中高温气氛炉维修

本篇介绍专业全自动HMDS真空烤箱，首先简单介绍一下HMDS预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。气氛炉找哪家比较安心？合肥真萍不错。中高温气氛炉维修

中温气氛箱式炉主要用于磷酸铁锂正极材料等类似产品的高温烧结、热处理，下面为大家介绍一下中温气氛箱式炉的系统配置。一、热工系统1.额定温度800℃2.较高温度850℃3.加热元件陶瓷外丝加热管4.加热功率18kw5.空炉保温功率约9kw6.温区个数1个7.控温点数2点8.热偶K分度9.控温稳定度1℃(恒温平台)10.炉膛温度均匀度6℃（恒温800℃,1h）二、冷却系统1.冷却结构无2.产品降温随炉降温3.安全保护4.报警指示超温、断偶、停水、停气等声光报警保护5.设备安全升温速率≤5℃/min宿迁气氛炉保养合肥真萍告诉您气氛炉的应用范围。

各种气氛炉的密封性要求高，装，出料操作过程复杂，要求一台炉子多用，大批量生产时，多组成大型联合热处理或者两用以上的机组，因而要求有较高的机械化，自动化程度，为了保证气氛的稳定性，气氛炉可分为马弗炉和无马弗炉两种，马弗炉的火焰在马弗外，工件在马弗内进行间接加热；无马弗炉采用各种火焰辐射管或者电辐射管，将火焰或者电热体与炉气隔开，以免破环炉内气氛的稳定。还原气体和空气混合达到一定混合比，在一定温度下易引起，故对炉子的前，后室，淬火室以及缓冷室等均设有防爆装置，炉子供气和排气的控制系统也要有防爆措施。

真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex阿摩利亚气体)破坏，解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线，解决液晶的受潮问题，解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜的过滤系统。1.EBM电子式EC马达控制无尘室FFU。2.镜面不锈钢结构体。3.特殊导流风道设计，风压平均，可有效提供风量，降低噪音。4.电路板控制模块，提供安全保护装置，运转异常指示灯及控制干接点输出。5.无段式风量调速器可任意调整风量大小。6.滤网ULPA，0.12μm，99.9995%以上的过滤效果。7.电力规格：单相220V50Hz0.95A，输出功率150W。气氛炉的运作原理是什么？

下面为大家介绍一下全自动HMDS真空烤箱的整机尺寸、真空腔体尺寸。1.内胆尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.载物托架：2块3.室温+10℃-250℃控温范围：温度分辨率：0.1℃温度波动度：0.5℃4.真空泵：油泵或无油真空泵。真空度：133pa，5.加热方式：腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板（防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态）6.可放2寸晶圆片或4寸晶圆片；6寸晶圆片；8寸晶圆片等。7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间（正常工艺在50分钟-120分钟（按产品所需而定烘烤时间），为正常工作周期不含降温时间（因降温时间为常规降温）。寻找气氛炉非标定制厂家，就来合肥真萍科技！舟山气氛炉参考价格

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中温气氛箱式炉主要用于磷酸铁锂正极材料等类似产品的高温烧结、热处理，下面为大家介绍一下中温气氛箱式炉的系统配置。

一、热工系统

1.额定温度800℃

2.较高温度850℃

3.加热元件陶瓷外丝加热管

4.加热功率18kw

5.空炉保温功率约9kw

6.温区个数1个

7.控温点数2点

8.热偶K分度

9.控温稳定度1℃(恒温平台)

10.炉膛温度均匀度6℃（恒温800℃,1h）

二、气氛系统

1.炉膛气氛，两路氮气，流量计量程为2～20L/min；每路流量可调节

2.排气系统在炉膛顶部设置一个排气囱，用于废气排放，废气

3.经过水封清洗后进入大气中，减少对环境污染

4.氧含量配氧含量分析仪分析氧含量：

5.高温状态氧含量≤10ppm+气源氧含量

6.低温状态氧含量≤50ppm+气源氧含量 中高温气氛炉维修

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