涂胶基本参数
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涂胶企业商机

涂胶:厌氧胶通常都是小体积的容器包装,因此在使用的时候可以直接涂覆。涂胶时,要避免胶嘴直接接触到金属基材,会造成胶水的污染。胶量要能够充分填充两个基材之间的空隙,保证能把基材中间的空气排出去。对于像螺纹锁固这样的应用,可以将胶水点在螺栓顶端即可,装配时可以通过旋转将胶水填满整个空隙。胶层厚度:胶水产品在使用的时候,有一个胶层厚度的问题。不是胶水用的越多,粘接效果就越好。对于厌氧胶来说也是一样。建议厌氧胶的胶层厚度控制在0.03-0.05mm范围内。如果两个基材之间的间距过大,那需要在胶层中间增加金属垫片以获得理想的粘接效果。涂胶工艺的制作方法。南京UV胶涂胶报价

在传统聚酰亚胺的涂胶工艺中,采用在晶圆中心打胶,然后用高速甩的方式摊开,在摊胶的过程中,由于该材料黏度较高,需要一定时间才可以均匀摊开,过程中,由于胶的溶剂挥发固化以及旋转时间长,会导致中部偏薄、边缘偏厚的情况,导致均匀性差。在软烘时,聚酰亚胺材料对于烘烤条件(温度、排风)等要求极高,以往涂胶时热板盘盖常采用关闭的方式,在聚酰亚胺材料涂覆过程中,采用该方式,由于盘盖的排风结构(EXH在盘盖中心),会导致膜厚中心更薄,均匀性差。江苏尼龙涂胶厂家涂胶适用于小面积的粘接。

传统聚酰亚胺材料涂胶显影工艺在芯片制造工艺中,可以大致分为:硅片的清洗、氧化、光刻胶涂覆、曝光、显影、刻蚀、离子注入等。其中很关键的就是涂胶、对准曝光和显影。涂胶工艺是由Track设备完成的,采用的是旋转式涂胶方法。光刻胶通过喷胶系统喷出,紧接着就是完成涂胶工序。此系统主要包括底部的真空吸盘将硅片固定在涂胶盘上、打胶系统、排风系统、速度可控的旋转马达、胶泵以及边缘去胶模块。对于洗边液,聚酰亚胺材料配套的洗边液的洗边效果较差,在实际应用中,无法达到普通PR涂覆时的切边效果,若涂胶时边缘存在切不整齐的问题,在后续显影工艺中,边缘就容易出现聚酰亚胺材料的残留,影响后续工艺。

由于厌氧胶特殊的固化机理,所以在使用厌氧胶的时候,也需要遵循相应的使用方法:使用环境:胶水需要在隔绝氧气的环境下固化,同时粘接材料需要是活性较大的金属材质。例如厌氧胶作为螺纹锁固胶,当螺母跟螺钉锁紧时,就给厌氧胶营造了一个绝氧的环境,这是厌氧胶能够固化的前提条件。其次,粘接材料需要至少有一面是活性大的金属,如果是惰性金属,或者是非金属材质,则需要配合表面处理剂使用。表面清洁:跟所有的胶粘产品使用要求一样,厌氧胶在使用的时候,也需要对接触的材料表面进行清洁。要求是粘接表面不能有油脂,灰尘,指纹以及脱模剂等污染物,金属材质表面不能有金属锈。建议使用合适的有机溶剂进行表面清洁,有必要的情况下,也可以配合表面打磨等工艺进行表面处理。涂胶量过多或过少都会影响粘接效果。

不论采用何种涂胶方法,都要认真细致地进行,要求涂胶均匀一致,且避免空气混入,而后可以得到无漏涂、不缺胶、无气泡、不堆积、粘接后有适当厚度的胶层。若环氧树脂胶黏度过大,可通过加热或配方改进等方式适当降低黏度,提高环氧胶浸润、渗透性能,从而保证粘接强度。就涂胶面而言,原则上每个被粘物表面都应均匀涂胶,以保证充分的浸润,但对于大面积、强度要求不高的粘接,也可采用点涂、线涂或点、线涂并用的方法来涂胶,这样既省胶又省工。涂胶时要注意胶水的质量,选择质量可靠的胶水可以保证产品的质量。嘉兴螺丝防松涂胶加工厂

涂胶的工艺流程包括胶水的选择、表面处理、涂胶、压合等步骤。南京UV胶涂胶报价

边缘残留解决——PIcoating时EBR优化由于显影后存在残留部分为wafer边缘位置,为证实实际造成残留的工序,特做了如下实验,在晶圆上涂覆PI材料,经烘烤之后,直接去用显影液冲洗,因该材料为非感光负性材料,故可以直接被显影液冲洗干净,实验证实,聚酰亚胺材料涂覆完成后,边缘无法被显影液冲洗干净,存在胶残留,可以认定该残留为聚酰亚胺材料涂覆(PIcoating)时影响。观察PIcoating后晶圆表面,发现晶圆边缘存在轻微胶膜不整齐区域(微锯齿状),怀疑由于聚酰亚胺材料的高黏度原因,在光胶甩开的时候边缘会存在轻微拉丝,在旋转骤停后,胶丝存在回缩现象,造成边缘不整齐,该区域即为残留风险区域。为解决该问题,优化PIcoating。南京UV胶涂胶报价

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