氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪不会受到主观因素判断的影响。移动式氦检仪费用
使用氦检仪需注意哪些问题?响应时间与清理时间:正常运行的仪器响应时间与清理时间不应大于3s。氦检仪的响应时间会影响检漏工作的速度:检漏时喷有在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间,即为两次喷氦的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,该间隔时间也越长。根据经验,两次喷氦的较小间隔时间控制在30s,如果第1次喷氦后30s内氦检仪还没有反应,则可进行第二次喷氦。仪器的清理时间在理论上与响应时间相同,但由于仪器零件对氦的吸附和脱附作用的影响,清理时间一般要更长些。另外,喷氦量的多少也影响清理时间的长短,喷氦时喷头移动速率合理,可以缩短仪器的清理时间,提高检漏效率。真空氦检机多少钱氦检仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。
氦质谱检漏仪的泄漏测试后如果泄漏检测气体排放到泄漏检测区域,背景浓度将在整个工作日持续增加。此外,在加注或排放过程中,确保没有气体溢出,并定期检查连接件是否有泄漏。氦质谱检漏仪以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。影响氦质谱检漏仪灵敏度的因素包括实际检测条件、辅助真空系统以及操作人员的技术等多方面。氦质谱检漏仪如何选择检漏方式,与检测对象的工作环境有很大关系,尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压,则用正压模式,如检测对象工作时内部处于负压,则用真空模式。
氦检仪开机如何操作?1、将总电源转到“前级泵”,低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa,开抽速阀,开漏孔开关,表头示值也应能抽到原来位置,再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”,灯亮,扩散泵开始加热。3、等20分钟左右,扩散泵排气管应热,开冷规开关,“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀,过几分钟后开冷规,表头指针应从左打向右,再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规,可等一会儿再开),当真空示值超过1×10-2Pa后,可启动灯丝,灯亮,“发射电流”有指示,开、关漏孔检查氦检仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda),灵敏度达要求后关漏孔。将工件用外接泵抽上真空后,开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间,对工件喷氦检漏。检漏完,关节流阀。氦检仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体,所以安全可靠。
氦质谱检漏仪换灯丝步骤:当冷规指针已过1×10-2Pa,按灯丝启动,灯很亮,发射电流无指示,量离子源插头①②足不通,即为灯丝断,灯丝寿命一般正常使用为1至3个月。1、停机换灯丝:可直接取下离子源更换灯丝,装好后按正常开机步骤进行。2、不停机换灯丝:关冷规,关抽速阀,取离子源插头,取下离子源,更换灯丝后装上离子源,插离子源插头,此时“加速电压”示值不应有变化,“发射电流”示值应为零。如其中有一示值与上不符,则是离子源内有短路,应取下排除。将阀开关由“前置”转向“粗抽”(注意:阀开关在“粗抽”的时间不要超过五分钟),全开节流阀,等真空抽上后,关闭节流阀,将“粗抽”转向“前置”,开抽速阀,开冷规,等真空过1×10-2Pa后可启动灯丝,调氦峰。氦质谱检漏仪的的可检漏率为10-12Pa·m3/s。自动氦检机多少钱一台
氦检仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。移动式氦检仪费用
氦质谱检漏仪的灵敏度,通常指仪器的可检漏率。氦质谱检漏仪主要技术指标:1.可检漏率:5×10-12Pa·m3/s;2.漏率显示范围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s;3.启动时间:≤5min;4.响应时间:≤1s;5.检漏口的压力:1500Pa;6.电源要求:220v,50Hz,单相,10A;7.工作环境:5-35℃;8.相对湿度:≤80%;9.外形尺寸:550(w)×400(D)×780(H);10.重量:64kg。使用环境:环境温度:5~35℃;相对湿度:<80%;供电电压:单相交流220V±10%,50Hz工作电流:10A。移动式氦检仪费用
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