氦质谱检漏仪的检漏方式:1、钟罩法——测总漏率,将被检件与仪器检漏口联接抽真空,在被检件外面罩以充满氦气的容器,如被检件有漏孔,氦气便由漏孔进入被检件,达到质谱管被检测。所测漏率是被检件的总漏率,不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。可以看出钟罩法是基于喷吹法的一种检漏方法。2、背压法——测总漏率,进行电子元器件气密性检测时常用背压法。检漏前用特定加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量),然后取出被检件,吹去表面吸附氦后放入特定检漏罐中,再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上,对检漏罐抽真空,实施检漏。若器件有漏,则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐,到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率。由于氦质谱泄漏检测器具有选择性识别能力,因此只给出气体中氦的分压信号。无锡国产氦质谱检漏仪厂家
氦质谱检漏仪的使用方法:1、氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了普遍应用。2、是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。3、质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进人磁场。4、由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是在电阻炉检漏中常用的两种方法。无锡国产氦质谱检漏仪厂家氦质谱检漏仪正压法优点是不需要辅助的真空系统,可以精确定位,实现任何工作压力下的检测。
氦质谱检漏仪的日常保养与维护:1.如果仪器不是每天使用,建议每周开机检查一下,使仪器高真空系统保持真空,缩短仪器使用时的开机时间。2.拆卸仪器部件(如离子源)后,安装时要避免安装部位出现泄漏,可用仪器进行自身检漏。3.适时对仪器可能出现的泄漏处(如放气阀等)进行自身检漏,发现漏点后要及时取下清洗或固紧,以免在检漏时干扰检漏工作。4.检漏仪维修每隔一段时间保养油泵。(散热口灰尘处理,和泵油的检查更换)。5.禁止任何外来物掉在或洒在检漏仪上,尤其是进气口中,由于氦检漏仪为高精度精密仪器,其存放和使用环境要保持干净、卫生。只有经过培训或有资格的设备维护工程师,才能使用此仪器。
氦质谱检漏仪可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。5.检漏范围宽:现今生产的检漏仪,质量范围很宽,不但可检测氦气,而且能检测其它气体。在获得氦气信号值的基础上,通过标准的泄漏量比较,可以得到氦气的泄漏量。氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器。氦气喷射法和氦气吸收法是电阻炉氦质谱检漏仪常用的两种检漏方法。氦质谱检漏仪具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高,用得比较普遍的检漏仪器。氦质谱检漏仪灵敏度降低应该如何维护?
氦质谱检漏仪灵敏度降低应该如何维护?这个时候,就需要将检漏仪的离子源分析管道拆下来进行彻底的清洗。具体的清洗方法如下:先用细的高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电极部件,这里不能用粗砂纸,因为粗砂纸容易损伤真空分析管道及离子源的各电极部件;然后用航空汽油或无水乙醇清洗,并用去离子水冲洗干净;较后用烘箱或电吹风进行干燥。整个清洗过程中需要注意,分析管道上的磁铁不能撞击、不能受热,否则可能导致磁铁退磁,使检漏仪的灵敏度降低。如果操作正确,经过清洗维护后的氦质谱检漏仪的灵敏度可比清洗前提高2~3倍。氦质谱检漏仪有哪些结构?南京无损氦质谱检漏仪多少钱
氦质谱检漏仪使用方法有哪些?无锡国产氦质谱检漏仪厂家
氦质谱检漏仪主要技术参数:可检漏率:5×10-12Pa·m3/s;漏率显示范围:1×10-3~1×10-12Pa·m3/s;启动时间:≤5min;响应时间:<2S;检漏口压力:300Pa;极限真空:5×10-4Pa;外形尺寸:560(W)×420(D)×300(H);重量:46KG。优势特点:1.采用便携式设计;2.设备外型美观小巧;3.采用液晶触摸屏设计;4.有通讯接口;5.可以方便地将检漏数据输出。使用环境:环境温度:5~35℃;相对湿度:<80%;供电电压:单相交流220V±10%,50Hz;工作电流:10A。无锡国产氦质谱检漏仪厂家
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