CMP(化学机械抛光)工艺中磨料颗粒的高精度粒径表征随着半导体工业飞速发展,电子器件尺寸缩小,要求晶片表面平整度达到纳米级。CMP工艺作为芯片制造业不可或缺的一个部分,其对于磨料的颗粒粒度表征要求十分重要。CMP过程中使用的磨料颗粒典型尺寸范围是10-200nm,其颗粒表征要求精确地确定纳米级颗粒的尺寸,因此高分辨率纳米粒度分析仪是磨料颗粒表征的完美解决方案。磨料对CMP工艺起着至关重要的作用!欢迎选用CPS纳米粒度分析仪为您完美解决磨料颗粒问题!驰光机电科技以诚信为根本,以质量服务求生存。辽宁CPS高精度纳米粒度分析仪报价
PEDOT是EDOT(3,4-乙撑二氧噻吩单体)的聚合物,PEDOT具有高电导率、高度的环境稳定性、对可见光具有高透过率等特点,大量用于光伏、电容器、电致变色、触摸屏等行业,用来制作抗静电涂层、OLED(有机电激发光二极管)、有机薄膜太阳能电池材料、电极材料、电化学生物传感器等。PEDOT及其复合材料,比如PEDOT/PSS(聚乙撑二氧噻吩和聚苯乙烯磺酸根阴离子的化学聚合物)的粒度大小和粒度分布与其导电性能相关。CPS纳米粒度分析仪可以提供确切稳定的测量分析,有助于终产品导电性能的评价。CPS纳米粒度分析仪测定PEDOT/PSS得到的结果,粒径为0.022微米(仪器使用转速为24,000转/分钟)。青海高灵敏度纳米粒度分析仪报价驰光机电科技有限公司深受各界客户好评及厚爱。
而CMP工艺离不开研磨料的发展,那么对于磨料的颗粒粒度表征就显得尤为重要了。CMP就是用化学腐蚀和机械力对加工过程中的硅晶圆或其它衬底材料进行平滑处理。将硅片固定在抛光头的较下面,将抛光垫放置在研磨盘上,抛光时,旋转的抛光头以一定的压力压在旋转的抛光垫上,由亚微米或纳米磨粒和化学溶液组成的研磨液在硅片表面和抛光垫之间流动,然后研磨液在抛光垫的传输和离心力的作用下,均匀分布其上,在硅片和抛光垫之间形成一层研磨液液体薄膜。
能够允许用户为不同样品设置标准测量方法SOP,并且可以对SOP进行编辑和保存。EyeTech 是一个模块化的系统,可以选配10种不同的测量池。更换测量池简便快速,仪器便于分析各种颗粒,如液相、乳化液、干粉、纤维、磁粉、加热的液体和气溶胶等。这些测量池模块都是配合不同的分析方法而开发的,确保能够根据样品的特性来测量。纤维测量池:ACM-104L,气溶胶测量池ACM-106,微流量测量池ACM-108,载玻片测量池ACM-110,加热测量池ACM-111,自由落体测量池ACM-112。在每一次分析过程中,激光光束与颗粒之间发生了上百万次的交互作用。驰光是多层次的团体与管理模式。
为了提高粒径的测量精度,需要较高的圆盘转速,目前市面上常见的运行速度较高在15000RPM,而国内在1500RPM,无法满足CPM化学机械抛光的需求。CPS-24000纳米粒度仪的最高转速为24000转,测试范围在5nm-75um,每次加样只需要0.1ml,降低样液的测试成本,可连续测量多达40个样品。CPS纳米粒度分析仪的使用方法已经列入国标,包括《金属粉末粒度分布的测量-重力沉淀光透法》、《煤矿粉尘粒度分布测定方法》、《橡胶配合剂-炭黑-聚集体尺寸的测定-使用光跟踪盘式离心沉淀仪法》等。驰光拥有业内专业人士和高技术人才。青海高灵敏度纳米粒度分析仪报价
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测量低密度颗粒:示差沉降法过去一般用于测量密度大于分散介质液体密度的颗粒,CPS开发了一项新的技术技术(US Patent5,786,898)。很多用常规示差沉降法很难或者不可能分析的材料(例如油乳液、蜡乳液、粘性乳液或脂质体),现在可以方便地使用CPS进行分析,而且精度很高。速度调节:CPS开发了一种特殊的圆盘设计使得在分析过程中可以调节圆盘的转速,而不会对沉降液体产生扰动,转速可以在20倍范围内升高或者降低,这样一来就使得分析的动态范围几乎增大了20倍。辽宁CPS高精度纳米粒度分析仪报价
山东驰光机电科技有限公司拥有机电科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务;机电设备、仪器仪表设计、生产、销售;阀门、换热器设备销售。公司生产销售分析仪表,引进德国技术和零配件完全原装进口,高标准生产。产品为浊度分析仪, 色度分析仪,浓度分析仪,水中油分析仪,油中水分析仪,微量水分析仪,适用于压力比较高 325bar,温度比较高 240℃的场合。等多项业务,主营业务涵盖分析仪,在线监测,在线分析,流量计。公司目前拥有较多的高技术人才,以不断增强企业重点竞争力,加快企业技术创新,实现稳健生产经营。公司以诚信为本,业务领域涵盖分析仪,在线监测,在线分析,流量计,我们本着对客户负责,对员工负责,更是对公司发展负责的态度,争取做到让每位客户满意。公司力求给客户提供全数良好服务,我们相信诚实正直、开拓进取地为公司发展做正确的事情,将为公司和个人带来共同的利益和进步。经过几年的发展,已成为分析仪,在线监测,在线分析,流量计行业出名企业。
环保分析仪:用于环境监测和污染源的检测,如水质分析仪、气体检测仪等。食品安全分析仪:用于食品安全检测和质量控制,如农药残留检测仪、食品添加剂检测仪等。工业分析仪:用于工业生产中的质量控制和成分分析,如石油化工分析仪、煤炭分析仪等。根据自动化程度分类:手动操作分析仪:需要人工操作和样品制备的分析仪,如分光光度计、滴定仪等。自动分析仪:能够自动完成样品检测和分析过程的仪器,如自动生化分析仪、自动电泳仪等。根据结构特点分类:台式分析仪:体积较大,功能齐全的分析仪,如气相色谱-质谱联用仪、原子吸收光谱仪等。驰光机电尊崇团结、信誉、勤奋。青海高纯度氧化铝粉粒度在线分析仪价格便携式分析仪:体积较小,便于携...