检漏仪的应用特点:(1)便携式:各国推出的小型便携式检漏仪不但灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。(4)全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。(5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,质量范围很宽,不但可检测氦气,而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不但解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同,分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。检漏仪可以通过设备的运转情况精确的了解泄漏的概率和存在的情况。检漏仪使用方法
检漏仪的检漏原理:利用氦气是比氢气小的第二轻的惰性气体,氦气在自然状态下会向上垂直扩散,在被检测的管道中注入氦气。如果这些设备有漏点,那么我们就能通过监测仪器探测到有氦气在管道外部。这就是管道中氦气检漏的方法。对于一些高精尖的细小电子元件,氦气怎么检漏呢?将要检测的元件放入充满氦气的容器中并且加压。在压力的作用下,如果这些元件存在漏点,必然会有氦气通过 这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留氦气吹扫干净之后,再利用质谱仪检测元件表面泄露的氦气。常州小型检漏仪多少钱检漏仪中使用防返油阀主要是防止机械泵中的油。
我们应该如何选择氦质谱仪呢?仪器的灵敏度可满足检漏检测要求。国内、国外制作的不同型号检漏仪的灵敏度都不一样,如果要求检漏灵敏度比较高,要认真选择。被检件若怕油污,应选用无油真空系统检漏仪。被检件的体积如较大,必须选择预抽泵抽速大的检漏仪,否则就加预抽泵。若检测对象不固定,体积大时小,灵敏度要求高时低,就需要选择功能较全、灵敏度更高、检漏范围广的检漏仪。若检漏点不固定,需经常搬运仪器,应选用小型便携仪器。在满足上述检漏基本要求的基础上,还应考虑仪器的价格是否低、操作是否简便、维护方便等问题。
检漏仪的整体结构有哪些?电气系统,氦质谱仪电气部分的重点是质谱室的供电和测量,其他部分包括真空系统的电源与控制部分,操纵面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。辅助真空系统的配置,在氦质谱仪检漏技术中,根据被检件的结构,尺寸要求和具体的检漏条件,设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、进行的气体分流、缩短反应时间和清理时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统,在某些条件下是非常必要的。检漏仪可采用干式泵达到无油蒸气的效果。
检漏仪的本底漏率值是什么?底值是指由所处环境所形成的较稳定的辐射水平或声量,由于氦气在空气中的体积含量约为5ppm,5.24×10-6,也就是百万分之五左右,这说明正常空气环境中氦气的含量很小,即氦本底很好。这也是用氦气作为示踪气体的重要原因之一。只有在空气中含量尽可能少的气体,才能满足检漏灵敏度方面的要求。在材料出气中也很少,因此本底压力小,输出的本底电流也小. 正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来。本地高一般都是泄漏的原因,建议检查阀有没有内漏,试试增加清扫气体的压力,但是也不能过高,因为会影响抽空效率。另外检漏时切勿将大量的氦气通进仪器,避免本底太大,难以清理。检漏仪的整体结构有哪些?无锡无损检漏仪多少钱一台
使用中尽量将预置真空开关空挡可以有效延长检漏仪的灯丝寿命。检漏仪使用方法
关于检漏仪的一些知识点:仪器的反应时间及清理时间,仪器的反应时间是质谱检漏仪的主要性能指标之一。检漏时,当氦气刚刚喷及漏孔处,即使不考虑氦气通过漏孔的时间,也不可能立即引起质谱室中氦分奢的急剧变化,也就是说不会立即引起输出电流的急剧变化,而要有一个过程。假定漏孔漏率为QHe,质谱室处对氦的抽速为SHe,质谱室至被检容器间的总容积为V,那么在dt的时间内漏入的氦气量为QHedt。它的一部分被抽走,另一部分在质谱室中建立起氦分压pHe(不包括本底)。被抽走的氦量为pHeSHedt,使质谱室容积V内氦压力升高dpHe时的氦量为VdpHe。因此有等式两边除以dt,并经移项整理后得到。检漏仪使用方法
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