氦检仪具有性能稳定、灵敏度高的特点。灵敏度、反应时间、清零时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦检仪的主要性能指标。检测气体使用氦气的主要原因如下：(1)对人体和自然环境没有毒害；(2)不能燃烧，作业安全；(3)惰性气体，和被检测对象不会发生化学反应；(4)分子直径和质量小，容易穿过微小缝隙，便于检漏；(5)通常环境下保持气体状态，不会堵住微漏孔；(6)真空腔体自身放出的气体中几乎不包含氦气；(7)氦气在空气中的存在量只为5ppm，容易定点查清漏气位置。由于氦气比空气轻很多，向真空腔体喷氦气检漏时要从上往下依次操作，否则不利于判定漏点所在。当腔体构造复杂，或漏率极小时，可针对重点部位用塑料袋套住，然后向塑料袋内部充入氦气，实现对特定重点部位的检漏。为尽量消除氦质谱检漏仪的本底噪声，需要针对性的采取措施。分体式氦气检测机费用
氦检仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、定位定量准确等优点而被普遍应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。氦检仪在使用过程中，往往会因为产生的一些故障或是现象，而影响检漏工作的正常进度，若对其置之不理还会危及氦检仪的使用寿命。其中的有些故障或现象是使用者能够及时解决或避免的，掌握和了解氦检仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。氦检仪热管检漏：热管需要检漏原因：热管内部填充特殊液体用来增强热传导性能，如果热管本身存在漏点，首先会影响热管的导热性能；其次由于热管都是安装在设备内部，如果发生泄漏，里面封装的液体就会流出，严重污染和影响设备的正常运转，所以热管生产企业，都会采用氦检仪对热管进行检漏。移动式氦检设备价格不同型号的氦检仪其真空系统有较大的差别。
氦检仪的基本原理是采集被检件中的气体将其电离，根据不同种类气体离子质荷比不同的特点，利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器只对示漏气体氦气有相应信号，而对其他气体没有反应，属于唯1性氦检仪器。检漏过程中，一旦出现信号，就说明有氦气通过漏孔进入被检件，从而指示出漏孔的位置与大小。而之所以选择氦气作为示漏气体，主要是因为氦质量轻，易于穿过漏孔，扩散快，对分析设备制造的要求相对简单；同时氦气在空气中含量少，本底压力小，又为惰性气体，不易发生反应等等，都为提高仪器灵敏度创造了条件。
氦检仪在使用过程中，较常见的故障就是灯丝脆断，氦检仪灯丝多采用钨铼合金丝制作。氦检仪灯丝寿命如何延长？造成氦检仪灯丝脆断的原因：1.真空度低；2.灯丝电流过大；3.对灯丝有害的气体气压太高（氧化性气体、水蒸气、氢气）。那么，在使用中尽量避免灯丝在上述恶劣环境下长时间开启，或者说尽量提高灯丝的上述使用条件就可以有效延长氦检仪的灯丝寿命。如：1.使用中尽量将预置真空开关空挡；2.避免电离室泄入有害气体（氧化性气体、水蒸气、氢气）。氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局。
氦检仪机械泵故障及处理：1、机械泵不动作，检查项目有：氦检仪电源电压是否正常，开关是否打开，绕组是否断路或接地，电机是否过热(泵冷却后是否能启动)。2、机械泵声音异常，检查油位是否合适，油质是否变坏，油温是否<10℃，油雾过滤器的出口有无气体排出(如果无气体排出，更换油雾过滤器)。氦检仪质谱室故障及处理：1、灯丝无法正常启动，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。若灯丝指示灯闪烁，检查离子源航空插座与接线柱是否开路，若开路，需要更换灯丝，若不开路，检查其接线柱与其他接头是否导通，消除短路现象。2、本底信号处于杂乱无章的波动状态且大小远远超过氦检仪故障自身的本底噪声，需要考虑放大器是否故障。质谱室出现故障一般用户无法解决，只需对故障进行定位，交由维修处理。氦检仪检漏范围宽：不只可检测氦气，而且能检测其它气体。分体式氦检机工作原理
专业用于电厂检漏的氦检仪关键部件均为进口，性能稳定可靠。分体式氦气检测机费用
氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。综上所述，氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。分体式氦气检测机费用
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