如何做好抛负载保护,TVS二极管为汽车保驾护航按照相关国际国内标准和规定,为了汽车的安全性和使用寿命,点火模块、电子调节器、安全气囊、显示仪表、车载导航、倒车系统等地方的电子设备都需要通过ISO7637-25a/5b抛负载电压冲击测试。ISO7637-25a/5b抛负载测试已...方案详情汽车抛负载测试,东沃电子,提供保护方案设计关于汽车抛负载,收藏这一篇就够了7637-25a/5b测试脉冲波形详解,看看您也知道汽车数字光端机防雷保护解决方案监控系统一般分为前端设备、传输部分和终端设备组成。其中尤为前端和传输部分遭受雷击的可能性比较大,因为前端器材一般都置于室外,很多地方架设都比较高,或坐落在空旷地带,在一些厂矿等场合受到干扰的可能性也比较大,传统线...方案详***口防护方案RS485/RS232防护方案(二)DC12V电源防护方案AC24V电源防护方案AC220V电源防护方案(一)方案满足IEC61000-4-5、;在差模防护中,采用钳位器件压敏电阻MOV,响应速度快,降低L与N线之间的浪涌电压;在共模防护中。上海藤谷电子科技有限公司是一家专业提供二极管的公司,有想法的可以来电咨询!江苏模拟二极管制品价格
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锗管Is=30~300μA。比较高工作频率Fm:指二极管能保持良好工作特性的比较高工作频率。不同用途的二极管差异01整流二极管大部分二极管所具备的电流方向性我们通常称之为“整流(Rectifying)”功能,将交流电能转变为直流电能。面接触结构,多采用硅材料,能承受较大的正向电流和较高的反向电压。性能较稳定,但因 大,不宜工作在高频电路中,所以不能作为检波管使用。有金属和塑料封装。02检波二极管检波二极管是用于把叠加在高频载波上的低频信号检出来的器件,它具有较高的检波效率和良好的频率特性。锗材料点接触型、工作频率可达400MHz,正向压降小,结电容小,检波效率高,频率特性好,为2AP型。类似点触型那样检波用的二极管,除用于检波外,还能够用于限幅、削波、调制、混频、开关等电路。也有为调频检波的特性一致性好的两只二极管组合件。多采用玻璃封装或陶瓷外壳封装,以获得良好的高频特性。03开关二极管开关二极管是半导体二极管的一种,是为在电路上进行“开”、“关”而特殊设计制造的一类二极管。它由导通变为截止或由截止变为导通所需的时间比一般二极管短。开关二极管的势垒电容一般极小,这就相当于堵住了势垒电容这条路。四川智能二极管优化价格
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