检漏仪的整体结构:一、质谱室,形象的说，质谱室是检漏仪的心脏，由离子源、分析器和电气系统三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大，将一级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置成磁铁形成磁分析器的磁场。二、真空系统,真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度较高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。检漏仪检漏法是利用氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。安徽推车式检漏设备
检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声，目前设备电子线路和电子元件的改进，使得电路噪声已经降得很低，因此检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的，主要形成的原因包括：一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气，而电离规，特别是磁放电真空规对氦有记忆效应，其表面污染时就更为严重。三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。四、检漏仪中空气的本底影响。五、残余气体分子对离子的散射作用。六、灯丝和其他电极受机械振动引起的效应。真空衰减法检漏设备厂家氦质谱检漏仪中都有检测器，一般检测的寿命越长越好。
检漏仪噪声是哪儿来的？高灵敏度检漏仪的噪声来源大体上可以分为两种，一个是离子流接收放大机输出电路的噪声，另一个就是本底噪声。而本底噪声则是由本底峰的不稳定造成，与本底的大小以及电磁场参数的稳定度有关，具体的包括：1、离子源发射电子流的不稳定性，加速电压、分析器电磁参数的不稳定性；2、氦气在真空系统内的吸附和再放出（如真空油脂、人造橡胶、有机绝缘材料都可以吸附和再放出氦气），电离真空计特别是磁放电真空计对氦气的记忆效应（被污染的情况下更为严重）；3、抽气系统中氦气的反扩散与对氦气抽速的不稳定性；4、检漏仪本身漏气和氦气的渗透；5、残余气体分子对氦离子的散射等等。这些因素对本底噪声及灵敏度的影响都很大。
氦质谱检漏仪的校准方法：1、标准漏孔校准氦质谱检漏仪方法，采用标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准，将一系列经过校准的不同量级标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪系统，实验室温度保持在23±1℃，可以读出一组标准漏孔漏率的检漏仪示值，从而得到标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线，并通过对这条曲线进行数学拟合，得到氦质谱检漏仪全量程测量范围示值与漏率值之间的拟合公式。2、校准仪器的选择，为了满足氦质谱检漏仪现场校准，便于携带，真空标准漏孔选用薄膜渗氦型标准漏孔。薄膜渗氦型标准漏孔具有对污染不敏感；漏率可以做得很小；重复性、稳定性等计量特性好；对温度变化敏感，使用需要对漏率温度修正等特点。氦质谱检漏仪的反应时间短，可以提高工作效率。
检漏仪的检漏原理：利用氦气是比氢气小的第二轻的惰性气体，氦气在自然状态下会向上垂直扩散，在被检测的管道中注入氦气。如果这些设备有漏点，那么我们就能通过监测仪器探测到有氦气在管道外部。这就是管道中氦气检漏的方法。对于一些高精尖的细小电子元件，氦气怎么检漏呢？将要检测的元件放入充满氦气的容器中并且加压。在压力的作用下，如果这些元件存在漏点，必然会有氦气通过 这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留氦气吹扫干净之后，再利用质谱仪检测元件表面泄露的氦气。检漏仪在各个领域的应用有三种关键检漏方法，即正压吸口式、真空泵检漏、工作压力真空泵检漏。上海移动式检漏仪原理
应定期更换氦质谱检漏仪的泵油，适时对机械泵加油。安徽推车式检漏设备
关于检漏仪的一些知识点：仪器的反应时间及清理时间，仪器的反应时间是质谱检漏仪的主要性能指标之一。检漏时，当氦气刚刚喷及漏孔处，即使不考虑氦气通过漏孔的时间，也不可能立即引起质谱室中氦分奢的急剧变化，也就是说不会立即引起输出电流的急剧变化，而要有一个过程。假定漏孔漏率为QHe，质谱室处对氦的抽速为SHe，质谱室至被检容器间的总容积为V，那么在dt的时间内漏入的氦气量为QHedt。它的一部分被抽走，另一部分在质谱室中建立起氦分压pHe（不包括本底）。被抽走的氦量为pHeSHedt，使质谱室容积V内氦压力升高dpHe时的氦量为VdpHe。因此有等式两边除以dt，并经移项整理后得到。安徽推车式检漏设备
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