氦检仪噪声是哪儿来的?高灵敏度氦检仪的噪声来源大体上可以分为两种,一个是离子流接收放大机输出电路的噪声,另一个就是本底噪声。实际上,目前通过对电子线路的改进,仪器中离子流接收放大及输出电路引起的噪声已经降到很低的一个程度,因此已经不是限制设备灵敏度的主要因素,如果特殊情况下仍然是限制灵敏度的主要因素的话,可以通过放大信号的办法来提高信噪比来改善灵敏度。而本底噪声则是由本底峰的不稳定造成,与本底的大小以及电磁场参数的稳定度有关,具体的包括:1、离子源发射电子流的不稳定性,加速电压、分析器电磁参数的不稳定性;2、氦气在真空系统内的吸附和再放出(如真空油脂、人造橡胶、有机绝缘材料都可以吸附和再放出氦气),电离真空计特别是磁放电真空计对氦气的记忆效应(被污染的情况下更为严重);3、抽气系统中氦气的反扩散与对氦气抽速的不稳定性;4、氦检仪本身漏气和氦气的渗透;5、残余气体分子对氦离子的散射等等。这些因素对本底噪声及灵敏度的影响都很大。氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种,一种为常规检漏,另一种为逆扩散检漏。自动氦气检测设备价格
氦检仪在无源器件中的检漏应用:无源器件检漏原因:光无源器件是光纤通信设备的重要组成部分,也是其它光纤应用领域不可缺少的元器件。具有高回波损耗、低插入损耗、高可靠性等特点。光无源器件对密封性的要求极高,如果存在泄漏会影响其使用性能和精度,光通信行业的漏率标准是小于5×10-8mbar.l/s,因此需要进行泄漏检测。氦质谱检漏法利用氦气作为示踪气体可精确定位,定量漏点,替代传统泡沫检漏和压差检漏,目前已普遍应用于光无源器件的检漏。光无源器件检漏方法:由于无源器件体积小,且无法抽真空或直接充入氦气,我们采用“背压法”检漏,具体做法如下。1.将被检无源器件放入真空保压罐,压力和时间根据漏率大小设定。2.取出无源器件,使用空气或氮气吹扫表面氦气。3.将无源器件放入真空测试罐,测试罐连接氦检仪。4.启动氦检仪,开始检漏。自动氦气检测仪大概多少钱氦检仪的示踪气体也可以是其他元素,但通常选用氦气。
氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因:1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏;3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过氦质谱检漏后,在低漏率真空条件下,这些气体不易外泄,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装,一旦出现泄漏,芯片就会失效。综上所述,氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。
氦检仪应用于调节阀气路管道检漏:调节阀又名控制阀,在现代化工厂的自动控制中,调节阀起着十分重要的作用,如果调节阀有漏,将会严重影响设备运行,进而降低整体的生产效率。氦检仪成功应用于调节阀中的气路管道检漏,经过检漏后的调节阀普遍应用于电厂、生物制药、化工等行业。调节阀检漏,阀门气密性测试方案是向阀门内充入设定压力的氦气,如在被检测处如阀杆等,用氦检仪正压法检测,正压法检测的精度可充分满足气密性检测要求。氦检仪用于调节阀的气路管道进行检漏,检漏标准是漏率小于100ppm或者10-4至10-6Pa.m3/s.同时需要提供快速,清洁的检漏环境.采用氦检仪正压法模式,即在密封的气体管路中充入一定量的氦气,然后进行检漏.氦检仪同时拥有两种检漏模式真空模式及正压模式,可根据客户不同需求,选择不同的检漏方法。不同型号的氦检仪其真空系统有较大的差别。
选购氦检仪的注意事项有哪些?1. 注意检漏需求和设备功能的匹配度,根据现如今产品批量筛选和检查泄露的需求进行研究可以发现,不同的产品检漏操作时所需要的模式等都有着显着的区别,消费者在选购氦检仪时必须要根据产品的检测功能需求进行挑选,例如仪器需要批量检查的需求则必须要确保这种氦检仪的检查速度,立足于自身的需求保证这种氦检仪的功能得以实现才是较正确的挑选方式;2. 注意检测灵敏度和操作模式特点,消费者在挑选这种检测仪器时,必须要分析各种检测仪器的检测模式,确保这种氦检仪以更高的灵敏度和更广阔的检测范围来提高生产的效率,并且在挑选氦检仪时也必须要根据该种产品的灵敏度和口碑进行分析,确保这种氦检仪的精确度更强能够满足于不同产品的检查需求。由于氦质谱检漏仪仪为高精度精密仪器,其存放和使用环境要保持干净、卫生。自动氦气检测仪大概多少钱
经过清洗维护后的氦质谱检漏仪的灵敏度可比清洗前提高2~3倍。自动氦气检测设备价格
氦检仪的组成部分有哪些?真空系统:冷阱。分子泵型真空系统一般不加冷阱。扩散泵型真空系统的冷阱加在质谱室、检漏口与扩散泵之间,使三者被冷阱隔离,冷阱加入液氮后便可阻止扩散泵的油蒸气和被检件来的水蒸气进入质谱室,保持质谱室的清洁,并帮助扩散泵迅速获得较高真空。检漏阀。按在质谱室和被检件之间的管道上。真空规。一般采用冷阴极磁控放电真室规来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。标准漏孔。一般仪器内都附有标准漏孔,用它来校准仪器的较小可检漏率和对仪器输出指示进行定标。自动氦气检测设备价格
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