干涉仪技术参数:5D/6D标准型:
1.线性:0.5ppm.
2.测量范围:40米(1D可选80米)
3.线性分辨力:0.001um.
4.偏摆角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值
5.比较大范围:800角秒
6.滚动角精度:1.0角秒
7.直线度精度:(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值
8.直线度比较大范围:500um
9.垂直度精度:1角秒
10.温度精度:0.2摄氏度
11.湿度精度:5%
12.压力精度:1mmHg从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。 为展示IDS3010在测量短距离和长距离位移方面的优势。江苏模切尺寸激光干涉仪
升降变差
1.能耐受机械力作用的仪表、仪表正面部分比较大尺寸小于75MM的可携式仪表、正面比较大尺寸小于40MM的安装式仪表、用直流进行检验的电磁系和铁磁电动系仪表,其指示值的升降变差不应超过表7规定值的1.5倍。其它仪表的升降变差不应超过表的规定。
2.测定升降变差时,应在极性不变(当用直流检验时)和指示器升降方向不变的前提下,首先使被检表指示器从一个方向平稳地移向标度尺某一个分度线,读取标准表的读数;然后再从另一个方向平稳地移向标度尺的同一个分度线,再次读取标准表的读数,标准表两次读数之差即为升降变差。允许根据被检表读数之差测定升降变差,这时应维持被测量之值不变。测定仪表升降变差时应遵守规定,若被测之量连续可调,可与测定基本误差一同进行。 翘曲度激光干涉仪缺陷检测晶圆表面测量可以在各种各样的目标上进行测量。
干涉仪分双光束干涉仪和多光束干涉仪两大类,前者有瑞利干涉仪、迈克耳孙干涉仪及其变型泰曼干涉仪、马赫-秦特干涉仪等,后者有法布里-珀luogan涉仪等。干涉仪的应用极为guangfan。长度测量在双光束干涉仪中,若介质折射率均匀且保持恒定,则干涉条纹的移动是由两相干光几何路程之差发生变化所造成,根据条纹的移动数可进行长度的精确比较或juedui测量。迈克耳孙干涉仪和法布里-珀luogan涉仪曾被用来以镉红谱线的波长表示国际米。折射率测定两光束的几何路程保持不变,介质折射率变化也可导致光程差的改变,从而引起条纹移动。瑞利干涉仪就是通过条纹移动来对折射率进行相对测量的典型干涉仪。应用于风洞的马赫-秦特干涉仪被用来对气流折射率的变化进行实时观察。
在物理学家关于气体或其他有重物体所形成的理论观念同麦克斯韦关于所谓空虚空间中的电磁过程的理论之间,有着深刻的形式上的分歧。这就是,我们认为一个物体的状态是由数目很大但还是有限个数的原子和电子的坐标和速度来完全确定的;与此相反,为了确定一个空间的电磁状态,我们就需要用连续的空间函数,因此,为了完全确定一个空间的电磁状态,就不能认为有限个数的物理量就足够了。按照麦克斯韦的理论,对于一切纯电磁现象因而也对于光来说,应当把能量看作是连续的空间函数,而按照物理学家的看法,一个有重客体的能量,则应当用其中原子和电子所带能量的总和来表示。一个有重物体的能量不可能分成任意多个、任意小的部分,而按照光的麦克斯韦理论(或者更一般地说,按照任何波动理论),从一个点光源发射出来的光束的能量,则是在一个不断增大的体积中连续地分布的。探头安装 在线性导轨上,在一个轴上移动探头,而线性导轨则集成在一个桥中。
数控转台分度精度的检测:数控转台分度精度的检测及其自动补偿现在,利用ML10激光干涉仪加上RX10转台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置,以任意角度间隔进行全自动测量,其精度达±1。新的国际标准已推荐使用该项新技术。它比传统用自准直仪和多面体的方法不仅节约了大量的测量时间,而且还得到完整的回转轴精度曲线,知晓其精度的每一细节,并给出按相关标准处理的统计结果。知晓其精度的每一细节,并给出按相关标准处理的统计结果。 传感器头适用于极端环境: 低温和高温(比较高450°C),UHV兼容性, 强辐射(高达10MGy)和高磁场。翘曲度激光干涉仪缺陷检测
摆动,θx(Φ)和θy(Φ),它是通过组合两个XY-跳动误差水平计算出来的。 其中Φ是围绕Z轴的样本旋转。江苏模切尺寸激光干涉仪
半导体应变片:用于车辆等机械量测量的元件.半导体应变片是将单晶硅锭切片、研磨、腐蚀压焊引线,结尾粘贴在锌酚醛树脂或聚酰亚胺的衬底上制成的。是一种利用半导体单晶硅的压阻效应制成的一种敏感元件。利用半导体单晶硅的压阻效应制成的一种敏感元件,又称半导体应变片。压阻效应是半导体晶体材料在某一方向受力产生变形时材料的电阻率发生变化的现象(见压阻式传感器)。半导体应变片需要粘贴在试件上测量试件应变或粘贴在弹性敏感元件上间接地感受被测外力。江苏模切尺寸激光干涉仪