氦质谱检漏仪正压法原理：采用正压法检漏时，需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中，再采用吸口的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量，从而实现被检产品泄漏测量。按照收集氦气方式的不同，又可以将正压法分为正压吸口法和正压累积法。其中正压吸口法采用检漏仪吸口对被检产品外表面进行扫描探查，可以实现漏孔的精确定位; 正压累积法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，采用检漏仪吸口测量一定时间段前后的氦罩内氦气浓度变化量，实现被检产品总漏率的精确测量。正压法的优点是不需要辅助的真空系统，可以精确定位，实现任何工作压力下的检测。氦质谱检漏仪检测的介质比较常用，只需压缩空气即可。安徽小型氦质谱检漏仪售后服务
氦质谱检漏仪可以切实提高汽泵小机真空系统的检漏效率，使用方法：把氦质谱检测仪与汽泵机组的真空系统连接，采取从真空系统外部对疑漏部位喷吹氦气的方法来检测该部位的漏率。在运行中真空泵的汽水分离器排气口处放置氦质谱检漏仪的探测口，将一定量的氦气释放于真空系统的焊缝、管路接头、法兰和阀门等可能泄漏的地方，通过观察仪器上的漏率显示数据区间来判断该位置是否存在泄漏，通过漏率数值大小确认该位置泄漏程度。通过氦质谱检漏试验，运行人员精确迅速找到机组真空漏点并及时联系相关部门进行安全有效处理，切实提高了机组的经济性和安全性。杭州模块式氦质谱检漏仪生产厂家氦质谱检漏仪测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。
氦质谱检漏仪虽然是因为选用氦气作为示漏气体而得名，但实际上涉及的示漏气体包括氦气、氢气等，主要的是氦气。而之所以选择氦气作为主要的示漏气体，原因主要有以下几点：1、氦气的质量轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。2、氦离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，利于离子分离，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中氦离子通过的各个缝隙，从而提高氦离子的传输率。3、氦在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中氦气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。
氦质谱检漏仪中氦质谱检漏系统的关键部件均为进口，性能稳定可靠。修长的体积，优越的性能，适用于众多行业。运用了氦质谱和逆扩散原理,采用了原装进口分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术，实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换,具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰能力强等特点。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪特点：1.检测时间和响应周期非常短，可以达到2s以内；2.检测的介质比较常用，只需压缩空气即可；3.多种大漏保护模式，充分保护离子源不被氧化和暴漏大气时分子泵不被冲击。在使用氦质谱检漏仪对产品检漏前首先要对工件的结构和制造工业有所了解。
氦质谱检漏仪真空法原理：采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其中真空喷吹法采用喷口的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的精确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。真空法的优点是检测灵敏度高，可以精确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。氦质谱仪的泄漏检测方法通常有两种，一种是常规泄漏检测，另一种是反向扩散泄漏检测。无锡分体式氦质谱检漏仪定制
氦质谱检漏仪运用了氦质谱和逆扩散原理,采用了原装进口分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术。安徽小型氦质谱检漏仪售后服务
氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3/s，普遍地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声明显减小.其灵敏度可达10-14～10-15Pam3/s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点，适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3/s。安徽小型氦质谱检漏仪售后服务
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