DLC是一种由碳元素组成的物质,在性质上类似于DIAMOND-LIKECRBON。DLC是一种非晶膜,因其硬度高、弹性模量大、摩擦因数低、耐磨性好、真空摩擦性好,非常适合作为耐磨涂层,引起了摩擦界的重视。目前制备DLC膜的方法很多,不同制备方法使用的碳源和到达基体表面的离子能量不同,沉积的DLC涂层结构和性能差别很大,摩擦性能也不同。下面就来了解一下DLC涂层沉积设备的系统组成都有哪些?一、热水冷却系统。在沉积室内,加热系统和水冷系统均布于沉积室四周,可控制加热温度、速度和水量,并设有相应的报警器,旋转系统设在沉积室底部,绝缘陶瓷绝缘,旋转速度可控。二、真空系统。本机由机械泵、罗茨泵、扩散泵及相应的控制阀、测量元件组成,可根据工艺要求自由切换高、低真空。三、供气系统。煤气供应系统位于沉积室顶部,气体种类包括H2、N2、Ar、CHa、C2H2、Si气体,同时在沉积室顶部预留两个通道接口,便于日后添加其它气体。含有Si的过渡层是已确认的有利于DLC涂层与基体结合力的一种涂层,为得到Si,通常使用SiH4作为原料气,但SiH4却具有较高危险性,因此采用SiH4作为Si的含Si气体源。类金刚石膜作为光学涂层的应用前景非常好。深圳高精密模具类金刚石应用
PVD涂层使用喷砂工艺对质量的影响。根据工艺目的,喷砂可分为:(1)表面清洁(2)刃口细化(3)改善钴损失表面(4)涂层后的处理。根据喷砂工艺方法,可分为干喷砂和湿喷砂。根据操作方法,可分为自动喷砂机和手动喷砂机。大多数干式喷砂机配备自动喷砂功能和手动喷砂功能。自动喷砂用于处理滚刀、钻头、插刀等数量大、形状规则的标准工件;手动喷砂用于处理模具等特殊工件。干式喷砂机使用的砂有B4C、SiC、Al2O3(金刚砂)、Si02(玻璃珠)、钢珠、塑料颗粒等。B4C和SiC颗粒太硬,切削力强,喷砂时间稍长,工件尺寸可能超差。此外,工件表面可能会产生额外的冷压,增强应力,涂层更容易剥落;玻璃珠虽硬但脆,易碎,磨损快,使用寿命低;钢珠容易生锈污染工件,塑料颗粒容易粘在工件表面。这两种情况都不容易清洗,增加了涂层质量下降和程序中断的风险。此外,塑料颗粒的切削力太小。对硬质合金几乎没有影响。因此,z适合选择A1203(金刚砂)作为喷砂介质。当然,对于特定的工件,可以选择更合适的喷砂材料。广东汽车油针类金刚石加工类金刚石涂层在对某些材料(Al、Ti及其复合材料)的机械加工方面具有明显优势。
dlc涂层的优点1、优良的力学性能(1)硬度及弹性不同的沉积方法制备的DLC膜硬度及弹性模量差异很大,用磁过滤阴极电弧法可以制备出硬度达到甚至超过金刚石的DLC膜,用阴极电弧法制备的DLC膜硬度可达50GPa以上,而用离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC膜硬度达21GPa。膜层内的成分对膜层的硬度有一定的影响,Si、N的掺入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有较高的弹性模量,虽低于金刚石(110GPa),但明显高于一般金属和陶瓷的弹性模量。(2)内应力和结合强度薄膜的内应力和结合强度是决定薄膜的稳定性和使用寿命,影响薄膜性能的两个重要因素,内应力高和结合强度低的DLC膜容易在应用中产生裂纹、褶皱,甚至脱落,所以制备的DLC膜具有适中的压应力和较高的结合强度。大部分研究表明,直接在基体上沉积的DLC膜的膜\基结合强度一般比较低,通过采用Ti\TiN\TiCN\TiC中间梯度过渡层的方法提高DLC膜与基体的结合强度,在模具钢上沉积DLC膜的结合强度达44N-74N,制备的膜导总体厚度可达5um。
DLC涂层就是一种采用PVD处理方法获得的涂层。DLC是英文DiamondLikeCarbon的简称,即类金刚石涂层。我们知道碳原子和碳原子之间以不同的方式结合,会产生不同的物质:金刚石(diamond)——碳碳以sp3键(一个C原子被另外3个C原子所围绕并形成共价键,表现出硬度高的特性。)的形式结合;石墨(graphite)——碳碳以sp2键(其C原子紧密以共价键连接在一个平面内,层与层之间的连接很弱。)的形式结合;而类金刚石(DLC)——碳碳则是以sp3和sp2键的混合形式结合,应用于活塞环上的DLC涂层还含有C-H等杂相,通常为非晶态或含有部分纳米晶。利晟纳米简述类金刚石涂层的制备方法。
DLC涂层的特殊功能增强了产品的使用性。DLC涂层刀具的应用市场逐渐扩大以及涂层面对不同应用的各种DLC细分工艺的开发,这以新兴涂层将在不久的将来为更多的用户和行业所采用。DLC涂层类金钢石膜层是一种具有摩擦系数低、耐磨性高的固体润滑膜层,该膜的润滑是由于碳以石墨的微晶结构存在于膜层中,很大程度地的改善了摩擦和耐磨性能。常用的硬质涂层在某些特殊领域的切削场合无法得以良好地应用,这些应用包括:铝合金、铜合金、石墨、亚克力、玻璃纤维等。类金刚石薄膜通常又被人们称为 DLC 薄膜, 是英文词汇 Diamond Like Carbon 的简称。中山高精密模具类金刚石应用
详细介绍DLC类金刚石涂层性能及作用。深圳高精密模具类金刚石应用
DLC涂层在模具上的应用:①冲压成形模具:凸模、凹模、精密冲裁、压印成形零件等。②注塑成形模具:模腔和型芯、顶杆及各类镶件等。③半导体模具:引脚成形模具的刀口件、封装模具的成形镶件和镶块等。④其他零部件:轴类、齿轮、轴承、凸轮和从动滚轮等。DLC涂层具有高硬度、表面平滑、低磨擦系数、易脱模、耐磨耗、耐酸碱、热导性佳及低温制程等特性。材料的高压冲刷与颗粒很难对其造成损伤,因而远比其它材料更适合应用在模具的保护上,大幅度地增加模具使用寿命。深圳高精密模具类金刚石应用
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