氦质谱检漏仪真空系统一般包括：1、主泵：一般用护散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-4Pa，其抽速应导气载匹配。2、前级真空泵：一般采用旋片式机械真空泵，在以分子泵为主泵的系统中也有采用薄膜泵或干泵的。极限压力小于1×10-1Pa，抽速导主泵匹配。3、预抽真空泵：一般与前级真空泵共用一个泵，也有特定预抽真空泵的。预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵，其抽速视被检件大小而定，因此预抽真空泵大都由用户自配。4、真空规：一般采用冷阴极磁控放电直空规(潘宁规，又称冷规)来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。应定期更换氦质谱检漏仪的泵油，适时对机械泵加油。南京气密性检漏仪注意事项
检漏仪漏率校准数据处理：漏率示值误差，漏率的温度修正标准漏孔漏率易受温度变化影响，温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃，所以如果实际环境温度和标准漏孔证书中温度不一致，需要将标准漏孔证书中漏率和标准漏孔漏率的检漏仪示值修正至同一环境温度下来计算，并在测试结果中加以说明，修正方法如下：方法一：将标准漏孔证书中的漏率修正至实际环境温度下，用标准漏孔证书中的漏率加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值；方法二：将标准漏孔漏率的检漏仪示值平均值修正至标准漏孔证书中环境温度下，用标准漏孔漏率的检漏仪示值平均值加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值。此方法对检漏仪漏率部分进行校准，方法简单明了，便于实际应用，可操作性强，可以满足检漏仪漏率性能和使用要求，保证了检漏仪漏率量值准确可靠。苏州推车式检漏机质谱室是检漏仪的重点部分，它包括离子源、聚焦、质量分析器和测量部分。
氦质谱检漏仪的检漏地点如果不固定，需要经常搬运氦质谱检漏仪时，就要选择小型便携式仪器。在满足上述检漏基本要求的基础上，还要综合考虑氦质谱检漏仪的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。可采用主机与前级泵单独采买，前级泵可使用油封式旋片泵或涡卷式干泵，对于便携式氦质谱检漏仪，既可选择带有连接配件的主机形式，也可选择安装在两轮小车上的整体形式。在坚固耐用方面的革新设计，使得全自动氦质谱检漏仪能适应各种恶劣的工业环境。适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏。
为什么要使用氦质谱检漏仪进行检漏？很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力作用时，流进或流出这个空间，如真空设备(真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等)，需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱的雪种容器等等)，要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。使用检漏仪要遵照检漏仪的操作说明操作，直至达到可以检测的状态。
氦质谱检漏仪使用液氮步骤：1、加液氮：在冷规指针过1×10-2Pa以后，加入液氮。2、停机前必须将残余液氮排除后，才能关机：关机前先关“冷规”，关抽速阀，将总电源转到“前级泵”，将冷阱内残余液氮排出，再加入热水，等20分钟左右，扩散泵已冷，将总电源转到“关”。3、加液氮时应注意防护，加液氮每次不一定加满，使用中如不够，可再加。4、第二天(或定期)将液氮冷阱取下，清洗冷阱内、外筒，再用吹风吹干，安装好后按正常程序开机。适时对氦质谱检漏仪可能出现的泄漏处(如放气阀)进行清洗，排除漏点。检漏仪可以通过设备的运转情况精确的了解泄漏的概率和存在的情况。真空衰减法检漏设备哪家好
检漏仪在使用前需要采用标准氦校准漏孔进行校准，该标准漏孔必须经过计量校准过的。南京气密性检漏仪注意事项
如何正确使用氦气检漏仪？ 1.为了正确使用氦气检漏设备，在充入检漏气体前有必要对抽空样品进行预抽空。如果在填充前没有排空，试件中的空气将被挤压到几何空间的末端，氦气检漏设备中的气体不能进入该部分，因此潜在的检漏孔将只释放空气，检漏设备不能检测到这些检漏孔。2.氦气检漏设备的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在检漏气体试验前放在水箱中，这些泄漏孔或毛细管会被水堵塞或充满，从而大幅影响检漏结果。3.在填充检漏气体之前，有必要快速测试是否有大的泄漏。对大泄漏孔的一个简单测试方法是在短时间内抽空样品并观察抽空压力。如果样品能够保持抽空压力，则表明没有大的泄漏孔，可以填充泄漏检测气体。南京气密性检漏仪注意事项
上海妤林真空设备技术有限公司在氦气检漏仪，氦气回收系统，检漏仪，氦检仪一直在同行业中处于较强地位，无论是产品还是服务，其高水平的能力始终贯穿于其中。上海妤林真空是我国仪器仪表技术的研究和标准制定的重要参与者和贡献者。公司承担并建设完成仪器仪表多项重点项目，取得了明显的社会和经济效益。将凭借高精尖的系列产品与解决方案，加速推进全国仪器仪表产品竞争力的发展。
