真空系统常用名称:(1)主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。(2)前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。(3)粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。(4)维持泵:在真空系统中,气量很小时,不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作,此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵,就是维持泵。电阻真空计的创新的面板设计,操作简单快捷。德州带控制型真空计厂家推荐
电阻真空计测量原理:(1)压缩式真空计其原理是在U型管的基础上再应用波义耳定律,即将一定量待测压力的气体,经过等温压缩使之压力增大,以便用U型管真空计测量,然后用体积和压力的关系计算被测压力。(2)热传导真空计,利用低压下气体热传导与压力有关这一原理制成。常用的有电阻真空计和真空计。(3)热辐射真空计,利用低压下气体热辐射与压力有关的原理。(4)电离真空计,利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离,产生的离子流随压力变化的原理。如热如热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放射性电离真空计。(5)放电管指示器,利用气体放电情况和放电颜色与压力有关的性质判定真空度,一般能作为定性测量。(6)粘滞真空计,利用低压下气体与容器壁的动量交换即外摩擦原理。如振膜式真空计和磁悬浮转子真空计。(7)场致显微仪,以吸附和解吸时间与压力的关系计算压力。(8)分压力真空计,利用质谱技术进行混合气体分压力测量。常用的有四极质谱计、回旋质谱计和射频质谱计。德州带控制型真空计厂家推荐电阻真空计按真空度刻度方法分类分为2类。
电阻真空计选用须知:1在设备要求的压强范围内,真空计是否有足够的测量精度;2被测气体是否会对真空计造成损伤;3真空计是否会对被测真空环境造成影响;4真空计所测压强是全压还是分压,是否已校准,是否与气体种类有关;5真空计能否实现连续测量,数值指示及反应时间如何。除此之外,在选择真空计时还会涉及到接口类型等。在多方面了解上述的几方面内容之后,就能知道如何选择合适的真空计了。低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。
热阴极电压真空计的故障的措施;检查电源插座有无供电电压;检查电源线或插头接线是否断路;检查电源部分(主要是电源变压器与整流器)是否短路,排除故障后更换保险丝;检查电源电压后更换指示灯或紧固灯座。更换规管;维修或更换相关部件;更换保险丝,检查和调整离子流测量放大器零位及过载保护灵敏度;维修或更换继电器;检修稳发射电路及其元件。检修电源变压器;检修集电极辅助电源;维修检测放大器和比较基准电路;更换有关元件。检修电源变压器;更换规管;清洗或更换规管;检测被测系统真空度;检查供电电压,采用交流稳压器供电。检修高压部分又无电压输出并更换有关元件。利用皮拉尼原理来测量真空度的热导传感器。
反磁控皮拉尼真空计的优点:复合真空计–将倒置的磁控管与皮拉尼测量范围广,从5x10-9毫巴到大气压,就不会出现单丝烧毁的现象,反磁控皮拉尼真空计明显的点火属性,反磁控皮拉尼真空计易于清洁。FPM或金属密封馈入装置,高压LED指示灯,对数模拟输出信号将多项技术融合到到一个带有对数模拟输出信号的单个紧凑数装置中,极大降低了安装、设置和集成的复杂性。真空度变化时反应不灵敏或指示不变。故障可能涉及原因:规管电阻丝污染;规管断丝、转换开关或管座接触不良;低频振荡电路产生高频振荡。电阻真空计控制器上的接口为一一对应,插错接口可能对设备造成损坏。杭州单路电阻真空表
真空计在测量结束后,应用夹子将真空橡皮管夹紧使用之与真空系统气体隔离。德州带控制型真空计厂家推荐
皮拉尼型真空计的应用范围以及他的性能特点:皮拉尼型真空计可以运用到各种各样的行业,应用范围奇迹的多方面,化学工业、电子与微电子领域、气相沉积(化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法,是半导体工业中应用较为多方面的用来沉积多种材料的技术,包括大范围的绝缘材料,大多数金属材料和金属合金材料。)、电子束焊接、真空冶金(真空冶金是在低于标准大气压条件下进行的冶金作业。可以实现大气中无法进行的冶金过程,能防止金属氧化,分离沸点不同的物质,除去金属中的气体或杂质,增强金属中碳的脱氧能力,提高金属和合金的质量。)。德州带控制型真空计厂家推荐
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