氦质谱检漏仪质量范围很宽,不但可检测氦气,而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不但解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同,分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。例如可通过采用改变分子泵转速来达到此目的,且提高检漏灵敏度。另外,逆扩散检漏方式,实现了高压强下检漏,也为正压吸检漏提供了良好的条件。氦质谱检漏仪现在已经渗透到航空航天、新能源、电子器件、阀门、电力、核电、制冷、家电等行业。氦质谱检漏仪的灵敏度可达10-12Pam3/s。江苏台式氦质谱检漏仪注意事项
氦质谱检漏仪质谱室故障及处理:1、灯丝无法正常启动,在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后,若灯丝仍无法发射离子流,则需要更换离子源。若灯丝指示灯闪烁,检查离子源航空插座与接线柱是否开路,若开路,需要更换灯丝,若不开路,检查其接线柱与其他接头是否导通,消除短路现象。2、本底信号处于杂乱无章的波动状态且大小远远超过氦质谱检漏仪故障自身的本底噪声,需要考虑放大器是否故障。质谱室出现故障一般用户无法解决,只需对故障进行定位,交由维修ZX处理。3、检漏键无效(绿色指示灯亮),检查灯丝是否启动。如果灯丝没有启动或者灯丝断,按检漏键将没有反应。江苏台式氦质谱检漏仪注意事项选择氦质谱检漏仪时灵敏度要能满足检漏的要求,国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的。
氦质谱检漏仪进展集中体现如下方面:1.智能化:以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助,而现在的触屏式,自动检测。2.便捷化:这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。3.自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。4.全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。5.检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,质量范围很宽,不只可检测氦气,而且能检测其它气体。
氦质谱检漏仪的结构组成:它通过质谱室的重点供电和测量,所以作为供电的重点部分,其中一部分属于真空部分,对这部分的重点检测要求非常高,通过检测中获得的检测数据输出形成重点装置。然后氦质谱检漏仪主要通过控制电流输出的大小,由于气密性检测仪离子流收集极接收到的离子流很小,必须放大后才能显示输出。通过交流放大器放大调制的离子流。输出信号由显示仪表和声音装置(扬声器)指示。低频发生器,低频发生器产生频率为5~7Hz,振幅为14~16V的调制电压,该电压叠加在加速电压上,实现离子流调制。高压整流器和发射电流稳定装置。发射电流稳定装置是调节灯丝加热电流,从而保持灯丝发射电流稳定,提高灵敏度。发射电流可以分几个档次进行有级调节,以改变仪器的灵敏度。高压整流器提供冷阴极磁控电源。真空规放电电流指示气体压力值,由仪器显示,其放电电流也作为继电保护的输入信号。当质谱检漏仪室真空度恶化时,放电电流增大,使继电器动作,然后切断灯丝加热电流,保护灯丝不被烧毁。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。
氦质谱检漏仪日常维护:1、定期更换灯丝,清洗冷规。2、定期更换机械泵油,适时对机械泵加油。3、如加液氮,需定期清洗冷阱。4、拆卸氦质谱检漏仪部件后,安装时要避免安装处出现泄漏。5、适时对氦质谱检漏仪可能出现的泄漏处(如放气阀)进行清洗,排除漏点。氦质谱检漏仪灵敏度降低怎么维护?先用较细的高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电极部件,这里不能用粗砂纸,因为粗砂纸容易损伤真空分析管道及离子源的各电极部件;然后用航空汽油或无水乙醇清洗,并用去离子水冲洗干净;较后用烘箱或电吹风进行干燥。整个清洗过程中需要注意,分析管道上的磁铁不能撞击、不能受热,否则可能导致磁铁退磁,使检漏仪的灵敏度降低。如果操作正确,经过清洗维护后的氦质谱检漏仪的灵敏度可比清洗前提高2~3倍。氦质谱检漏仪应在施工工作完成后进行本测试。江苏台式氦质谱检漏仪注意事项
选择氦质谱检漏仪时主要考虑的问题有哪些?江苏台式氦质谱检漏仪注意事项
氦质谱检漏仪的检漏方式:1、钟罩法——测总漏率,将被检件与仪器检漏口联接抽真空,在被检件外面罩以充满氦气的容器,如被检件有漏孔,氦气便由漏孔进入被检件,达到质谱管被检测。所测漏率是被检件的总漏率,不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。可以看出钟罩法是基于喷吹法的一种检漏方法。2、背压法——测总漏率,进行电子元器件气密性检测时常用背压法。检漏前用特定加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量),然后取出被检件,吹去表面吸附氦后放入特定检漏罐中,再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上,对检漏罐抽真空,实施检漏。若器件有漏,则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐,到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率。江苏台式氦质谱检漏仪注意事项
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