氦质谱检漏仪的结构:1、质谱室,形象的说,质谱室是氦质谱检漏仪的心脏,由离子源,质量分析器和离子检测器三个部分组成,并将冷阴极磁控规也放在其内,共用其磁场。2、真空系统,真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度,同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率,因此建立一个高真空系统是必要的。3、电气系统,氦质谱仪电气部分的中心是质谱室的供电和测量,其他部分包括真空系统的电源与控制部分,操纵面板及输出仪表等。要保持氦质谱检漏仪的干燥,严禁接触水,并避免直接接触腐蚀性液体。泰州真空氦气检漏仪
氦质谱检漏仪的电气部分:1、离子源电源。为离子源提供加速、聚集、拒斥电压。2、发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。3、离子流放大器和单响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。4、真空测量电路。一般用热偶计测量低真空,用冷阴极磁控放电真空计测量高真空。5、灯丝保护电路。当质谱室正常工作压力被破坏后,立即切断灯丝供电回路,以保护灯丝。6、其他电路。不同型号的氦质谱检漏仪所具有的功能不尽相同,所以电路也有不少差别,这在各自的说明书中都有说明。浙江多功能检漏仪工作原理氦质谱检漏仪能适合各种检漏方法的要求,以满足各种各样的检漏应用。
掌握和了解氦质谱检漏仪常见故障的维修技术,有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种,将质谱仪用于检漏技术是质谱仪在真空密封检测技术中的重要应用。前级泵继续对检漏接口抽真空,当P1降至20Pa时,入口阀2关闭,入口阀3打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的可检漏率为10-12Pa·m3/s。氦质谱检漏仪的保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。灵敏度、反应时间、消除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。
氦质谱检漏仪质谱室故障及处理:1、灯丝无法正常启动,在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后,若灯丝仍无法发射离子流,则需要更换离子源。若灯丝指示灯闪烁,检查离子源航空插座与接线柱是否开路,若开路,需要更换灯丝,若不开路,检查其接线柱与其他接头是否导通,消除短路现象。2、本底信号处于杂乱无章的波动状态且大小远远超过氦质谱检漏仪故障自身的本底噪声,需要考虑放大器是否故障。质谱室出现故障一般用户无法解决,只需对故障进行定位,交由维修ZX处理。检漏仪可以应用于消防器材钢瓶检漏。
为什么要使用氦质谱检漏仪进行检漏?很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力作用时,流进或流出这个空间,如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。对于不同的目的,可以选择不同的检漏仪来完成漏检任务。金华自动检漏仪
避免电离室泄入有害气体可以有效延长检漏仪的灯丝寿命。泰州真空氦气检漏仪
氦质谱检漏仪使用液氮步骤:1、加液氮:在冷规指针过1×10-2Pa以后,加入液氮。2、停机前必须将残余液氮排除后,才能关机:关机前先关“冷规”,关抽速阀,将总电源转到“前级泵”,将冷阱内残余液氮排出,再加入热水,等20分钟左右,扩散泵已冷,将总电源转到“关”。3、加液氮时应注意防护,加液氮每次不一定加满,使用中如不够,可再加。4、第二天(或定期)将液氮冷阱取下,清洗冷阱内、外筒,再用吹风吹干,安装好后按正常程序开机。适时对氦质谱检漏仪可能出现的泄漏处(如放气阀)进行清洗,排除漏点。泰州真空氦气检漏仪
上海妤林真空设备技术有限公司成立于2020-06-11年,在此之前我们已在氦气检漏仪,氦气回收系统,检漏仪,氦检仪行业中有了多年的生产和服务经验,深受经销商和客户的好评。我们从一个名不见经传的小公司,慢慢的适应了市场的需求,得到了越来越多的客户认可。公司主要经营氦气检漏仪,氦气回收系统,检漏仪,氦检仪,公司与氦气检漏仪,氦气回收系统,检漏仪,氦检仪行业内多家研究中心、机构保持合作关系,共同交流、探讨技术更新。通过科学管理、产品研发来提高公司竞争力。公司秉承以人为本,科技创新,市场先导,和谐共赢的理念,建立一支由氦气检漏仪,氦气回收系统,检漏仪,氦检仪**组成的顾问团队,由经验丰富的技术人员组成的研发和应用团队。上海妤林真空设备技术有限公司以诚信为原则,以安全、便利为基础,以优惠价格为氦气检漏仪,氦气回收系统,检漏仪,氦检仪的客户提供贴心服务,努力赢得客户的认可和支持,欢迎新老客户来我们公司参观。